臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式。臺階儀測量原理是：當觸針沿被測表面輕輕滑過時，觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。經放大與相敏整流后，可將位移信號從調幅信號中解調出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。臺階儀測量精度較高、量程大、測量結果穩(wěn)定可靠、重復性好。 精品推薦
品牌： 美國KLA 型號： P-7 產地：美國 供應商：優(yōu)尼康科技有限公司

P-7建立在市場領先的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎之上。 它保持了P-17技術的卓越測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了極高的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

品牌： 美國KLA 型號： Alpha-Step D-500 產地：美國 供應商：優(yōu)尼康科技有限公司

Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關。 可調節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。

品牌： 美國KLA 型號： Alpha-Step D-600 產地：美國 供應商：優(yōu)尼康科技有限公司

Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量，以及翹曲度和應力的2D測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量，與材料特性無關。 可調節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。

品牌： 美國KLA 型號： P-17 產地：美國 供應商：優(yōu)尼康科技有限公司

該系統(tǒng)結合了UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩(wěn)定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

品牌： 美國KLA 型號： P-170 產地：美國 供應商：優(yōu)尼康科技有限公司

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能，適用于生產環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170具有先進的圖案識別算法、增強的光學系統(tǒng)和先進的平臺，這保證了性能的穩(wěn)定和系統(tǒng)間配方的無縫移植- 這是24x7生產環(huán)境的關鍵要求。

品牌： 日本KOSAKA 型號： ET150 產地：日本 供應商：上海昭沅儀器設備有限公司

KOSAKA LAB ET 150臺階儀設備特點： KOSAKA ET150基于Windows XP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET150能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET 150配備了各種型號，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設計，可直接觀察到工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。 規(guī)格 一、定工件： 1. 最大工件尺寸：φ160mm 2. 最大工件厚：50mm 3. 最大工件重量：2kg二、出器（pick up）： 1. Z方向定：Max. 600μm 2. Z方向分解能：0.1nm 3. 定：min.1mgf,max.50mg 4. 半：2 μm 5. 方式：直式 6. 再性：1σ= 1nm三、X (基)： 1. 移動量(最大)：100mm 2. 移的真直：0.2μm/100mm 3. 移,定速：0.02 ~ 10mm/s 4. 性尺(linar scale)：分解能 0.1μm四、Z： 1. 移動量：50mm 2. 移速度：max.2mm/S 3. 出器自停止能 4. 位置定分解能：0.2μm五、工件臺： 1. 工件臺尺寸：160mm 2. 械手傾斜： 1mm/150mm六、工件察：max.110 倍(可其它高倍CCD)七、床臺：材花巖石八、防振臺()：地型或桌上型九、源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA十、本外尺寸及重量： W494mm;D458mm;H610mm, 120kg (含防震臺)

品牌： 美國AEP Technology 型號： Nanomap-LS 產地：美國 供應商：aep Technology中國辦事處

臺階儀， NanoMap-LS接觸式三維表面臺階儀NanoMap-LSNanoMap -LS探針接觸式 臺階儀特點探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面，儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態(tài)，整合數據得到臺階高度，表面形貌，溝槽深度等特征。雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到最優(yōu)化的小區(qū)域三維測圖針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從150mm X 150m 。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。接觸式探針臺階儀在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察針尖掃描采用雙光學傳感器，擁有寬闊測量動態(tài)范圍（最大至500μm）及亞納米級垂直分辨率 （最?。?１nm ）軟件設置恒定微力接觸簡單的2步關鍵操作，友好的軟件操作界面、應用臺階儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將臺階儀帶入了另一個高精度測量的新時代。三維表面輪廓測量和粗糙度測量，即適用于精密拋光的光學表面也可適用于質地粗糙的機加工零件。薄膜和厚膜的臺階高度測量劃痕形貌，磨損深度、寬度和體積定量測量空間分析和表面紋理表征平面度和曲率測量二維薄膜應力測量微電子表面分析和MEMS表征表面質量和缺陷檢測環(huán)境要求濕度：10-80%， 相對濕度，無冷凝溫度：65-85 華氏度（△T＜1度/小時）電源要求：110/240V，50/60 Hz技術規(guī)格標準樣品 臺階高度標準樣品（NIST認證） 100um系統(tǒng) 光學照相機視場范圍 1.5 X 1.5mm光學照明 軟件控制暗場和亮場電腦 Pentium IV, USB2.0聯(lián)接操作系統(tǒng) Win XP系統(tǒng)動力需求 90-240V，350W空間尺寸 20寬X 22長 X 25高重量 160lb 關鍵詞：臺階儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面臺階儀、三維臺階儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面臺階儀、

