真空系統(tǒng)故障出現(xiàn)大多是由于密封點漏真空引起的，所以首先介紹一下凍干機的密封點分部情況：凍干倉部分密封點：

 凍干倉頂蓋密封圈（死蓋）: 密封槽密封脂凍干倉頂蓋帶分配器的密封點： 密封槽密封脂分配器密封圈分配器上的小O型圈橡膠閥的密封性適配器的密封性頂蓋中部的O型圈密封性凍干倉頂蓋帶旋柄： 密封槽密封脂旋柄處密封分配器部分密封

4、有機玻璃的上下面密封性
5、凍干倉底部密封：密封槽（上、下）密封脂加熱孔密封性航空插頭處密封 

（二）法蘭（凍干倉底座法蘭）：法蘭表面的平滑度法蘭是否平整，是否傾斜。

（三）波紋管兩端的密封性：快卸法蘭固定是否牢固。兩端的快卸法蘭的密封。

（四）冷阱的密封性：冷阱頂面是否平整光滑。冷阱本身的密封性冷阱蓋密封圈冷阱蓋槽的密封性冷阱底部排水口密封性排水口上的硅膠管兩端的密封性。冷阱底部的抽真空管處的密封點

（五）硅膠管的密封：抽真空管上的硅膠管的密封性（兩端）。與真空電磁閥連接的硅膠管兩端的密封性。與真空探頭連接的硅膠管兩端的密封性。氮氣回填管處的密封性。

（六）真空泵的密封性真空泵油是否合格。真空管的密封性。油霧過濾器的密封性。

（七）其他
冷阱和排水管內(nèi)是否有水。
（八）真空抽不下去原因：現(xiàn)象：抽真空后十幾分鐘9999根本不動，數(shù)字沒有變化，密封圈也不變形，真空泵的聲音比較大，油末白色翻油花。

原因：系統(tǒng)某部分根本未銜接好，有較大漏氣或真空泵損壞。zui大的可能性是：凍干倉頂蓋與有機玻璃桶之間沒有銜接好。有機玻璃桶與凍干倉底座沒有銜接好。凍干倉和法蘭之間沒有銜接好，可能是因為法蘭表面不平整，可能需要壓住凍干倉頂部，才可以抽上。冷阱蓋密封圈與冷阱之間的密封性是否銜接好。排水口是否塞好。橡膠閥是否關(guān)死。真空調(diào)節(jié)閥是否處于關(guān)閉狀態(tài)。某處硅膠管出現(xiàn)裂痕。

 真空度抽到50-100之間不下去，可能的原因是： 放的物料太多。系統(tǒng)內(nèi)可能有水。橡膠閥有漏氣有上述檢測點出現(xiàn)微漏。電器類真空問題： 真空探頭未連接好，導(dǎo)致真空出現(xiàn)1真空探頭壞了，密封圈已形變，但9999數(shù)值沒有變化。真空數(shù)值飄，原因是真空板上的電壓可能不為10V。

（調(diào)整方法為：測定IC3芯片第七管腳與GND之間電壓，調(diào)節(jié)F.S壓頻器上的旋鈕，使上述測定電壓為10V）如果電壓不穩(wěn)定，可能造成真空抽到幾百后抽不下去。