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中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等離子體低溫?fù)诫s膜沉積系統(tǒng)采購項(xiàng)目公開招標(biāo)公告

2019年06月10日 18:46 來源： 【打印】

公告概要：公告信息：采購項(xiàng)目名稱中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等離子體低溫?fù)诫s膜沉積系統(tǒng)采購項(xiàng)目品目

貨物/通用設(shè)備/儀器儀表/其他儀器儀表

采購單位中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所行政區(qū)域吉林省公告時(shí)間2019年06月10日 18:46獲取招標(biāo)文件時(shí)間 2019年06月10日 09:30 至 2019年06月17日 16:00招標(biāo)文件售價(jià)￥800獲取招標(biāo)文件的地點(diǎn)北京市西城區(qū)西直門外大街6號中儀大廈416開標(biāo)時(shí)間2019年07月02日 09:00開標(biāo)地點(diǎn)吉林省長春市東南湖大路3888號中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所專家公寓三樓會(huì)議室預(yù)算金額￥200.000000萬元（人民幣）聯(lián)系人及聯(lián)系方式：項(xiàng)目聯(lián)系人張經(jīng)理、陶經(jīng)理項(xiàng)目聯(lián)系電話010-88317223采購單位中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所采購單位地址吉林省長春市東南湖大路3888號采購單位聯(lián)系方式李老師 0431-86176888代理機(jī)構(gòu)名稱中國儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司代理機(jī)構(gòu)地址北京市西外大街6號中儀大廈416室代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系方式張經(jīng)理 010-88317223

中國儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司受中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所委托，根據(jù)《中華人民共和國政府采購法》等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)對中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等離子體低溫?fù)诫s膜沉積系統(tǒng)采購項(xiàng)目進(jìn)行公開招標(biāo)，歡迎合格的供應(yīng)商前來投標(biāo)。

 

項(xiàng)目名稱：中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等離子體低溫?fù)诫s膜沉積系統(tǒng)采購項(xiàng)目

項(xiàng)目編號：0709-194035614002

項(xiàng)目聯(lián)系方式：

項(xiàng)目聯(lián)系人：張經(jīng)理、陶經(jīng)理

項(xiàng)目聯(lián)系電話：010-88317223

 

采購單位聯(lián)系方式：

采購單位：中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所

地址：吉林省長春市東南湖大路3888號

聯(lián)系方式：李老師 0431-86176888

 

代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系方式：

代理機(jī)構(gòu)：中國儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司

代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系人：張經(jīng)理 010-88317223

代理機(jī)構(gòu)地址： 北京市西外大街6號中儀大廈416室

 

一、采購項(xiàng)目的名稱、數(shù)量、簡要規(guī)格描述或項(xiàng)目基本概況介紹：

項(xiàng)目名稱：等離子體低溫?fù)诫s膜沉積系統(tǒng)

數(shù)量：1套

簡要規(guī)格描述：

*2.4 上、下電極： 鋁制上電極，可加熱到最高300度；鋁制下電極，上面放置石英蓋板，可處理4英寸樣品，可加熱到最高350度。 *2.5射頻源： 射頻源包括射頻發(fā)生器、并配置自動(dòng)匹配單元，采用陰極匹配方式（Cathode coupled）以實(shí)現(xiàn)更高的沉積速率，下電極連接射頻源，頻率13.56 MHz，功率 300 W；反射功率小于5W。 *2.6 氣路系統(tǒng)： （1）氣體管路：不少于五路氣體管路，包括SiH4,NH3,N2,O2,CF4等工藝氣體；每路氣路均配有質(zhì)量流量計(jì)MFC、顆粒過濾器和氣動(dòng)截止閥； （2）液體管路；配置TEOS液體tank并加滿TEOS液態(tài)源，304不銹鋼制，容量大于等于700ml；tank帶加熱系統(tǒng)，可以加熱到75~85度；管路配置相應(yīng)的質(zhì)量流量計(jì)MFC，金屬密封，VCR接頭；tank具有過熱保護(hù)功能； （3）Ge參雜工藝管路：配置TMG液體tank并加滿TMG液態(tài)源，304不銹鋼制，容量大于等于700ml；tank帶加熱系統(tǒng)，可以加熱到75~85度；管路配置響應(yīng)的質(zhì)量流量計(jì)MFC，金屬密封，VCR接頭；tank并且具有過熱保護(hù)功能。

 