品牌： 日本小坂 型號： ET4000 產地：日本 供應商：上海恒一精密儀器有限公司

儀器簡介：Excellent in accuracy, stability and functionality, ET4000 is a fully automatic, most appropriate for measurement of micro figure, step height and roughness of FPD, wafers, hard disks, and other nano-order application. ET4000 series can be selected from a number of models according to applications. ET4000A: Multifunctional and automatic ET4000L: Fully automatic, compatible with large precision glass or wafer size sample ET4000M: Reasonable, high performance and general-use技術參數：Max. sample size 210 × 210 mm to 300 × 400 mm Repeatability 1 σ within 0.5 nm Measuring range Z: 100 μm X: 100 mm (Y stroke: 150 to 400 mm) Resolution Z: 0.1 nm X: 0.01 μm Measuring force 0.5 μN to 500 μN主要特點：Excellent in accuracy, stability and functionality, ET4000 is a fully automatic, most appropriate for measurement of micro figure, step height and roughness of FPD, wafers, hard disks, and other nano-order application. ET4000 series can be selected from a number of models according to applications. ET4000A: Multifunctional and automatic ET4000L: Fully automatic, compatible with large precision glass or wafer size sample ET4000M: Reasonable, high performance and general-use

品牌： 日本小坂 型號： SE500 產地：日本 供應商：上海恒一精密儀器有限公司

儀器簡介：SE500是先進的，緊湊設計和高性能的粗糙度、波紋度和臺階測量儀。 兼容各種參數和執(zhí)行的多個標準同時分析。 以滿足所有應用程序的優(yōu)秀可擴展單位 便攜級機型中最長的驅動范圍和直線度 帶有開關控制器的集成觸摸面板 更寬幅的打印紙 能夠和各種應用兼容的組合技術參數：標準 JIS(2001/94/82),DIN,ISO,ASME 測量范圍 Z:800μm X: 55 mm 最小分辨率 0.08nm 測量倍率 Z: 50-200,000 or Auto X: 1-1000 or Auto 測量速度 0.05-2 mm/s 組成 7 種型號，從便攜式類型到固定類型主要特點： 便攜級機型中最長的驅動范圍和直線度 帶有開關控制器的集成觸摸面板 更寬幅的打印紙 能夠和各種應用兼容的組合

品牌： 美國AEP Technology 型號： NanoMap 產地：美國 供應商：aep Technology中國辦事處

儀器簡介： 該系統(tǒng)利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測技術和超平整參照面-大型樣品臺掃描技術，并與壓電陶瓷（PZT）掃描完美結合，可以再不喪失精度的情況下，即得到超大樣品整體三維輪廓圖，又呈現局部三維形貌像。其中樣品臺掃描參考平面使用超高平坦度光學拋光平臺，有效解決了以往樣品臺掃面，由于絲杠公差引起的測試結果有亞微米量級的誤差。 三維表面形貌/輪廓儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代。
1、常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術的完美結合 2、雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到最優(yōu)化的小區(qū)域三維測圖 3、針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。 4、在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察 5、針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（最大至500μm）及亞納米級垂直分辨率 （最小０.１nm ） 6、軟件設置恒定微力接觸 7、簡單的2步關鍵操作，友好的軟件操作界面

