陶瓷制作電子元件燒滲工藝樣品分析顯微鏡

  電極制備
  用陶瓷制作電子元件，必須有電極，常常把銀電極漿料，涂布
于試片的上下表面，再經(jīng)高溫(500～600℃)燒滲工藝，在瓷片上形
成銀白色導(dǎo)電銀層，以供通電之用。施加電極的方法有多種：燒銀
電極、化學(xué)鍍鎳電極、噴鋁電極、噴銅電極、濺射銀電極、蒸發(fā)金
屬電極等。
  電極質(zhì)量?jī)?yōu)劣，直接影響使用效果。例如打火機(jī)用的壓電點(diǎn)火
元件或噴霧設(shè)備中用的壓電超聲元件，如果電極不過(guò)關(guān)，多次打火
沖擊下，電極損壞，就不能點(diǎn)火。噴霧設(shè)備例如假山中人造噴泉，
本來(lái)可噴幾十公分高水柱，但多次噴射后越噴水柱愈低，最后噴不
出來(lái)了，這是由于多次超聲噴水，銀電極在劇烈振動(dòng)中脫離陶瓷之
故，所以超聲用壓電元件電極和瓷體，必須特別牢固粘合，這和銀
漿中玻璃相組成關(guān)系很大。有時(shí)電極各處的厚薄分布不均，通電時(shí)
薄層處電流密度過(guò)高，使局部電極燒毀。這種局部溫升，可引起瓷
體內(nèi)微裂，再加上電場(chǎng)分布不均，會(huì)增加擊穿的幾率。在絲網(wǎng)印刷
或火焰噴鋁電極的邊緣，如果出現(xiàn)參差不齊，有毛刺，將易于造成
打耐壓時(shí)的邊緣跳火及短路。電極層的厚度，對(duì)材料性能也有影響
，例如PTC元件的阻值經(jīng)時(shí)老化，就與它有關(guān)。不同應(yīng)用場(chǎng)所，使
用不同的電極。對(duì)于半導(dǎo)體瓷，不能使用一般的燒滲銀電極，因?yàn)?br>金屬層和半導(dǎo)體之間，會(huì)產(chǎn)生中間接觸電阻，數(shù)值可達(dá)千歐姆。這
是由于n型半導(dǎo)體表面吸附氧分子后，氧分子與半導(dǎo)瓷表面層中電
子，產(chǎn)生化學(xué)吸附，使這些充當(dāng)載流子的電子被氧俘獲，使載流子
濃度減少，產(chǎn)生正空間電荷區(qū)，構(gòu)成高阻層。

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