美國 HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列
美國 HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤溫度不超過 150 C的應(yīng)用。超長使用壽命1,000,000 啟動次數(shù)。清潔和高密封性保證 HVA 進(jìn)口閥門與低溫泵、渦輪分子泵，離子泵等完美聯(lián)用。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列產(chǎn)品特點(diǎn)
直線驅(qū)動允許使用焊接波紋管來密封驅(qū)動器。獨(dú)特的氣缸設(shè)計(jì)使沖擊和振動減少到最小。HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列真空腔內(nèi)沒有機(jī)械鎖，因此特別適合應(yīng)用于半導(dǎo)體制造和其他要求低振動的敏感加工工業(yè)。所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產(chǎn)生并且使驅(qū)動更容易。HVA 不銹鋼閥體真空閘閥提供了真空閥門業(yè)界最小的內(nèi)部表面區(qū)域。閥體和所有內(nèi)部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空爐中一體釬焊完成，確保了閥門的最大完整性。 在保養(yǎng)方面，支架部分可以拆掉而不用把真空閥門從整個系統(tǒng)中拆卸出來。閥門手動、氣動可選，標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭滿足不同應(yīng)用。HVA 標(biāo)準(zhǔn)周期真空閘閥21200 系列可任意位置安裝。電磁閥控制并帶有手動超控。
HVA 百萬周期真空閘閥 21200 系列技術(shù)參數(shù)