品牌： 美國TMI 型號： 產地：美國 供應商：北京丹貝爾儀器有限公司

儀器簡介：JohnParker’s博士發(fā)明的測試 方法，PPS采用微處理機控制， 可以快速，準確測試出紙張在 印刷過程各種條件下的表面粗糙度。 試樣夾在高靈敏度測試頭和特殊設 計的背襯組件之間。測試氣流通過 紙張表面阻力直接由內部計算成粗糙度以微米為結果單位顯示。 最新型的設備擴展了夾樣壓力范圍和測試能力，雙面同時測試提高了功效。大容量信息的提供為我們節(jié)約了時間，最佳的模擬了印刷過程，節(jié)約了印刷成本。 技術參數： 測頭數量：一個或兩個(58-07-00-0001) 粗糙度測試范圍：0.20 - 6.50m 高粗糙度測試范圍：6.0 15.0m 透氣度測試范圍：ISO 5636/1: 0 14.5m.Pas 等同苯特森透氣度測試范圍：0-10000ml/min 等同葛萊透氣度測試范圍：1-6000s 夾樣壓力設定：500, 1000, and 2000kPa 夾樣壓力用戶自定：100 5000kPa 符合標準：ISO 8791/4 and TAPPI T555 主要特點：觸摸式按鍵 壓縮空氣清除試樣表面灰塵 試樣感應探頭 一鍵顯示數理統(tǒng)計結果 內置診斷故障程序 內置校準程序，可使用校準塑料片，也可使用標準紙樣 包含校準組件 兩個測試范圍，可以測量高范圍粗糙度 擴展了夾樣壓力，更好地模擬了實際印刷方式 同時測試試樣雙面粗糙度或同時測試粗糙度和透氣度（僅限雙測頭型號）

品牌： 德國LT 型號： EK130 產地：德國 供應商：北京德華振峽科技有限公司（上海|汽車城）

采用經特殊處理的鋁和花崗巖材質， EK130氣浮旋轉臺采用空氣靜壓軸承設計，LT氣浮轉臺滿足同心軸向徑向操作的最高要求， LT公司的氣浮旋轉臺規(guī)格： 標準直徑60毫米，100毫米或150毫米氣浮轉臺內孔可選。轉臺利用水冷卻設計，使各款氣浮旋轉臺不僅耐用，而且具有熱穩(wěn)定性。 EK130氣浮旋轉臺可通過一個高轉速（ 150轉）和低于0.1弧秒的絕對精度結合實現超精密測量。這些測量單元的應用領域通常涉及內，外直徑測量，而且作為一個超精密機床附加旋轉軸。工件可以精確地固定到不銹鋼支撐板，或者通過真空吸附固定。

品牌： 美國Rtec 型號： UP-DUAL MODE 產地：美國 供應商：南京冉銳科技有限公司

美國Rtec雙模式臺階儀特點：一臺設備上集成非接觸式白光干涉形貌儀+高精度原子力顯微鏡白光干涉白光干涉能夠進行高分辨率圖像的掃描，對表面進行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面。 最好的技術來實現高Z向分辨率 白光干涉法和相移兩種模式實現Z方向的高分辨率。 快速圖像處理系統(tǒng)達到400萬像素 四色LED相機 更大的垂直測量范圍達10毫米 150 mmx150mm馬達控制平臺。 樣品粗糙度，粗糙表面高度拋光后的光潔度以及表面結構測量，如陶瓷、塑料和輥鋼。 SPIP專業(yè)數據分析軟件原子力顯微鏡探針式輪廓測量能夠進行材料在納米尺度水平的測試。提供掃描范圍70 x70um，探針更換簡單。 最好的技術來實現Z和XY方向上的高分辨率 X,Y和Z方向上納米級的分辨率和精度。 線性XY壓電陶瓷掃描 包括振動和不振動的模式 可選的側向力和相位模成像

品牌： 美國Rtec 型號： UP-Dual 產地：美國 供應商：南京冉銳科技有限公司

美國Rtec臺階儀特點：一臺設備上集成非接觸式白光干涉形貌儀+高精度原子力顯微鏡白光干涉白光干涉能夠進行高分辨率圖像的掃描，對表面進行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面。 最好的技術來實現高Z向分辨率 白光干涉法和相移兩種模式實現Z方向的高分辨率。 快速圖像處理系統(tǒng)達到400萬像素 四色LED相機 更大的垂直測量范圍達10毫米 150 mmx150mm馬達控制平臺。 樣品粗糙度，粗糙表面高度拋光后的光潔度以及表面結構測量，如陶瓷、塑料和輥鋼。 SPIP專業(yè)數據分析軟件原子力顯微鏡探針式輪廓測量能夠進行材料在納米尺度水平的測試。提供掃描范圍70 x70um，探針更換簡單。 最好的技術來實現Z和XY方向上的高分辨率 X,Y和Z方向上納米級的分辨率和精度。 線性XY壓電陶瓷掃描 包括振動和不振動的模式 可選的側向力和相位模成像

