AFM探針可以測試絕緣體的表面形貌和性能。因為STM的基本原理是通過測量探針與樣品表面的隧道電流大小來探測表面形貌,而AFM是測量探針與樣品表面的相互作用力。STM要求樣品表面導(dǎo)電。AFM由四個部分組成:機械運動部分、懸臂偏轉(zhuǎn)信號光學(xué)檢測系統(tǒng)、控制信號反饋系統(tǒng), 成像和信息處理軟件系統(tǒng)。探針與樣品之間的相互作用力使微懸臂向上或向下偏轉(zhuǎn),利用激光將光照射在懸臂的末端,反射光的位置改變就用來測器此懸臂的偏移量,這種檢測方法最先由Meyer 和Amer提出。
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