28200&88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動技術(shù)的接口閥,可靠使用壽命超過1百萬次。HVA閘板閥專用于真空相關(guān)系統(tǒng),起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小,設(shè)計(jì)緊湊,可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(tǒng)(handling system),傳輸系統(tǒng)(handling system)與工藝腔室(process chamber)等等,需要分隔真空壓力的地方。
28200&88200系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 超百萬次可靠運(yùn)行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末,顆粒,防塵設(shè)計(jì)
3. 閥動作平穩(wěn),振動和沖擊小
4. 標(biāo)準(zhǔn)接口,或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下
28200&88200系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)
電話:+86-21-5046-3511
郵箱:ec@hakuto-vacuum.cn
地址:上海市浦東新區(qū)
新金橋路1888號36號樓7樓702室
201206
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