品牌： 美國AEP Technology 型號： NanoMap-LS（3） 產地：美國 供應商：aep Technology中國辦事處

臺階儀， NanoMap-LS 接觸式三維表面臺階儀NanoMap-LS 探針接觸式 臺階儀特點：探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面，儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態(tài)，整合數據得到臺階高度，表面形貌，溝槽深度等特征。雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描)針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從150mm X 150m樣品臺掃描掃描范圍到100mm納米級拋光光學參考平晶實時彩色光學照相機直接觀測雙光學傳感器 縱向測量范圍最大至1000um，最小到分辨率0.1nm恒定微力接觸 最小0.03mg簡單友好的人機操作界面應用臺階儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。三維表面輪廓測量和粗糙度測量，即適用于精密拋光的光學表面也可適用于質地粗糙的機加工零件。薄膜和厚膜的臺階高度測量劃痕形貌，磨損深度、寬度和體積定量測量空間分析和表面紋理表征平面度和曲率測量二維薄膜應力測量微電子表面分析和MEMS表征表面質量和缺陷檢測環(huán)境要求濕度：10-80%， 相對濕度，無冷凝溫度：65-85 華氏度（△T＜1度/小時）電源要求：110/240V，50/60 Hz關鍵詞：臺階儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面臺階儀、三維臺階儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面臺階儀、

品牌： 美國AEP Technology 型號： NanoMap-D（2） 產地：美國 供應商：aep Technology中國辦事處

NanoMap-D 臺階儀NanoMap-D三維臺階儀是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款測量計量型設備。既可以用于科學研究，也可以用于工業(yè)產品的檢測。該款儀器可以看做是表面研究的萬用表，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設計特點，彌補兩種模式的局限，發(fā)揮表面形貌儀的測量極限。光學非接觸式有速度快，直接三維成象，不破壞樣品等特點。探針接觸模式方便快捷，制樣簡單，測量材料廣泛。兩種模式相結合可以對更多形狀、性狀、材質的試樣進行表面形貌的研究。臺階儀又名三維表面形貌或輪廓儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代。NanoMap-D臺階儀測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設備傳感器精度高，穩(wěn)定性好，材料應用面廣。熱噪聲是同類產品最低的。垂直分辨率可達0.01 nm ( phase-shift mode) 可測跨學科、跨領域的各種樣品表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；1、三維表面結構：粗糙度,波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等2、二維圖像分析：距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等3、表界面測量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面4、薄膜和厚膜的臺階高度測量5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量6、微電子表面分析和MEMS表征NanoMap-D臺階儀的主要特點：高精度卓越的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；2 nm（光學非接觸式）對周圍環(huán)境和光源的強適應性沒有機械過濾寬闊的垂直測量范圍多種選擇光學頭及接觸式縱向掃描范圍 300 to 3900 μm圖像“縫合”技術使再大的表面也能呈現在一幅圖像內試用于幾乎所有的表面透明，不透明，反射光強等多種材料垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞脆性的材料，軟材料，柔性材料表面尖銳的，堅硬的，磨損的表面適應性強白光光源，人體安全設計，長壽命白光LED 免維護?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實驗室，甚至工業(yè)生產環(huán)境。接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術的完美結合接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍聯(lián)系方式：aep Technology電話：+86-010-68187909傳真：+86-010-68187909手機：+86-15611184708何先生公司網址：www.aeptechnolongy.com.cn 關鍵詞：臺階儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面臺階儀、三維臺階儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面臺階儀、表面臺階儀、關鍵詞：輪廓儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面輪廓儀、三維輪廓儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面輪廓儀、表面臺階儀、薄膜分析儀、表面形貌儀、表面粗糙度儀、非接觸式輪廓儀、非接觸式臺階儀、非接觸式表面形貌儀、非接觸式表面粗糙度儀、接觸式輪廓儀、接觸式臺階儀、接觸式表面形貌儀、接觸式表面粗糙度儀、探針式輪廓儀、探針式臺階儀、探針式表面形貌儀、探針式表面粗糙度儀、雙模式輪廓儀、雙模式臺階儀、雙模式表面形貌儀、雙模式表面粗糙度儀、三維表面輪廓儀、三維表面臺階儀、三維表面形貌儀、三維表面粗糙度儀

