紫外線(ultraviolet rays)指的是電磁波譜中波長從10nm～400nm輻射的總稱，不能引起人們的視覺。1801年德國物理學(xué)家里特發(fā)現(xiàn)在日光光譜的紫端外側(cè)一段能夠使含有溴化銀的照相底片感光，因而發(fā)現(xiàn)了紫外線的存在。紫外線可以用來滅菌，過多的紫外線進入體內(nèi)會對人體造成皮膚癌。

紫外線的分類

紫外線(UV)基于波長可分為：近紫外線(UVA)遠紫外線(UVB)和超短的紫外線(UVC)。紫外線輻射對人體皮膚滲透程度是不同的。波長越長，對人類皮膚紫外線損傷越大。UVA射線可以通過真皮，中波才能進入真皮。

短波紫外線：

簡稱UVC。波長280～100nm的紫外線。UVC輻射對生物危害是最大的，但是會被臭氧層全部吸收。

中波紫外線：

簡稱UVB。波長315～280nm的紫外線。UVB對皮膚有一定的生理功能，這樣一部分紫外線被皮膚表皮吸收，無法穿透到皮膚上。但由于階能高，產(chǎn)生強烈的光損傷皮膚，被照傷部分真皮血管擴張，皮膚會出現(xiàn)腫脹等癥狀，水泡。

照射皮膚會出現(xiàn)很長一段時間的紅斑，炎癥，皮膚老化，嚴重情況下會導(dǎo)致皮膚癌。UVB也稱為紫外線(UV)曬傷段，是應(yīng)該關(guān)注和防治紫外線的波段。

長波紫外線：

簡稱UVA。波長400～315nm的紫外線。UVA射線穿透性比UVB強，可以達到的深層真皮，可以對表皮黑色素起作用，使皮膚黑色素沉積，使皮膚變黑。所以長波紫外線也稱為“曬黑段”。UVA射線不會引起急性皮膚炎癥，但對皮膚的功能可能很緩慢，需要很長一段時間。積累是皮膚老化的原因之一，對皮膚造成嚴重的損害。

UVA可分為UVA-2(320～340nm)和UVA-1(340～400nm)。

UVA-1滲透力是最強的，可能達到真皮，對皮膚的傷害是最大的，但也很容易被忽視，特別是在夏天，UVA-1雖然力量很弱，但仍然存在，由于積累了很長一段時間，會造成皮膚損傷。尤其是老化皮膚松弛，皺紋，失去彈性，黑色素沉淀。UVA-2也可以到達皮膚表皮，它會導(dǎo)致曬傷、皮膚變紅而，太陽角性疾病(老年斑)，透明會損失。

紫外線輻射的強度的影響因素

紫外線(UV)輻射是10到400nm波長范圍的輻射。不同波長范圍的波長的紫外線(UV)輻射有不同的影響，在研究和應(yīng)用中，通常認為紫外線輻射分為：A段(400～320nm);B段(320～280nm);C波段(280～200nm);真空紫外波長(200～10nm)。小于200納米波長紫外輻射由于大氣吸收，它不能通過空氣傳播。

1、太陽高度：太陽在天空中越高，紫外線輻射水平就越高。

2、緯度：接近赤道，紫外線輻射水平就越高。

3、天氣：萬里無云的天空，紫外線輻射水平最高。然而，即使有云，紫色外輻射水平也可以很高。

4、海拔高度：每隔1000米高度，紫外線輻射強度增加約5%。

5、臭氧：臭氧吸收一些太陽的紫外線輻射。當(dāng)臭氧層消失，到達地球表面的紫外線輻射更多。

6、地面反射：許多反射面反射陽光，增加整體的紫外線輻射(例如，草，土壤和水反射小于10%的紫外線輻射，新鮮的雪反射80%;沙灘反映出15%，25%水泡沫反射)。

因此，為了防止紫外線損害人體皮膚，主要防止UVB的照射，防UVA，是為了避免皮膚。在歐洲和美國，人們認為曬黑是健美的象征，因此把曬黑劑加在化妝品，因此，沒有考慮保護UVA射線。這種觀點已經(jīng)改變，承認UVA射線會造成長期嚴重傷害人體，所以人們開始加強UVA射線的保護。

日積月累地在陽光下暴曬則導(dǎo)致皮膚變厚、變糙、出現(xiàn)暗點，變得像皮革一樣。因此要適當(dāng)避免日光曝曬可以緩解這些影響。通常被認為由老化引起的可見皮膚變化中，有90%實際是日光曝曬造成的。

