光學(xué)顯微鏡是掩膜測(cè)量中最廣泛使用的工具

  光顯微技術(shù) 
  光學(xué)顯微鏡是掩膜測(cè)量中最廣泛使用的工具。在掩膜制備過(guò)程中，有
好幾個(gè)步驟需要測(cè)量和檢驗(yàn)。光學(xué)顯微鏡適合于生產(chǎn)性操作，因?yàn)樗鼈兊?br>體積較小，而且技術(shù)人員能很快掌握操作技術(shù)，包括能很快掌握拍攝后立
即沖洗的35mm寬的膠卷的使用技術(shù)。光學(xué)顯微鏡盼精度在P定范圍內(nèi)能符合
需要

  平臺(tái)測(cè)微器是安裝在顯微鏡xy平臺(tái)上的簡(jiǎn)單的玻璃顯微鏡滑塊，它包
括一個(gè)刻度或一套圖形，其增量以毫米為單位，而每一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)滑塊用于每
一個(gè)單獨(dú)的放大倍數(shù)。一般的顯微鏡加上三個(gè)這樣的滑塊就形成了一個(gè)有
用的系統(tǒng)，它的檢驗(yàn)和測(cè)量的范圍很寬。如想對(duì)每一個(gè)放大倍數(shù)都有一個(gè)
獨(dú)立的測(cè)微器，那么最簡(jiǎn)單的辦法是，當(dāng)改變放大倍數(shù)時(shí)，只需使用一個(gè)
微米標(biāo)尺然后再校準(zhǔn)顯微鏡就可以了，
  十字叉絲目鏡是用于小尺寸測(cè)量的另一種顯微鏡附件，它的測(cè)量精度
遠(yuǎn)高于平臺(tái)測(cè)微器。十字叉絲測(cè)微器所以能獲得高的測(cè)量精度，是因?yàn)樗?br>將被測(cè)區(qū)域分成較小的單元或者大量的被測(cè)小區(qū)。實(shí)現(xiàn)這個(gè)功能的機(jī)械是
一個(gè)旋轉(zhuǎn)鼓，它使360。的旋轉(zhuǎn)周角分成有足夠靈敏度的1 00個(gè)等分，當(dāng)用
手緩慢旋轉(zhuǎn)鼓時(shí)，通過(guò)目鏡可以看封十字叉絲穿過(guò)視場(chǎng)慢慢移動(dòng)。進(jìn)行每
次測(cè)量前，都必須校準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)鼓；十字叉絲測(cè)微器的優(yōu)點(diǎn)是測(cè)量的速度比較
快。一般的較簡(jiǎn)單的目鏡測(cè)微器的靈敏度較低，因?yàn)樾?zhǔn)標(biāo)尺是在目鏡上
刻蝕或復(fù)印形成的，而且必須移動(dòng)戈y平臺(tái)才能進(jìn)行測(cè)量讀出。
  一數(shù)字化顯微鏡是一個(gè)包括讀出計(jì)數(shù)器在內(nèi)的光學(xué)顯微測(cè)量系統(tǒng)，它不
僅減輕了每次測(cè)量時(shí)需明確辨別像邊緣的費(fèi)力工作，而且還可以與電子打
印機(jī)配合實(shí)現(xiàn)對(duì)測(cè)量結(jié)果的打印。數(shù)字讀出和記錄打印大大減輕了操作人
員的眼疲勞和大大減小了誤測(cè)量的機(jī)會(huì)。假如使用閉路電視，測(cè)量讀出就
變得更為簡(jiǎn)單，因?yàn)樵诒O(jiān)視器屏幕上，像被增大若干倍，而旦能使幾個(gè)人
同時(shí)看到圖像

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