近年來，隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，氦質(zhì)譜法檢漏及其應(yīng)用技術(shù)不斷發(fā)展和完善。 世界各地的制造商推出了各種類型的氦質(zhì)譜檢漏儀，廣泛應(yīng)用于航空航天、電力電子、汽車、制冷和醫(yī)藥等行業(yè)。 綜觀新型氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點，氦質(zhì)譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進(jìn)方向發(fā)展，這些特點滿足了檢漏應(yīng)用的需要，推動了氦質(zhì)譜法檢漏技術(shù)的發(fā)展。

氦質(zhì)譜檢漏儀原理: 氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。 質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。 質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi)，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進(jìn)入人體磁場，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達(dá)接收極而被探測到。 氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。

氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理。 當(dāng)樣品的密封面發(fā)生泄漏時，氦和其他元件的泄漏氣體會從泄漏孔中泄漏出來。 當(dāng)泄漏氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜泄漏檢測器后，由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力，因此只給出氣體中氦的分壓信號。 在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上，通過標(biāo)準(zhǔn)的泄漏量比較，可以得到氦氣的泄漏量。

根據(jù)氦氣儲氣庫位置與樣品的不同關(guān)系，氦質(zhì)譜法檢漏方法可分為真空法、正壓法、真空壓力法和反壓法，總結(jié)了這4種氦質(zhì)譜法檢漏方法的檢測原理、優(yōu)缺點和檢測標(biāo)準(zhǔn)。

得到氦質(zhì)譜檢漏器的主要性能指標(biāo)

1.較小檢漏率: 即氦質(zhì)譜檢漏器能檢測到的較小泄漏率。

2.響應(yīng)清除時間: 當(dāng)一定流量的勘探氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子系統(tǒng)和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時間，漏率指示器可以達(dá)到較大值，漏率指示器不能立即恢復(fù)到零，需要一定時間下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除時間略長于響應(yīng)時間。

3.啟動時間: 氦質(zhì)譜泄漏探測器開啟電源和能夠探測到泄漏之間的時間