產(chǎn)品介紹：

反應(yīng)艙：

 材料：鋁
 有效尺寸：400 x 400 x 400mm
 容積：64升
 艙門：裝有可視窗口
 托盤：4個(gè)。尺寸：305 x 360 x 40mm

真空度測(cè)量：
 皮拉尼真空計(jì)（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來(lái)測(cè)量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)）

真空泵：
 旋片式真空泵；30m3 每小時(shí)；含真空泵油。

頻射發(fā)生器：
  0~600w可調(diào)，100KHZ發(fā)生器

控制系統(tǒng)：
  觸摸屏操作，PLC控制系統(tǒng)
  PLC可實(shí)現(xiàn)下列功能：
 1、自動(dòng)控制反應(yīng)過(guò)程；
  2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程；
  3、測(cè)定真空泵壓力、抽真空時(shí)間、充氣速度、工作壓力、處理時(shí)間、溫度、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo)；
 4、監(jiān)測(cè)所有的運(yùn)行指標(biāo)，保證在設(shè)定范圍之內(nèi)；
  5、 設(shè)定操作、維護(hù)密碼。

電源：
  380V AC、三相、50Hz、40A.

反應(yīng)氣體：
  一個(gè)氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）；根據(jù)用戶需要，可擴(kuò)展

氣體輸入：
  直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar.

尾氣排放：
  直徑28mm 輸出端口。

安全性能：
  急停開關(guān)；真空泵保護(hù)鎖；高溫保護(hù)鎖；CE安全認(rèn)證。

可選件：

300 m3/小時(shí) 的機(jī)械增壓泵

頻射發(fā)生器：2.45GHZ, 13.56MHZ 

多個(gè)氣體輸入管道。

根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序

根據(jù)客戶要求制作的托盤。

輥輪式載料系統(tǒng)。 

N2 Purge.

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