購置新型儀器設備有助于學校實驗室裝置更為完善,繼而能為全校師生的教科研活動提供更精密的技術(shù)支撐。近日,為便于供應商及時了解政府采購信息,根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》(財庫〔2020〕10號)等有關(guān)規(guī)定,浙江大學2021年4月政府采購意向公開。
序號
采購單位
采購項目
采購品目
采購需求概況
預算金額
預計
備注
名稱
(萬元)
采購日期
1
浙江大學
電子束曝光機
A02100305
詳見項目詳情
1200
2021年4月
詳見項目詳情
2
浙江大學
電子束蒸發(fā)鍍膜機
A02100305
詳見項目詳情
105
2021年4月
詳見項目詳情
3
浙江大學
等離子體刻蝕機
A02100305
詳見項目詳情
250
2021年4月
詳見項目詳情
4
浙江大學
5G+北斗超高精度系統(tǒng)接收機陣列及數(shù)據(jù)采集軟件
A02070801信標接收機; A0201080302行業(yè)應用軟件
詳見項目詳情
355.5
2021年4月
詳見項目詳情 采購意向公告顯示,浙江大學預算1910.5萬元采購電子束曝光機、電子束蒸發(fā)鍍膜機、等離子體刻蝕機、5G+北斗超高精度系統(tǒng)接收機陣列及數(shù)據(jù)采集軟件。其中,電子束曝光機要求具有電子束直寫功能,可以多層套刻,也可與接觸式光刻機配合進行混合光刻,以便在大尺寸器件上制作微納精細結(jié)構(gòu);等離子體刻蝕機要求采用電感耦合等離子體工藝腔式、腔壁電加熱、下電極具有冷卻/加熱功能、至少600w RIE微波電極并帶自動阻抗匹配網(wǎng)絡。