我們?cè)诖酥霸榻B過(guò)電子顯微鏡的發(fā)展趨勢(shì)和特點(diǎn),總結(jié)電子顯微鏡的發(fā)展趨勢(shì)大概有這么幾個(gè)特點(diǎn)：1.分辨率的提高 2.高性能 3.在納米材料研究中的應(yīng)用 4.計(jì)算機(jī)化和網(wǎng)絡(luò)化 5.CCD中的應(yīng)用 6.低溫和三維重構(gòu)技術(shù).那么下文主要介紹精密測(cè)試技術(shù)的未來(lái)發(fā)展方向.

  先進(jìn)技術(shù)的發(fā)展日新月異,精密測(cè)試技術(shù)應(yīng)該適應(yīng)這種發(fā)展.精密測(cè)試技術(shù)在機(jī)械學(xué)科中的作用是為先進(jìn)制造業(yè)服務(wù),擔(dān)負(fù)起質(zhì)量技術(shù)保證的重任.這就要求首先要以提高產(chǎn)品的質(zhì)量為出發(fā)點(diǎn),這也是要達(dá)到的最重要的目的.

  其次是精密測(cè)試技術(shù)要提高產(chǎn)品的生產(chǎn)效益.因此,檢測(cè)方法要能適應(yīng)快速發(fā)展生產(chǎn)的要求,不能單純?yōu)榱藱z測(cè)而檢測(cè),更不能因?yàn)闄z測(cè)的要求而影響生產(chǎn)的效益,從更積極的角度出發(fā),應(yīng)該是由于精密測(cè)試技術(shù)的良好服務(wù)從而促進(jìn)生產(chǎn)能力的提高.根據(jù)先進(jìn)制造技術(shù)發(fā)展的要求以及精密測(cè)試技術(shù)自身的發(fā)展規(guī)律,不斷拓展著新的測(cè)量原理和測(cè)試方法,以及測(cè)試信息處理技術(shù),就機(jī)械學(xué)科而言,預(yù)計(jì)以下幾個(gè)方面需要發(fā)展.

  1、視覺(jué)測(cè)試技術(shù)

  非接觸測(cè)試技術(shù)很多,特別值得一提的是視覺(jué)測(cè)試技術(shù).現(xiàn)代視覺(jué)理論和技術(shù)的發(fā)展,不僅在于模擬人眼能完成的功能,更重要的是它能完成人眼所不能勝任的工作,所以視覺(jué)技術(shù)作為當(dāng)今最新技術(shù),在電子、光學(xué)和計(jì)算機(jī)等技術(shù)不斷成熟和完善的基礎(chǔ)上得到迅速發(fā)展.視覺(jué)測(cè)試技術(shù)是建立在計(jì)算機(jī)視覺(jué)研究基礎(chǔ)上的一門新興測(cè)試技術(shù).與計(jì)算機(jī)視覺(jué)研究的視覺(jué)模式識(shí)別、視覺(jué)理解等內(nèi)容不同,視覺(jué)測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)研究物體的幾何尺寸及物體的位置測(cè)量,如轎車白車身三維尺寸的測(cè)量、模具等三維面形的快速測(cè)量、大型工件同軸度測(cè)量、共面性測(cè)量等.它可以廣泛應(yīng)用于在線測(cè)量、逆向工程等主動(dòng)、實(shí)時(shí)測(cè)量過(guò)程.視覺(jué)測(cè)試技術(shù)在國(guó)外發(fā)展很快,早在20世紀(jì)80年代,美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)局就預(yù)計(jì),檢測(cè)任務(wù)的90%將由視覺(jué)測(cè)試系統(tǒng)來(lái)完成.美國(guó)在80年代就有100多家公司躋身于視覺(jué)測(cè)試系統(tǒng)的經(jīng)營(yíng)市場(chǎng),可見(jiàn)視覺(jué)測(cè)試系統(tǒng)確實(shí)很有前途.在1999年10月的北京國(guó)際機(jī)床博覽會(huì)上已見(jiàn)到國(guó)外利用視覺(jué)檢測(cè)技術(shù)研制的儀器,如流動(dòng)式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、高速高精度數(shù)字化掃描系統(tǒng)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等先進(jìn)儀器.