品牌： 美國AEP Technology 型號： NanoMap-500LS 產地：美國 供應商：aep Technology中國辦事處

臺階儀NanoMap-500LS接觸式三維表面臺階儀NanoMap-500LSNanoMap 500LS探針三維臺階儀特點 常規(guī)的探針臺階儀和掃描探針顯微鏡技術的完美結合 雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到最優(yōu)化的小區(qū)域三維測圖 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。 接觸式探針臺階儀在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（最大至500μm）及亞納米級垂直分辨率 （最?。?１nm ） 軟件設置恒定微力接觸 簡單的2步關鍵操作，友好的軟件操作界面應用三維表面形貌/臺階儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將臺階儀帶入了另一個高精度測量的新時代。三維表面輪廓測量和粗糙度測量，即適用于精密拋光的光學表面也可適用于質地粗糙的機加工零件。薄膜和厚膜的臺階高度測量劃痕形貌，磨損深度、寬度和體積定量測量空間分析和表面紋理表征平面度和曲率測量二維薄膜應力測量微電子表面分析和MEMS表征表面質量和缺陷檢測環(huán)境要求濕度：10-80%， 相對濕度，無冷凝溫度：65-85 華氏度（△T＜1度/小時）電源要求：110/240V，50/60 Hz技術規(guī)格標準樣品 臺階高度標準樣品（NIST認證） 100μm系統(tǒng) 光學照相機視場范圍 1.5 X 1.5mm光學照明 軟件控制暗場和亮場電腦 Pentium IV, USB2.0聯(lián)接操作系統(tǒng) Win XP系統(tǒng)動力需求 90-240V，350W空間尺寸 20’’ 寬X 22’’長 X 25’’高重量 160lb聯(lián)系方式：aep Technology電話：+86-010-68187909傳真：+86-010-68187909手機：+86-15611184708何先生公司網址：www.aeptechnolongy.com.cn

品牌： 美國AEP Technology 型號： NanoMap-D（2） 產地：美國 供應商：aep Technology中國辦事處

臺階儀NanoMap-D是一款兼?zhèn)淞税坠飧缮娣墙佑|式和探針接觸式的臺階儀。NanoMap-D三維臺階儀是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款測量計量型設備。既可以用于科學研究，也可以用于工業(yè)產品的檢測。該款儀器可以看做是表面研究的萬用表，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設計特點，彌補兩種模式的局限，發(fā)揮表面形貌儀的測量極限。光學非接觸式有速度快，直接三維成象，不破壞樣品等特點。探針接觸模式方便快捷，制樣簡單，測量材料廣泛。兩種模式相結合可以對更多形狀、性狀、材質的試樣進行表面形貌的研究。臺階儀，主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代。測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設備傳感器精度高，穩(wěn)定性好，材料應用面廣。熱噪聲是同類產品最低的。垂直分辨率可達0.01 nm ( phase-shift mode) 可測跨學科、跨領域的各種樣品表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；1、三維表面結構：粗糙度,波紋度，表面結構，缺陷分析，晶粒分析等2、二維圖像分析：距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等3、表界面測量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面4、薄膜和厚膜的臺階高度測量5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量6、微電子表面分析和MEMS表征改款臺階儀 的主要特點：高精度 卓越的縱向分辨率：0.1 nm ( 接觸式)；2 nm（光學非接觸式） 對周圍環(huán)境和光源的強適應性 沒有機械過濾寬闊的垂直測量范圍 多種選擇光學頭及接觸式 縱向掃描范圍 300 to 3900 μm 圖像“縫合”技術使再大的表面也能呈現在一幅圖像內試用于幾乎所有的表面 透明，不透明，反射光強等多種材料 垂直臺階，高寬深比，隆起，孔洞 脆性的材料，軟材料，柔性材料表面 尖銳的，堅硬的，磨損的表面適應性強 白光光源，人體安全設計，長壽命白光LED 免維護?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實驗室，甚至工業(yè)生產環(huán)境。 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術的完美結合 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。 在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍聯(lián)系方式：aep Technology電話：+86-010-68187909傳真：+86-010-68187909手機：+86-15611184708何先生公司網址：www.aeptechnolongy.com.cn關鍵詞：輪廓儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面輪廓儀、三維輪廓儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面輪廓儀、表面臺階儀、薄膜分析儀、表面形貌儀、表面粗糙度儀、非接觸式輪廓儀、非接觸式臺階儀、非接觸式表面形貌儀、非接觸式表面粗糙度儀、接觸式輪廓儀、接觸式臺階儀、接觸式表面形貌儀、接觸式表面粗糙度儀、探針式輪廓儀、探針式臺階儀、探針式表面形貌儀、探針式表面粗糙度儀、雙模式輪廓儀、雙模式臺階儀、雙模式表面形貌儀、雙模式表面粗糙度儀、三維表面輪廓儀、三維表面臺階儀、三維表面形貌儀、三維表面粗糙度儀

