上海伯東德國(guó) Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 MOCVD 設(shè)備檢漏
上海伯東客戶廈門(mén)某大型 LED 生產(chǎn)企業(yè)，近日成功采購(gòu)6臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 用于 MOCVD 設(shè)備檢漏。
MOCVD 是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)。因?yàn)?MOCVD 生長(zhǎng)使用的源是易燃、易爆、毒性很強(qiáng)的物質(zhì)，因此在設(shè)備出廠時(shí)必須要考慮密封性，否則一旦有毒物質(zhì)泄漏，后果不堪設(shè)想！
上海伯東客戶某大型 LED 生產(chǎn)企業(yè) MOCVD 設(shè)備檢漏實(shí)例：
MOCVD 需要檢漏位置：所有懷疑有漏的地方都需要進(jìn)行檢漏，主要檢漏源供給、輸運(yùn)和尾氣處理系統(tǒng)（例如管路接頭、管道、焊縫等位置）。
根據(jù)客戶實(shí)際需要，MOCVD 檢漏基本配置：氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 +干式真空泵 ACP 28 如下圖所示：

MOCVD設(shè)備檢漏方法：采用真空模式檢漏
1. 將設(shè)備通過(guò)波紋軟管連接檢漏儀 ASM 340，確認(rèn)連接完畢
2. 啟動(dòng) ASM 340，進(jìn)入待機(jī)界面；初次啟動(dòng)時(shí)間大約 3min，以后啟動(dòng) 1min
3. 按下開(kāi)始鍵，先通過(guò) bypass 閥門(mén)啟動(dòng)干式真空泵 ACP 28抽真空，到達(dá)一定壓力檢漏儀 ASM 340開(kāi)始工作，同時(shí)在設(shè)備懷疑有漏的地方噴氦氣；若有漏，檢漏儀馬上報(bào)警，顯示該噴射點(diǎn)有漏。
4. 檢測(cè)完畢，按下檢漏儀待機(jī)鍵，放氣、關(guān)閉電源，移除連接管路。
* 鑒于信息保密，更詳細(xì)的MOCVD設(shè)備檢漏方法歡迎致電 021-5046-3511

上海伯東代理 Pfeiffer 產(chǎn)品已有40余年，年?duì)I業(yè)額超過(guò)13億美金，是國(guó)內(nèi)第一家代理 Pfeiffer 真空產(chǎn)品的公司并在中國(guó)上海、臺(tái)灣、日本、泰國(guó)等國(guó)家和地區(qū)設(shè)有維修據(jù)點(diǎn)。擁有 100% 原裝進(jìn)口維修設(shè)備和備品配件，提供快速維修服務(wù)。
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