  2、零廢品生產(chǎn)中的測(cè)量控制

  在制造業(yè)中,質(zhì)量保證的理想目標(biāo)是實(shí)行生產(chǎn)的零廢品制造.在實(shí)現(xiàn)這個(gè)目標(biāo)的過(guò)程中,精密測(cè)試技術(shù)的作用和重要意義是不言而喻的.零部件的加工質(zhì)量、整機(jī)的裝配質(zhì)量都與加工設(shè)備、測(cè)試設(shè)備以及測(cè)試信息的分析處理等有關(guān),因此實(shí)現(xiàn)零廢品生產(chǎn),以精密測(cè)試的角度出發(fā),以下問(wèn)題應(yīng)予考慮：(1)在加工工件前,事先檢測(cè)機(jī)床.如何快速準(zhǔn)確地對(duì)加工設(shè)備進(jìn)行校驗(yàn),獲得機(jī)床的精度狀況,這對(duì)大幅度地減少返工,甚至消除返工是非常有益的.當(dāng)然這是包括檢測(cè)設(shè)備的研究開(kāi)發(fā).(2)生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)工件進(jìn)行在線測(cè)量或?qū)ぜM(jìn)行100%檢測(cè),這就需要研究適合于動(dòng)態(tài)或準(zhǔn)動(dòng)態(tài)的測(cè)試設(shè)備,甚至能集成到加工設(shè)備中的特殊測(cè)試設(shè)備,做到實(shí)時(shí)測(cè)試,根據(jù)測(cè)試結(jié)果不斷修改工藝參數(shù),對(duì)加工設(shè)備進(jìn)行補(bǔ)充調(diào)整或反饋控制.從精度理論方面也相應(yīng)要研究動(dòng)態(tài)精度理論,包括動(dòng)態(tài)精度的評(píng)定等.(3)研究如何充分利用測(cè)量信息來(lái)實(shí)現(xiàn)零廢品生產(chǎn).通過(guò)100%在線測(cè)量數(shù)據(jù)的充分利用,從中分析加工和測(cè)量過(guò)程中誤差分布的動(dòng)態(tài)特性,同時(shí)根據(jù)加工誤差的動(dòng)態(tài)特性和傳感器精度的精度損失特性,以及產(chǎn)品質(zhì)量要求和公差規(guī)定,給出零廢品制造的基本理論模型.充分利用人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò),遺傳算法等現(xiàn)代數(shù)學(xué)方法進(jìn)行準(zhǔn)確的加工質(zhì)量預(yù)測(cè),做到質(zhì)量超前控制.

  3、測(cè)量尺寸繼續(xù)向著兩個(gè)極端發(fā)展

  所謂兩個(gè)極端就是指相對(duì)于現(xiàn)在測(cè)量尺寸的大尺寸和小尺寸.通常尺寸的測(cè)量已被廣為注意,也開(kāi)發(fā)了多種多樣的測(cè)試方法.近年來(lái),由于國(guó)民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展和迫切需要,使得很多方面的生產(chǎn)和工程中測(cè)試的要求超過(guò)了我們所能測(cè)試的范圍,如飛機(jī)外形的測(cè)量、大型機(jī)械關(guān)鍵部件測(cè)量、高層建筑電梯導(dǎo)軌的準(zhǔn)直測(cè)量、油罐車的現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)等都要求能進(jìn)行大尺寸測(cè)量；微電子技術(shù)、生物技術(shù)的快速發(fā)展,探索物質(zhì)微觀世界的需求,測(cè)量精度的不斷提高,又要求進(jìn)行微米、納米測(cè)試.

  (1)大尺寸的測(cè)量方法如工程大地測(cè)量方法是指將大地測(cè)量的某些原理和方法移植和改進(jìn)到機(jī)械工程測(cè)量中,產(chǎn)生新的測(cè)量方法,還有其它一些測(cè)量大尺寸的方法,如激光跟蹤干涉三維尺寸測(cè)量系統(tǒng).