二、投標(biāo)人的資格要求：

投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績：1 投標(biāo)人是響應(yīng)招標(biāo)、已在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購招標(biāo)文件并參加投標(biāo)競爭的法人或其他組織。任何未在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購招標(biāo)文件的法人或其他組織均不得參加投標(biāo)。 2 除非另有規(guī)定，凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿(mào)易往來的國家或地區(qū)(以下簡稱“合格來源國/地區(qū)”)的法人或其他組織均可投標(biāo)。 3 與招標(biāo)人存在利害關(guān)系可能影響招標(biāo)公正性的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。 4 接受委托參與項(xiàng)目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加受托項(xiàng)目的投標(biāo)，也不得為該項(xiàng)目的投標(biāo)人編制投標(biāo)文件或者提供咨詢。 5 單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位，不得參加同一招標(biāo)項(xiàng)目包投標(biāo)。 6 本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。 7 只有在法律上和財(cái)務(wù)上獨(dú)立、合法運(yùn)作并獨(dú)立于招標(biāo)人和招標(biāo)機(jī)構(gòu)的供貨人才能參加投標(biāo)。 8 投標(biāo)人應(yīng)當(dāng)于招標(biāo)文件載明的投標(biāo)截止時(shí)間前在中國國際招標(biāo)網(wǎng)（以下簡稱“招標(biāo)網(wǎng)”，網(wǎng)址：http://www.chinabidding.com）成功注冊（免費(fèi)）。否則，投標(biāo)人將不能進(jìn)入招標(biāo)程序，由此產(chǎn)生的后果由其自行承擔(dān)。 9 投標(biāo)人必須是所投設(shè)備生產(chǎn)、系統(tǒng)集成與銷售的合法企業(yè)，可以是獨(dú)立制造廠商或制造廠商授權(quán)的總代理；如為代理商，須提供制造商針對本項(xiàng)目及產(chǎn)品的授權(quán)書原件。 10 投標(biāo)人必須從招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)獲得招標(biāo)文件并登記備案，否則不能參加本次招標(biāo)。 11 本項(xiàng)目不允許轉(zhuǎn)包、分包。 12 投標(biāo)人須在法律和財(cái)務(wù)上獨(dú)立、合法運(yùn)作并獨(dú)立于招標(biāo)人和招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)，不得直接或間接地與招標(biāo)人為本項(xiàng)目所委托的咨詢公司或其附屬機(jī)構(gòu)有任何關(guān)聯(lián)； 13 投標(biāo)人須承諾（承諾函格式自擬，須加蓋投標(biāo)人公章），招標(biāo)人在其本國使用投標(biāo)人提供的貨物時(shí)，不存在任何已知的不合法的情形，也不存在任何已知的與第三方專利權(quán)、著作權(quán)、商標(biāo)權(quán)或工業(yè)設(shè)計(jì)權(quán)相關(guān)的任何爭議；如果有任何因招標(biāo)人使用投標(biāo)人提供的貨物而提起的侵權(quán)指控，投標(biāo)人依法承擔(dān)全部責(zé)任。 14 投標(biāo)人的投標(biāo)不符合法律、法規(guī)或招標(biāo)文件中規(guī)定的其他實(shí)質(zhì)性要求的，其投標(biāo)將被否決或按無效投標(biāo)處理。 注：投標(biāo)人須持滿足以上資格要求的全部原件及復(fù)印件加蓋公章到我司購買招標(biāo)文件。

 

三、招標(biāo)文件的發(fā)售時(shí)間及地點(diǎn)等：

預(yù)算金額：200.0 萬元（人民幣）

時(shí)間：2019年06月10日 09:30 至 2019年06月17日 16:00(雙休日及法定節(jié)假日除外)

地點(diǎn)：北京市西城區(qū)西直門外大街6號中儀大廈416

招標(biāo)文件售價(jià)：￥800.0 元，本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和

招標(biāo)文件獲取方式：現(xiàn)場購買

 

四、投標(biāo)截止時(shí)間：2019年07月02日 09:00

五、開標(biāo)時(shí)間：2019年07月02日 09:00

六、開標(biāo)地點(diǎn)：

吉林省長春市東南湖大路3888號中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所專家公寓三樓會(huì)議室

 

七、其它補(bǔ)充事宜

本項(xiàng)目招標(biāo)公告發(fā)布媒介為中國國際招標(biāo)網(wǎng)（機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺），招標(biāo)信息同步至中國政府采購網(wǎng)、中國招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺。

 

八、采購項(xiàng)目需要落實(shí)的政府采購政策：

1.政府采購貨物服務(wù)電子招標(biāo)投標(biāo)、政府采購貨物中的進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)有關(guān)特殊事宜，由財(cái)政部另行規(guī)定

2.采購人采購進(jìn)口產(chǎn)品的，應(yīng)當(dāng)同時(shí)遵守國家其他有關(guān)法律法規(guī)的規(guī)定。涉及進(jìn)口機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)的，應(yīng)當(dāng)按照國際招標(biāo)有關(guān)辦法執(zhí)行