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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-03-07  來(lái)源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):642

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵
上海伯東代理美國(guó) Brooks 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷凍機(jī),利用低溫冷媒(-100度)通過(guò)盤(pán)管,將水蒸氣吸附在冷盤(pán)上,快速吸附占真空腔內(nèi)殘留氣體 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷凍機(jī)抽水氣效率高達(dá) 220,000 l/s,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內(nèi)殘余水汽和油氣,目前 Polycold 冷凍機(jī)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和真空鍍膜行業(yè),客戶通過(guò)使用 Polycold 水汽深冷泵,產(chǎn)能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 深冷泵提供單管路和雙管路配置滿足您的不同應(yīng)用,可搭配伯東德國(guó) Pfeiffer 分子泵,羅茨泵,干泵和美國(guó) KRI 考夫曼離子源共同使用。冷凍機(jī) Polycold  MaxCool 4000 H 是舊款型號(hào)PFC-1102 HC全新升級(jí)款!~
Polycold 冷凍機(jī)應(yīng)用:
Polycold 冷凍機(jī)利用新型無(wú)毒環(huán)保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法。與傳統(tǒng) LN2 冷卻法對(duì)比,冷媒可循環(huán)使用,大大降低了企業(yè)成本。Polycold 冷凍機(jī)主要應(yīng)用于真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)、半導(dǎo)體(晶圓加工)行業(yè)。
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵優(yōu)點(diǎn):
低溫范圍:-98 至 -133C
真空抽氣時(shí)間縮短 75%
高效的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
產(chǎn)品產(chǎn)量提高 20% 到 100%
在工藝過(guò)程中降低水蒸汽的分壓力,從而獲得更高質(zhì)量、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對(duì)于液氮制冷 LN2,Polycold 冷凍機(jī)選用無(wú)毒、環(huán)保型冷媒,可循環(huán)使用
低功率,低能耗,最大負(fù)載 4000 W
Polycold MaxCool 冷凍機(jī)組成:

A:Polycold 冷凍機(jī)主機(jī)(銅環(huán)和輪子可以選配,方便運(yùn)輸)
B:外部冷凝管(外部連接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盤(pán)(低溫盤(pán)管)
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技術(shù)參數(shù):


電話:+86-21-5046-3511
郵箱:ec@hakuto-vacuum.cn
地址:上海市浦東新區(qū)
新金橋路1888號(hào)36號(hào)樓7樓702室
201206
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Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵二維碼

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