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NPC-4000（A）全自動(dòng)等離子去膠機(jī)（刻蝕機(jī)）
NPC-4000(A)全自動(dòng)等離子去膠機(jī)(刻蝕機(jī))概述：NANO-MASTER等離子刻蝕和清洗系統(tǒng)是專門設(shè)計(jì)用來(lái)滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說(shuō)可以支持 		2025-01-23
NPC-3500（A）全自動(dòng)plasma等離子清洗機(jī)
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