品牌： 美國AEP Technology 型號： NanoMap 產地：美國 供應商：aep Technology中國辦事處

臺階儀NanoMap-500LSNanoMap 500LS臺階儀特點 該款臺階儀是常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術的完美結合 雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到最優(yōu)化的小區(qū)域三維測圖 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。 在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（最大至500μm）及亞納米級垂直分辨率 （最小０.１nm ） 軟件設置恒定微力接觸 簡單的2步關鍵操作，友好的軟件操作界面應用臺階儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代。三維表面輪廓測量和粗糙度測量，即適用于精密拋光的光學表面也可適用于質地粗糙的機加工零件。薄膜和厚膜的臺階高度測量劃痕形貌，磨損深度、寬度和體積定量測量空間分析和表面紋理表征平面度和曲率測量二維薄膜應力測量微電子表面分析和MEMS表征表面質量和缺陷檢測環(huán)境要求濕度：10-80%， 相對濕度，無冷凝溫度：65-85 華氏度（△T＜1度/小時）電源要求：110/240V，50/60 Hz技術規(guī)格類型 項目 規(guī)格綜述 小范圍XY掃描頭，提供高精確度XY平臺掃描，提供大尺度測量帶亮場和暗場的全時彩色CCD照相機軟件控制觸針測量力，范圍 0.1-100mg觸針針尖半徑選件 2μm，5 μm，12.5 μm和25 μm，0.1-0.8μm可選針尖掃描(Piezo掃描器) 臺階高度重現性 0.6nm垂直分辨率 0.1nm測量高度精細范圍 5μm測量高度粗略范圍 0.5mmXY掃描分辨率 0.1μmXY掃描定位重現性 0.2μm掃描速度 10-50μm/sec掃描范圍 10-500μm每次掃描數據點 100-1000數據點最多至110000數據點樣品臺掃描 XY樣品區(qū)域 100mm X 100mm, 150mm安裝間隙XY平臺運動范圍 100mm X 100mm（150mm X 150mm）XY平臺定位重現性 5μm，2μm可選最大掃描長度 50mm掃描速度 0.1-5mm/secZ平臺范圍 55mm最大樣品高度 50mm手動旋轉平臺范圍 360度手動傾斜平臺范圍 ±2度標準樣品 臺階高度標準樣品（NIST認證） 100μm系統(tǒng) 光學照相機視場范圍 1.5 X 1.5mm光學照明 軟件控制暗場和亮場電腦 Pentium IV, USB2.0聯(lián)接操作系統(tǒng) Win XP系統(tǒng)動力需求 90-240V，350W空間尺寸 20’’ 寬X 22’’長 X 25’’高重量 160lb聯(lián)系方式：aep Technology電話：+86-010-68187909傳真：+86-010-68187909手機：+86-15611184708何先生公司網址：www.aeptechnolongy.com.cn關鍵詞：輪廓儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面輪廓儀、三維輪廓儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面輪廓儀、表面臺階儀、薄膜分析儀、表面形貌儀、表面粗糙度儀、非接觸式輪廓儀、非接觸式臺階儀、非接觸式表面形貌儀、非接觸式表面粗糙度儀、接觸式輪廓儀、接觸式臺階儀、接觸式表面形貌儀、接觸式表面粗糙度儀、探針式輪廓儀、探針式臺階儀、探針式表面形貌儀、探針式表面粗糙度儀、雙模式輪廓儀、雙模式臺階儀、雙模式表面形貌儀、雙模式表面粗糙度儀、三維表面輪廓儀、三維表面臺階儀、三維表面形貌儀、三維表面粗糙度儀

