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SiC舉例來(lái)說(shuō)表征直徑數(shù)據(jù)分析

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2021-04-12  來(lái)源:儀器網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):66
核心提示:鈍化層分析 鈍化層作為保護(hù)層、絕緣層或抗反射層,在半 導(dǎo)體材料中扮演著重要的角色。 VERTEX 系列 光譜儀是分析鈍化層的理想工具,它可以實(shí) 現(xiàn)快速靈敏的無(wú)損分析。磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和 磷的定量分析 

鈍化層分析 鈍化層作為保護(hù)層、絕緣層或抗反射層,在半 導(dǎo)體材料中扮演著重要的角色。 VERTEX 系列 光譜儀是分析鈍化層的理想工具,它可以實(shí) 現(xiàn)快速靈敏的無(wú)損分析。
磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)中硼和 磷的定量分析  分析SiN等離子層和Si-O基鈍化層 分析超低K層

厚度分析 VERTEX 系列光譜儀可用于測(cè)量半導(dǎo)體層狀結(jié)構(gòu) 中的層厚度,精度極高。此應(yīng)用是基于對(duì)紅外光 在層狀結(jié)構(gòu)中產(chǎn)生的光干涉效應(yīng)的分析,可用于 亞微米量級(jí)至毫米量級(jí)的厚度分析。
 用反射或透射實(shí)驗(yàn)分析層厚度。 的分析軟件,用于分析復(fù)雜的層狀結(jié)構(gòu)。 可選薄膜掃描成像附件,可測(cè)量直徑至12 的 硅晶片。


 
關(guān)鍵詞: 分析 鈍化 厚度 用于 層狀
 
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