紫外線輻射生物效應(yīng)

1、紅斑效應(yīng)

紫外線照射后，皮膚的自由基增多。自由基損傷脂質(zhì)膜，使溶酶體不穩(wěn)定，可溶酶的釋放相應(yīng)的酶。18小時后紫外線輻射，皮膚吸皰液乳酸脫氫酶和磷酸二氫酯Ⅰ濃度顯著增加，這將會影響到皮膚組織的新陳代謝。

紫外線照射皮膚，大多數(shù)被皮膚吸收，產(chǎn)生一系列的光化學(xué)反應(yīng)，導(dǎo)致蛋白質(zhì)變性分解，促進皮膚前列腺素的合成，導(dǎo)致多種神經(jīng)遞質(zhì)。實驗表明，紫外線照射后的紅斑，局部皮膚的組胺，花生四烯酸，前列腺素E1，E2，D2等濃度顯著增加。因此，組胺和內(nèi)源性前列腺素細胞炎癥發(fā)射機紫外線紅斑反應(yīng)部分是由組胺和前列腺素是一種神經(jīng)遞質(zhì)。

除了紫外線紅斑的機理和體液因素，神經(jīng)系統(tǒng)的功能狀態(tài)也有重要意義。當(dāng)神經(jīng)損傷、神經(jīng)炎和中樞神經(jīng)系統(tǒng)病變，紅斑反應(yīng)顯著降低。

紫外線照射一個人的皮膚，潛伏期后，皮膚會出現(xiàn)紅斑，有明顯的紅斑邊界，這是由于紫外線照射，使皮膚表面細胞產(chǎn)生組胺和其他物質(zhì)，引起的毛細血管擴張。照顧人體的紫外線輻射產(chǎn)生紅斑反應(yīng)機理非常復(fù)雜，這與內(nèi)分泌系統(tǒng)，神經(jīng)系統(tǒng)和其他體液有關(guān)。紫外線紅斑反應(yīng)區(qū)有兩個最敏感的波長，波即長297nm和254nm紫外線最可能引起皮膚紅。所以當(dāng)紫外線劑量必須與波長紫外線紅斑反應(yīng)密切相關(guān)，紅斑反應(yīng)低于兩座山峰。

UVB輻射引起的254nm紅斑和UVB-297海里紅斑，有許多不同的地方。深度的紅斑，紅斑溫度，潛伏期和消失時間、紅斑的燒灼感等是不同的。

2、佝僂病

從275nm到320nm波長紫外線有抗佝僂病的作用。

3、滅菌效果

在240～280納米波長范圍的紫外線最能殺死細菌和病毒的DNA(脫氧核糖核酸)或RNA(核糖核酸)的分子結(jié)構(gòu)增加細胞死亡和(或)再生細胞死亡，達到殺菌的效果。

特別是在253.7峰值波長的紫外線殺菌的效果。這個波段與微生物細胞核的脫氧核糖核酸(DNA)的紫外吸收和光化學(xué)感光范圍重疊。

RNA和DNA的吸收光譜范圍是240～280nm紫外線殺菌，吸收峰在260nm。普遍認為紫外線能夠改變和破壞結(jié)構(gòu)突變，改變細胞的遺傳轉(zhuǎn)錄功能，使人體蛋白質(zhì)合成和復(fù)制繁殖能力.其他蛋白質(zhì)吸收(芳環(huán)的苯丙氨酸，色氨酸和酪氨酸吸收峰在280nm)也可能發(fā)揮作用的紫外滅菌過程。

陽光穿透地面后，紫外線(UV)波長平均在287～390nm。紫外線消毒的最佳波長范圍(250～285nm)。主要吸是收大氣臭氧層小于290納米的紫外線太陽光譜強度速度降低，所以陽光殺菌能力比特殊的紫外線殺菌燈弱。

紫外線殺菌效果更強，但對于對象的滲透非常弱。它適用于手術(shù)室、燒傷病房之間的空間，感染病房無菌和不耐熱物品和臺面表面消毒。

UVB射線是到達地球表面的最有生物活性紫外線，是光生物學(xué)研究的主要對象。概述的DNA，尿酸，活性氧系列中，細胞因子，和調(diào)節(jié)性T細胞，特別是注意補充UVB導(dǎo)致免疫抑制。

