Pfeiffer 普發(fā)鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220
上海伯東德國普發(fā) Pfeiffer 真空鍍膜工藝氣體分析質(zhì)譜 SPM 220 專為鍍膜工藝過程中的氣體監(jiān)測設(shè)計(jì)研發(fā),在高達(dá) 10-2 hPa 的壓力下,精確到分鐘的定性和定量分析工藝氣體。
鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 組成:渦輪分子泵+四級桿質(zhì)譜+離子源
鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 優(yōu)勢:
鍍膜工藝監(jiān)測器離子源,適用于瞬時(shí)過程監(jiān)測
對氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優(yōu)秀檢測極限
對測量結(jié)果的最小化背景影響
壓力高達(dá) 10 hPa 的壓差版本
多重操作允許帶單個(gè) PC 的多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)評估
緊湊設(shè)計(jì),易于系統(tǒng)集成
通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出
Pfeiffer監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 技術(shù)參數(shù):
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