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加熱型紫外臭氧清洗機(jī)

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-08-31  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):907
核心提示:PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī),其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM TEM,紫外對聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。技術(shù)參數(shù)電源AC 208

PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī),其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM TEM,紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。

技術(shù)參數(shù)

電源

AC 208~240V,單相 50/60Hz

紫外燈

可發(fā)出雙波長的水銀燈

功率:55W

發(fā)出光的波長:254 nm 和185 nm

使用壽命:2500 小時(shí)(可在本公司購買紫外燈來更換)

照射區(qū)域:200 x 200 mm

腔體 樣品臺(tái)

不銹鋼殼體

抽屜式樣品臺(tái),以便放樣取樣

樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm

臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

樣品臺(tái)與紫外燈的距離:20mm-40mm(可調(diào))

樣品臺(tái)可以加熱,最高溫度可達(dá)150℃

可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃

設(shè)備運(yùn)行時(shí)間:0.01 秒-99.9小時(shí)

排氣口

直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外

儀器中不包含橡膠管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

凈重

28kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含紫外燈)

應(yīng)用

去除分子級別的污染物

紫外光固化粘合劑

紫外光催化

氧化PDMS

表面消毒

刻蝕

清洗MEMS 器件

清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

產(chǎn)品優(yōu)勢
 
 
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加熱型紫外臭氧清洗機(jī)二維碼

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