UVB照射皮膚后，能使真皮C3衍生，同時在一些因素的影響下，血液單核細胞遷移到真皮和表皮。表面受體，他們配體可以提高白介素-10，并削減白介素-12，監(jiān)管和分裂原激活蛋白激酶，特別是增加細胞外信號激酶的活性。

紫外線的危害

紫外線是指波長在100～400nm的電磁波，不同波長的紫外線對人體的危害不同。

1、電光性眼炎：波長250～320nm紫外線照射，可引起角膜炎、結(jié)膜炎等，過強的紫外線還可造成眼底損傷。

2、誘變和致癌作用：紫外線照射可引起基因突變，導(dǎo)致皮膚癌。波長 320nm的紫外線誘發(fā)皮膚癌的可能性較大。

3、波長 250nm的紫外線作用于空氣中的一些物質(zhì)，還可產(chǎn)生光化學(xué)煙霧和有毒氣體，刺激呼吸道引起不適感。

4、皮膚紅斑反應(yīng)：紫外線照射可灼傷皮膚，受照的皮膚潮紅，有痛感，嚴重時會形成紅斑甚至水泡。

5、光感性皮炎：是指在接觸某些化學(xué)物質(zhì)如瀝青的同時，再接受紫外線照射而發(fā)生的皮膚病變。

紫外線主要來源有自然界和人工紫外線。

自然界的主要紫外線光源為太陽，地面陽光紫外線波長一般在280~400nm之間。

人工紫外線主要來源于電焊、氣焊、電爐煉鋼、探照燈和水銀石英燈等高溫輻射。

電焊作業(yè)可使物體溫度達2000-20000℃，會產(chǎn)生高強度的紫外輻射。研究發(fā)現(xiàn)，電焊紫外輻射可引起焊工皮膚紅斑、皮膚燒灼感和皮膚癌等。

目前紫外線燈使用較為普遍，醫(yī)院用于殺菌的紫外線燈發(fā)出的紫外線波長為180~290nm，而這種具有殺菌作用的紫外線的波長恰好與對人體有害的紫外線的波長相似，極易損害眼睛和皮膚。

紫外線的防護

紫外線無處不在，想要完全避免是不可能的。但我們可以對紫外線進行防護;在紫外線照射較強的環(huán)境下，如海邊、雪山以及參加各類戶外活動時，對紫外線的防護尤為重要。視覺保健專業(yè)人士應(yīng)牢記，人們只會堅持使用相對簡單、舒適和便捷的防護措施。

寬邊帽和遮陽帽常被說成是有效的陽光防護工具，然而它們只能阻擋約50%的入射光線。眼鏡是保護眼睛免受紫外線傷害的簡單、有效、舒適的工具;這里所說的眼鏡不只是太陽眼鏡。盡管紫外線是陽光的一大組成部分，但陽光和紫外線之間并不能劃等號。太陽眼鏡能保護眼睛免受過量的陽光照射和消除眩光(通過在鏡片上鍍減反射膜)，以改善視覺舒適度。

紫外線防護完全取決于鏡片的材料，而與鏡片的顏色無關(guān)。大部分無色透明的處方鏡片都具有一定的紫外線防護功能。完全阻斷紫外線A和紫外線B是必要的。如果鏡片不僅具有100%的紫外線防護功能，還可以根據(jù)實際需求控制光線和減少炫光，集阻斷紫外線、保持對比度、降低眩光等功能于一身，為戴鏡者提供良好的視覺質(zhì)量、舒適度以及便捷度，那自然是更加理想。

鏡架的選擇與設(shè)計也會對眼鏡的紫外線防護功能起到一定的影響。鏡框越大，效果越好，因為在保護眼睛的同時，還能保護脆弱的眼瞼皮膚。鏡眼距越短，即鏡片距離眼睛越近，保護效果也相對更好。

標(biāo)準太陽眼鏡的鏡片為固定染色鏡片，只需使用合適的鏡片材料，即可提供卓越的紫外線防護。它們還能降低過度的亮光，改善眼睛的舒適度;若鍍有減反射膜，還能有效減少眩光。固定染色鏡片的問題是，鏡片的顏色始終如一，因而會造成對比度下降，在光線條件較弱的情況下還會影響視覺。因此，許多人只在戶外佩戴太陽眼鏡。

然而，紫外線無處不在，我們在任何時候都需要進行紫外線防護。在這種情況下，既能根據(jù)實際情況控制光線，又能提供100%紫外線防護的光致變色鏡片則顯得更加靈活、便捷和安全。

