中國科學(xué)院微電子研究所，前身為成立于1958年的原中國科學(xué)院109廠。1986年，109廠與中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、計(jì)算技術(shù)研究所有關(guān)研制大規(guī)模集成電路部分合并為中國科學(xué)院微電子中心。2003年9月，正式更名為中國科學(xué)院微電子研究所。中國科學(xué)院微電子研究所是一所專門從事微電子領(lǐng)域研究與開發(fā)的國立研究機(jī)構(gòu)，是中國科學(xué)院微電子技術(shù)的總體和中國科學(xué)院EDA中心的依托單位，主要研究方向?yàn)椋孩偌呻娐废葘?dǎo)工藝與儀器裝備技術(shù);②集成電路與系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù);③高性能器件與電路集成技術(shù);④射頻、微波器件與電路集成技術(shù);⑤三維集成與系統(tǒng)封裝技術(shù);⑥新型納米器件與集成技術(shù);⑦物聯(lián)網(wǎng)與傳感器技術(shù)。截至2014年底，中國科學(xué)院微電子研究所設(shè)有12個(gè)從事應(yīng)用技術(shù)研究的研究室和2個(gè)從事前沿基礎(chǔ)研究的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;共有在職職工1061人，其中科技人員819人、科技支撐人員203人，研究員及正高級(jí)工程技術(shù)人員72人、副研究員151人、高級(jí)工程技術(shù)人員64人;共有在學(xué)研究生293人(其中碩士研究生164人，博士研究生125人，留學(xué)生4人)，有研究生導(dǎo)師117人(其中博士生導(dǎo)師44人，碩士生導(dǎo)師73人)。