  (2)納米測(cè)試技術(shù)從生產(chǎn)制造的趨勢(shì)看,每十年要求容許誤差降低1／3,因此要求測(cè)量具有越來(lái)越高的精度,并可溯源到國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)(ISO).當(dāng)然,納米測(cè)量也多種多樣,有光干涉測(cè)量?jī)x、量子干涉儀、電容測(cè)微儀、X射線干涉儀、頻率跟蹤式法珀標(biāo)準(zhǔn)量具、掃描電子顯微鏡(SEM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)、分子測(cè)量機(jī)M3(molecularmeasuringmachine)等.

  4、測(cè)量方式向多樣化發(fā)展

  (1)多傳感器融合技術(shù)在制造現(xiàn)場(chǎng)中的應(yīng)用多傳感器融合是解決測(cè)量過(guò)程中測(cè)量信息獲取的方法,它可以提高測(cè)量信息的準(zhǔn)確性.

  由于多傳感器是以不同的方法或從不同的角度獲取信息的,因此可以通過(guò)它們之間的信息融合去偽存真,提高測(cè)量精度.

  (2)積木式、組合式測(cè)量方法白車身三維尺寸測(cè)量系統(tǒng)就屬于這類方法,也可以說(shuō)它是柔性很好的專用坐標(biāo)測(cè)量機(jī),關(guān)鍵在于系統(tǒng)的建立.

  (3)便攜式測(cè)量?jī)x器如便攜式光纖干涉測(cè)量?jī)x、便攜式大量程三維測(cè)量系統(tǒng)等,往往用于解決現(xiàn)場(chǎng)大尺寸的測(cè)量問(wèn)題.

  (4)虛擬儀器虛擬儀器是虛擬現(xiàn)實(shí)技術(shù)在精密測(cè)試領(lǐng)域的應(yīng)用,國(guó)內(nèi)已有深入的研究.一種是將多種數(shù)字化的測(cè)試儀器虛擬成一臺(tái)以計(jì)算機(jī)為硬件支撐的數(shù)字式的智能化測(cè)試儀器；另一種是研究虛擬制造中的虛擬測(cè)量,如虛擬量塊、虛擬坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等.

  (5)智能結(jié)構(gòu)它屬于結(jié)構(gòu)檢測(cè)與故障診斷,是融合智能技術(shù)、傳感技術(shù)、信息技術(shù)、仿生技術(shù)、材料科學(xué)等的一門交叉學(xué)科,使監(jiān)測(cè)的概念過(guò)渡到在線、動(dòng)態(tài)、主動(dòng)的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)與控制.

  5、實(shí)現(xiàn)各種溯源的要求

  (1)自標(biāo)定、自校準(zhǔn)高精度的測(cè)量要求高精度的溯源,很多情況下難以找到滿足精度要求的儀器,重要的原因是溯源制約著測(cè)量精度的發(fā)展,在一些情況下則可利用測(cè)量?jī)x器的標(biāo)定和虛擬測(cè)量方法,解決溯源問(wèn)題.

  (2)現(xiàn)場(chǎng)直接標(biāo)定越來(lái)越多的測(cè)量?jī)x器要求現(xiàn)場(chǎng)直接標(biāo)定,很多還是三維的空間標(biāo)定,發(fā)展現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定技術(shù)和儀器是完成這些標(biāo)定的關(guān)鍵.

  (3)納米溯源納米測(cè)試的溯源也是個(gè)重要的問(wèn)題.國(guó)外已有美國(guó)NIST、德國(guó)PTB、日本NRIM研究硅(220)晶體的晶面間距準(zhǔn)確尺寸,元素晶格尺寸在恒溫下具有很好的穩(wěn)定性,可以用來(lái)建立納米溯源基準(zhǔn).

文關(guān)鍵詞:精密測(cè)試技術(shù),發(fā)展
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