防紫外線方法、原理及應(yīng)用

春、夏陽光中紫外線的含量最高，很多時候紫外線輻射強度會突破四級。緯度越低的地區(qū)紫外線越強，海拔較高和空氣清澈的山地，紫外線的強度也很大。 紫外線對人的危害...[查看全部]

紫外線穿透力 ： 紫外線

我們都知道紫外線對我們的皮膚有傷害，但是紫外線的強度有多強，它的穿透力有多大呢?如果你了解到紫外線的穿透力，就可以進一步防范紫外線對人體造成的傷害了。

穿透力和波長、頻率的關(guān)系

當(dāng)電磁波傳播的時候，波段半徑和物體半徑相近的時候就會能量轉(zhuǎn)移。

由此就很容易解釋，頻率的繞射能力和穿透力了。

1、首先在真空的時候能量并沒有損失。

2、頻率越低則波段越長，分子原子不容易獲取能量，所以更不容易丟失能量，具體表現(xiàn)就是繞射能力越強。

3、頻率越高則波段越小，越接近分子原子半徑，則更容易能量轉(zhuǎn)移，具體表現(xiàn)就是穿透力越強。

4、空氣環(huán)境，都是用長波，即采取繞射能力強的波段，空氣分子原子密度不夠，因此更易于繞射，而不易于穿透;

5、固體環(huán)境，都是用短波，即采取穿透能力強的波段，分子原子密度大，便于能量轉(zhuǎn)移給分子原子，并且無更多空間給予能量移動。

相關(guān)官方解釋：

電磁波波長λ=c/f(c是光速，λ是波長，f是電磁波頻率)

所以：頻率越低，波長越長，繞射能力越強;頻率越高，波長越短，繞射能力越差。

電磁波能量E=hv(E是能量，h是普朗克常數(shù)，v是頻率)

所以：頻率越高電磁波的能量就越強，穿透能力越強，與物質(zhì)發(fā)生作用的機會就越多，穿透的時候損耗就越大。

頻率越低電磁波的能量就越弱，穿透能力越弱，與物質(zhì)發(fā)生作用的機會就越少，穿透的時候損耗就越小。

紫外線穿透性的影響因素

1、紫外線的穿透力較差，可受塵粒與濕度的影響。空氣中含塵粒多，殺菌效能就會降低;相對濕度增高，殺菌效能也會降低。

2、紫外線在液體中的穿透力，可隨著液體深度的增加而降低，水中雜質(zhì)對穿透力影響就更大，溶解的鹽類、糖類與各種有機物均可降低紫外線的穿透力。

3、對固體物質(zhì)的穿透力，有些可見光能透過的物體，紫外線是不能透過的，如玻璃、糊窗紙、聚氯乙烯薄膜、塵土等都能阻擋紫外線的透過，而影響其殺菌作用。

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紫外線應(yīng)用 ： 紫外線

紫外線亦稱“紫外光”、“紫外輻射”，其波長范圍10～400nm，在電磁波譜中位于紫光和倫琴射線(X射線)之間，與其它波長的電磁波一樣，具有其共性，都遵守電磁運動的基本規(guī)律。

紫外線不能引起視覺(即在可見光范圍之外)?？梢姽饽芡高^的物質(zhì)，對于紫外線的某些波段卻會強烈的吸收。地球大氣中的氧和臭氧幾乎全部吸收了太陽輻射中波長小于290nm的紫外線。

水銀燈和電弧的光中有250～390nm之間的強紫外輻射，是常用的紫外線光源。紫外線通常用光電元件和感光乳膠來檢測。紫外光譜是研究原子結(jié)構(gòu)的重要手段，紫外線在工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、生物學(xué)和醫(yī)學(xué)以及人們?nèi)粘Ｉ畹雀鞣矫娑加兄匾獞?yīng)用價值。

紫外線在生物學(xué)上的應(yīng)用

1、紅斑形成作用

無色素沉著的動物皮膚，在紫外線作用下能出現(xiàn)特殊的紅斑。這種紅斑不是在紫外線照射后立即出現(xiàn)，一般是在照射后6～12h后出現(xiàn)，并能維持2～3d之久。出現(xiàn)紅斑的同時出現(xiàn)局部的炎癥癥狀(局部熱，痛及輕度腫脹。經(jīng)過4～5d壞死的表皮脫落，皮膚著色)。

紫外線照射皮膚后局部產(chǎn)生的紅斑是由于細胞蛋白質(zhì)與核酸吸收大量紫外線，使細胞核及蛋白質(zhì)腫脹、變性及蛋白分解。由于蛋白分解，使組氨酸變成組織胺和類組織胺的特殊物質(zhì)進入血液后，使血管擴張、滲透性增強、從而出現(xiàn)無菌性炎癥。

