圖1-3是將超純水分別放置在3個不同環(huán)境(分析儀器實驗室、微生物實驗室、有機溶劑實驗室)1個小時后，檢測其陰、陽離子與VOC含量。取水瞬間的超純水其陰、陽離子與VOC濃度原本在數(shù)ppt～數(shù)十ppt，但1小時之后濃度便升達數(shù)ppb(注：1ppb= 1000 ppt)。也證實了超純水會受到環(huán)境物質(zhì)的污染。 如果將不同實驗室對超純水的污染程度做比較時，保存于溶劑實驗室的超純水，其陰離子(特別是氯離子)與VOC的濃度改變較為顯著。原因可能是受到貯存的鹽酸、二氯甲烷與四氯甲烷的影響。進行VOC的分析實驗室，由于進行溶劑萃取(solvent extraction)時放置了許多的有機溶劑，造成有機溶劑大量擴散到空氣中。若在同一環(huán)境下設(shè)置超純水系統(tǒng)，有機溶劑將經(jīng)由空氣來污染到超純水。因此，如果要在VOC分析用實驗室設(shè)置超純水系統(tǒng)，就必須要將有機溶劑的操作空間加以隔離。此外，油性簽字筆含有甲苯，修正液含有1,1,1-二氯乙烷溶劑，在實驗過程中這些物質(zhì)的使用都應該多加以注意。 雖然超純水中的金屬元素含量不易受到環(huán)境的影響，但若進行ppt級的微量金屬元素分析時，就必須在無塵室、無塵操作臺內(nèi)進行，以防止超純水受到污染。表. 21 是將10 ml的超純水分別置于一般實驗室與10,000級無塵室8小時后的分析結(jié)果。由表可知，使用無塵室可以減低環(huán)境對超純水的污染。并且針對無塵室的清凈度做監(jiān)測時，可以利用前述原理，將超純水放置一定時間后，進行濃縮再加以分析。 圖1環(huán)境對超純水的污染(陰離子) 圖2環(huán)境對超純水的污染(陽離子) 圖3環(huán)境對超純水的污染(VOC)
表 1環(huán)境對超純水的污染(金屬元素)(ng)18)
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