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刻蝕機 NRE-4000（M）反應離子刻蝕 那諾-馬斯特
NRE-4000（M）反應離子刻蝕概述：NRE-4000是一款獨立式RIE系統(tǒng)，配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持大到12”的晶圓片。腔體為超凈設計，并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6Torr或更小的極限 		2025-01-23
刻蝕設備 NRE-3500（A）全自動反應離子刻蝕機
NRE-3500（A）全自動反應離子刻蝕機概述：獨立式RIE反應離子刻蝕系統(tǒng)，淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12的晶圓片。腔體為超凈設計，并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6Torr 或更小的極限 		2025-01-23
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