91儀器信息網(wǎng) 政策標(biāo)準(zhǔn)電阻真空計(jì)變送器是由電阻真空計(jì)真空規(guī)管演變而來的一種能獨(dú)立將壓力(真空度)變量轉(zhuǎn)換為一給定的連續(xù)函數(shù)關(guān)系的可傳輸?shù)臉?biāo)準(zhǔn)化信號(hào)，通過數(shù)據(jù)線將該電信號(hào)直接傳輸給電腦或可編程序控制器，并由電腦或可編程序控制器再將電信號(hào)轉(zhuǎn)為壓力(真空度)從而進(jìn)行壓力(真空度)測(cè)控的新型真空計(jì)量器具。
  目前該類變送器被廣泛應(yīng)用于航天航空、制冷、半導(dǎo)體、汽車、醫(yī)藥、鍍膜等行業(yè)。由于其被測(cè)量為電壓(輸入量：真空度，輸出量：電壓)，與現(xiàn)行的JJF1050-1996工作用熱傳導(dǎo)真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范的被測(cè)量不同，計(jì)量特性也不同，與之相應(yīng)的不確定度分析等都不同，因此無法使用現(xiàn)行的校準(zhǔn)規(guī)范進(jìn)行量值傳遞工作。
  為適應(yīng)市場(chǎng)發(fā)展的需要，滿足越來越多的客戶對(duì)該類電阻真空計(jì)變送器的量值溯源的需要，確保量值的準(zhǔn)確一致，規(guī)范計(jì)量工作，近日，全國(guó)壓力計(jì)量技術(shù)委員會(huì)完成了對(duì)《電阻真空計(jì)變送器校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿的編寫工作。為了使國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范能廣泛適用和更具操作性，特向全國(guó)有關(guān)單位征求意見和建議。征求意見截止日期2019年12月30日。望業(yè)內(nèi)專家學(xué)者積極建言獻(xiàn)策，共同完善該項(xiàng)規(guī)范。
  《電阻真空計(jì)變送器校準(zhǔn)規(guī)范》主要內(nèi)容包括范圍、引用文件、術(shù)語和計(jì)量單位、概述、計(jì)量特性、校準(zhǔn)條件、校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)、復(fù)校時(shí)間間隔等。該項(xiàng)規(guī)范適用于測(cè)量范圍為(10-1～105)Pa電阻真空計(jì)變送器的校準(zhǔn)。
  關(guān)于計(jì)量特性，規(guī)范中指出，因?yàn)殡娮枵婵沼?jì)變送器是一種將壓力(真空度)變量轉(zhuǎn)換成可傳送的標(biāo)準(zhǔn)化輸出信號(hào)的儀表，通常為(2～10)V的直流信號(hào)，因此測(cè)量所關(guān)心的是實(shí)際測(cè)得值和理論輸出值之間的差異程度，不同于電阻真空計(jì)需跨越6個(gè)數(shù)量級(jí)(10-1～105)Pa來顯示真空度，關(guān)心的是讀數(shù)誤差，所以將JJF 1050-1996中的 示值相對(duì)誤差 改為 測(cè)量誤差 。
  值得注意的是，在校準(zhǔn)過程中需要考慮儀器的校準(zhǔn)條件，其中環(huán)境條件要求：溫度為(23 5)℃，校準(zhǔn)過程中溫度波動(dòng)不超過 1℃；濕度不大于85%RH；校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無熱源、強(qiáng)電磁場(chǎng)和放射性源等外界干擾，且周圍不應(yīng)有明顯的振動(dòng)和氣體流動(dòng)。另外，在測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)裝置方面，規(guī)范中明確，標(biāo)準(zhǔn)裝置采用比較法的，其校準(zhǔn)室內(nèi)的壓力在校準(zhǔn)范圍內(nèi)應(yīng)連續(xù)可調(diào)，在1min內(nèi)壓力穩(wěn)定度不超過 2%；標(biāo)準(zhǔn)裝置采用靜態(tài)膨脹法的，校準(zhǔn)室在1min中內(nèi)的升壓率不應(yīng)大于被校變送器待校準(zhǔn)壓力下限的2%。
  在儀器的復(fù)校時(shí)間間隔方面，規(guī)范中指出，復(fù)校時(shí)間間隔建議為1年，由于復(fù)校時(shí)間間隔的長(zhǎng)短是由儀器的使用情況、使用者、儀器本身質(zhì)量等諸因素所決定，因此，送校單位可根據(jù)實(shí)際使用情況自主決定復(fù)校時(shí)間間隔。
  以上校準(zhǔn)規(guī)范參照J(rèn)JF 1050-1996《工作用熱傳導(dǎo)真空計(jì)校準(zhǔn)規(guī)范》、GB/T 30434-2013《電阻真空計(jì)通用技術(shù)條件》、GB/T 34873-2017/ISO 3567:2011(E)《真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)》等進(jìn)行制定，采用了其中的基本原則，對(duì)具體方法和技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行了細(xì)化、補(bǔ)充和修改。
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  《電阻真空計(jì)變送器校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