PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī),其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM TEM,紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。
技術(shù)參數(shù)
電源
AC 208~240V,單相 50/60Hz
紫外燈
可發(fā)出雙波長的水銀燈
功率:55W
發(fā)出光的波長:254 nm 和185 nm
使用壽命:2500 小時(shí)(可在本公司購買紫外燈來更換)
照射區(qū)域:200 x 200 mm
腔體 樣品臺(tái)
不銹鋼殼體
抽屜式樣品臺(tái),以便放樣取樣
樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm
臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上
樣品臺(tái)與紫外燈的距離:20mm-40mm(可調(diào))
樣品臺(tái)可以加熱,最高溫度可達(dá)150℃
可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃
設(shè)備運(yùn)行時(shí)間:0.01 秒-99.9小時(shí)
排氣口
直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外
儀器中不包含橡膠管
外形尺寸
510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
凈重
28kg
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含紫外燈)
應(yīng)用
去除分子級別的污染物
紫外光固化粘合劑
紫外光催化
氧化PDMS
表面消毒
刻蝕
清洗MEMS 器件
清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片
產(chǎn)品優(yōu)勢