Sievers 500 RLe TOC分析儀設(shè)計(jì)用于微電子應(yīng)用中對低濃度TOC含量的監(jiān)測。該分析儀具有0.03 ppb至2.5 ppm的工作范圍,提供不使用試劑的在線超純水TOC分析儀中最 低的檢測極限。500 RLe采用Sievers膜電導(dǎo)技術(shù),提供超低含量檢測精度和可靠性。該分析儀易于操作,維護(hù)量極少,無需特殊培訓(xùn)。
微電子應(yīng)用中超低濃度TOC的檢測
在線和吸樣取樣
長校準(zhǔn)穩(wěn)定性——通常可在12個(gè)月內(nèi)保持穩(wěn)定
附件包
zui低的維護(hù)和運(yùn)行成本——建議每年使用幾個(gè)小時(shí)進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)
標(biāo)準(zhǔn)IOS可在在線與吸樣取樣方法之間輕松切換
平均和定時(shí)模式:0.5、1、4、8或24小時(shí)外部流速最 低50 mL/分鐘樣品溫度1-95 °C(34-203 °F)樣品壓力最 高100 psig干擾對有機(jī)雜原子不敏感校準(zhǔn)穩(wěn)定性通常12個(gè)月顯示讀數(shù)3位有效數(shù)字儀器1電力100-240 ± 10% VAC,50 W,50/60 Hz正常運(yùn)行環(huán)境僅供室內(nèi)使用環(huán)境溫度10-40°C(50-104°F)最大相對濕度最大95%,無冷凝最大海拔高度2,300 m(7,546 ft)輸入一個(gè)隔離二進(jìn)制輸出輸出三個(gè)隔離20mA輸出,一個(gè)串行RS-232輸出,一個(gè)USB端口,一個(gè)并行打印機(jī)端口,四個(gè)報(bào)警輸出安裝/過壓II類(防止II類電源中出現(xiàn)的瞬變)安全認(rèn)證ETL,CE污染等級2(通常只有非導(dǎo)電性污染)顯示背光QVGA觸摸屏顯示器尺寸H: 41.9 cm(16.5 in);W: 48.3 cm (19 in);D: 27.4 cm(10.8 in)重量16.9 kg(37.2 lb)IP防護(hù)等級環(huán)鏡防護(hù)外殼:IP-45耗材紫外燈6個(gè)月泵管(帶泵頭)12個(gè)月DI水濾芯通常24個(gè)月(取決于水質(zhì))串聯(lián)過濾器根據(jù)需要更換(取決于水質(zhì))DI水位加注根據(jù)需要(更換其他項(xiàng)目時(shí)檢查)
本產(chǎn)品內(nèi)的紫外燈含有汞,必須按照當(dāng)?shù)胤蛇M(jìn)行回收或處理。
1 所述分析性能可在受控實(shí)驗(yàn)室條件下實(shí)現(xiàn),已最大限度減少操作和標(biāo)準(zhǔn)品誤差。標(biāo)準(zhǔn)IOS:可在在線與吸樣取樣方法之間輕松切換
主要特點(diǎn)
經(jīng)濟(jì)型設(shè)計(jì)
500RLe有兩種型號可以滿足你的不同需求。500RLe配置標(biāo)準(zhǔn)集成在線取樣系統(tǒng)(IntegratedOn-LineSamplingSystem),它采用了Siev-ers進(jìn)樣系統(tǒng)技術(shù),并集成了在線校準(zhǔn)、運(yùn)行標(biāo)準(zhǔn)品和取樣功能。500RLe基本型利用了更為簡化的進(jìn)樣模塊,優(yōu)化了持續(xù)的在線運(yùn)行。在線校準(zhǔn)則需要通過一個(gè)附加的iOS備件來實(shí)現(xiàn)。500RLe基本型價(jià)格經(jīng)濟(jì),堪比最簡單的TOC傳感器,但同時(shí)能提供優(yōu)越的分析性能及附加的在線校準(zhǔn)。
更高的電導(dǎo)率限度
500RLe合并了Sievers800和Sievers900的設(shè)計(jì)元素,在pH值為中性的水中無試劑TOC測量范圍高達(dá)25μS/cm。重要的是,這個(gè)設(shè)計(jì)的改良意味著因設(shè)備瞬變產(chǎn)生的超純水系統(tǒng)中電導(dǎo)率混亂和不正常的波動都不會影響到測試性能。
靈敏度,精確度,儀器到儀器的匹配度和穩(wěn)定性隨著電子行業(yè)對TOC限值要求越來越低,TOC分析儀能否將分析精確可靠地控制在ppb以下至關(guān)重要。500RLe能達(dá)到目前市場上的最 低TOC檢測限—0.03ppb,同時(shí)可以確保無論何種化學(xué)構(gòu)成,所有有機(jī)物都能完全回收。自動的高 級TOC歸零功能可提供世界 級±0.05ppbC的儀器到儀器匹配度,用于對比現(xiàn)場多個(gè)水點(diǎn),或者與地球另一端水循環(huán)中的關(guān)鍵數(shù)據(jù)進(jìn)行比較。優(yōu)異的分析靈敏度、儀器到儀器的匹配度、可靠性和ppb級以下穩(wěn)定測試性能的組合,讓你有信心能夠掌控關(guān)鍵超純水系統(tǒng)和制作過程,再微小的變化也能被嚴(yán)格監(jiān)控,以確保生產(chǎn)過程的正常運(yùn)行。