因這種光化學(xué)反應(yīng)要經(jīng)過一定時間才完成，這是紫外線紅斑在照射后須經(jīng)6～12h潛伏期才出現(xiàn)的原因。而這種紅斑的產(chǎn)生并不是一個單純的血管反應(yīng)，而是神經(jīng)系統(tǒng)起主導(dǎo)作用。紫外線紅斑療法在獸醫(yī)臨床上應(yīng)用廣泛，具有消炎、止痛、促進創(chuàng)口愈合和脫敏的作用。

2、色素形成作用

紫外線照射后可于皮膚內(nèi)形成色素沉著，其原因是皮膚在紫外線照射后于皮內(nèi)形成黑色素。

3、抗佝僂病作用

對佝僂病幼畜，紫外線照射能使磷酸離子含量增高，血漿中鈣的含量增加，排出量減少，吸收增加。紫外線的這種作用是由于它能使維生素D元轉(zhuǎn)變?yōu)榭关E病的VD2和

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防紫外線方法、原理及應(yīng)用 ： 紫外線

春、夏陽光中紫外線的含量最高，很多時候紫外線輻射強度會突破四級。緯度越低的地區(qū)紫外線越強，海拔較高和空氣清澈的山地，紫外線的強度也很大。

紫外線對人的危害很大，主要表現(xiàn)為對皮膚的傷害，輕者會使皮膚灼傷，曬后皮膚顯得干燥、粗糙、易生皺紋，顯得衰老，嚴重時還可能誘發(fā)皮膚癌。此外，紫外線對眼睛的傷害也很嚴重，特別是對老年人，會明顯增加患白內(nèi)障的機會。如何防紫外線呢?

紫外線等級

炎炎夏日，烈日當(dāng)空，紫外線對人體健康(主要是皮膚)的影響，越來越受到關(guān)注。氣象部門也適時做出紫外線指數(shù)預(yù)報，以供人們出行時采取防御措施，避免和減輕紫外線對皮膚的傷害。

紫外線指數(shù)值一般從0開始，一直到15為止，預(yù)報等級劃分為五級。具體如下：

指數(shù)值0～2，一般為陰或雨天，此時紫外線強度最弱，預(yù)報等級為一級;

指數(shù)值3～4，一般為多云天氣，此時紫外線強度較弱.預(yù)報等級為二級;

指數(shù)值5～6，一般為少云天氣，此時紫外線強度較強，預(yù)報等級為三級;

指數(shù)值7～9，一般為晴天無云，此時紫外線強度很強，預(yù)報等級為四級;

指數(shù)值≥10，多為夏季晴日，紫外線強度特別強，預(yù)報等級為五級。

當(dāng)紫外線等級為三級或三級以上時，就要采取適宜的防曬措施，如戴墨鏡、打遮陽傘(最好是有防紫外線功能的傘)、涂防曬油等，防止皮膚受到大的傷害。

紫外線對人體皮膚的影響

根據(jù)波長的不同，人們將紫外線命名為長波紫外線UVA、中波紫外線UVB和短波紫外線UVC三種。隨著波長的增加，紫外線的穿透能力越來越強。

UVA的波長在320nm～400nm，其能穿透臭氧層，到達地面的輻射量可達95%以上，會對人體的皮膚造成損傷，使其過早衰老。

UVB的波長在280nm～320nm，其大部分被臭氧層吸收，只有不足2%的UVB到達了地面，其作用是UVA的1000倍，過量暴曬可引起皮膚癌、白內(nèi)障等疾病。

UVC的波長在100nm～280nm

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陰天要防紫外線嗎？ ： 紫外線

很多女性認為“陰天沒有太陽，也沒有紫外線”，于是就“粉黛不施”地上街了，如果你還抱著如此“輕敵”的想法，那您的整盤防曬計劃很可能功虧一簣了。

陰天的時候，太陽同樣照常升起，只是有時被烏云遮住了而已。有人說：“紫外線被厚厚的云層擋著，不會對我們造成傷害的?！边@是種完全錯誤的觀點，真實情況是，云層對紫外線幾乎起不到任何隔離作用，90%的紫外線都能穿透云層。

