NPC-3500（A）全自動plasma等離子清洗機概述：NANO-MASTER 等離子刻蝕和清洗系統(tǒng)是專門設計用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應用。

NPC-3500（A）全自動plasma等離子清洗機產(chǎn)品特點：

• 緊湊型立式系統(tǒng)

• 自動上下載片

• 帶Load Lock

• 不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔

• 兼容100級超凈間使用

• 淋浴頭、ICP或微波等離子源

• 旋轉(zhuǎn)樣品臺

• RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺

• 全自動或手動RF調(diào)諧

• z多可支持5個MFC帶電拋光的氣體管路

• PC計算機控制的氣動閥

• 帶密碼保護的多級訪問控制

• 基于LabView軟件的PC計算機全自動控制

• 機械泵的壓力可達到10mTorr

• 250 l/s的渦輪分子泵

• 極限真空為5x10-7Torr

• 完整的安全聯(lián)鎖

NPC-3500（A）全自動plasma等離子清洗機應用：

• 有機物以及無機物的殘留物去除

• 光刻膠剝離或灰化

• 去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應用

• 清洗微電子元件，電路板上的鉆孔或銅線框架

• 提高黏附性，消除鍵合問題

• 塑料的表面改型：O2處理以改進涂覆性能

• 產(chǎn)生親水或疏水表面