紫外線輻射強度與各影響因子的相關(guān)分析

通常情況下，到達地面的紫外線輻射強度除了由太陽輻射強度、海拔高度、地理位置、不同季節(jié)、不同時間等因素決定外，還與平流層臭氧量、空氣污染程度和氣象條件等有著密切的關(guān)系。由于臭氧量、地理位置、海拔高度等因素相對穩(wěn)定，因此選取常規(guī)氣象觀測資料中的云量、相對濕度、風(fēng)速、能見度、氣溫、氣壓和空氣質(zhì)量監(jiān)測中的PM10、SO2、NO2因子，分析與紫外線輻射強度的相關(guān)關(guān)系，見下表。

1、紫外線輻射強度與氣象因子的相關(guān)關(guān)系

由上表可知，各月相對濕度、總云量、能見度與紫外線輻射強度顯著相關(guān)，1～5、8～12月低云量與紫外線輻射強度顯著相關(guān)，2～10、12月氣溫與紫外線輻射強度顯著相關(guān)，1、3、5～6、10～12月風(fēng)速與紫外線輻射強度顯著相關(guān)，氣壓只有10月份與紫外線輻射強度顯著相關(guān)，因此，氣壓不是紫外線輻射的重要影響因子。

風(fēng)速(除9月外)、能見度、氣溫與紫外線輻射強度呈正相關(guān)，尤其是能見度與紫外線輻射相關(guān)性更高，各月相關(guān)系數(shù)在0.487～0.733。能見度對紫外線輻射的作用主要體現(xiàn)在通過大氣中的氣溶膠、污染物以及水汽對紫外線的衰減;當(dāng)風(fēng)速較大時有利于空氣中污染物的稀釋和擴散，空氣清潔度較高，陽光透射率高，紫外線輻射強度加強。

總云量、低云量、相對濕度與紫外線輻射強度為負相關(guān)，尤其是總云量與紫外線輻射的相關(guān)性更高，各月相關(guān)系數(shù)在-0.443～-0.681。一般來說，當(dāng)天空有云時，云層對紫外線有

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極紫外光刻技術(shù) ： 紫外線

極紫外光刻，常稱作EUVL，它以波長為10~14納米的極紫外光作為光源的光刻技術(shù)。具體為采用波長為13.4nm 的軟X射線。極紫外線就是指需要通過通電激發(fā)紫外線管的K極然后放射出紫外線。

極紫外光刻技術(shù)歷史、現(xiàn)狀

20世紀80年代后期，日本和美國的研究人員首次提出了極紫外光刻概念，用波長10~30nm范圍內(nèi)的軟X射線作為投影光刻光源。

1997年美國主要半導(dǎo)體生產(chǎn)廠商成立聯(lián)合機構(gòu)(Extreme Ultraviolet Limited Liability Company，EUV LLC)來促進極紫外光刻各單元技術(shù)的研發(fā)和商業(yè)化進程，日本也成立了類似的機構(gòu)(Semiconductor Leading Edge Technologies，Inc.Selete)。

2005年兩套全場α型投影光刻系統(tǒng)首次問世。2010~2012年期間六套用于生產(chǎn)預(yù)演的投影系統(tǒng)交付使用。

極紫外光刻不同于193nm的投影光刻系統(tǒng)，它采用了全新的制造流程，光源波長僅為13.5nm，由于物質(zhì)對此波長的光都存在一定的吸收，所以曝光過程必須在高真空環(huán)境下進行，使用反射式掩模板替代傳統(tǒng)的透射式掩模板進行光刻投影。

光源、掩模板、光刻材料是極紫外光刻技術(shù)三大組成部分，成為半導(dǎo)體行業(yè)每年一屆極紫外光刻國際會議討論的主要議題。近幾年來科研人員和產(chǎn)業(yè)專家依托日、美半導(dǎo)體廠家成立的聯(lián)合機構(gòu)對于極紫外光刻適用在線寬22nm光刻節(jié)點做了大量富有成效的研發(fā)工作，技術(shù)發(fā)展速度加快，但從規(guī)模生產(chǎn)的需求來看，還存在很大的差距，這也是極紫外光刻至今未能正式投產(chǎn)的主要原因之一。

極紫外光刻技術(shù)面臨的主要挑戰(zhàn)有：

1、缺乏大功率的光源。目前光源功率水平大約為10W，而規(guī)模生產(chǎn)需要的功率水平大約為200W，如果應(yīng)用到16nm節(jié)點則需要更大功率的光源。大幅度提高光源功率水平無疑具有很大的難度，可行性不被看好，開發(fā)出高靈敏度的

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