品牌： 美國AEP Technology 型號： NanoMap-PS 產地：美國 供應商：aep Technology中國辦事處

臺階儀 厚度47nm 標準樣品,三次重復測量結果疊加 (無任何減噪修正，原始數據輸出） 500um掃描, 2um探針NanoMap-PS是一款專門為nm級薄膜測量研發(fā)的無需防震臺即可測量的接觸式臺階儀 AFM同款位移傳感器，超高精度 壓電陶瓷驅動掃描，絕對無內源振動 自集成主動反饋式防震系統(tǒng) 真正無需額外輔助防震系統(tǒng)，實現高重復性納米測量 納米量級科學研究的必備產品NanoMap-PS臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復性，自動探索樣品表面，自動測量深受廣大客戶歡迎。測量表面可以覆蓋多種材料表面：金屬材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，對于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻膠等“柔軟表面”也可測量無須擔心劃傷或破壞。設備傳感器精度高，穩(wěn)定性好。熱噪聲是同類產品最低的。垂直分辨率可達0.1nm 。 可測表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料，金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒等；AEP的技術日新月異。 欲了解最新的產品性能參數，請與我們聯(lián)系。主要參數: 垂直分辨率 0.1nm垂直最大量程 1000um探針接觸力 0.03mg-100mg平臺范圍 直徑150毫米（可選200毫米或更大）高清圖像 4級放大，彩色CCD成像光源 雙長壽命強光LED金剛石探針 0.5um 到 25um 可選電話：+86-010-68187909傳真：+86-010-68187909手機：+86-15611184708何先生公司網址：www.aeptechnolongy.com.cn關鍵詞：輪廓儀、形貌儀、磨損體積測量儀、臺階儀、薄膜測厚儀、三維表面輪廓儀、三維輪廓儀、白光干涉儀、三維臺階儀、三維薄膜分析儀、三維形貌儀、三維粗糙度儀、表面輪廓儀、表面臺階儀、薄膜分析儀、表面形貌儀、表面粗糙度儀、非接觸式輪廓儀、非接觸式臺階儀、非接觸式表面形貌儀、非接觸式表面粗糙度儀、接觸式輪廓儀、接觸式臺階儀、接觸式表面形貌儀、接觸式表面粗糙度儀、探針式輪廓儀、探針式臺階儀、探針式表面形貌儀、探針式表面粗糙度儀、雙模式輪廓儀、雙模式臺階儀、雙模式表面形貌儀、雙模式表面粗糙度儀、三維表面輪廓儀、三維表面臺階儀、三維表面形貌儀、三維表面粗糙度儀維表面形貌儀、三維表面粗糙度儀 stulye profiler，臺階儀，臺階儀，臺階儀，臺階儀，臺階儀，臺階儀，臺階儀，臺階儀，臺階儀，bruker，Daktek，Veeco，Dektak XT，Ambios， KLA-Tencor，D-100，D-120，ST-100，ST-200，ST-300，XP-1/XP-2；XP-100(D100)/XP-200(D120)/XP-300；α-step IQ(100,200,250,500)；α-step P6；α-step P16+(P1,P2,P10,P11,P11,P15)；α-step P16+0F； KLA-Tencor公司光學輪廓儀(白光干涉儀/ 移相干涉儀)；MicroXam 100；MicroXam 1200

品牌： 德國BMT 型號： LMT 產地：德國 供應商：佰匯興業(yè)（北京）科技有限公司

德國BMT LMT密封軸導程測量系統(tǒng) 導程結構是密封軸在加工過程中進給方向上產生的微小的類似螺紋的結構。目前只有奔馳公司對此參數進行檢測。 導程測量解決的是軸的密封表面問題。次設備對導致漏油的不良導程結構進行測量和檢查。 符合Mercedes-Bens MBN 31007-7標準。應用案例● 圓柱型桿軸密封區(qū)的檢測● 密封性能的檢查檢測● 密封軸結構的檢測和評估產品特點● 專為檢測車間地面而設計● 可以檢測到最小的鉛結構● 縱向的工件夾具，更加節(jié)約空間● 工件自動旋轉● 電動化的測量頭● 自動對測得的數值進行評估● 可以精確計算所有與密封軸的相關參數● 擺動自動補償裝置技術參數測量頭● 測量范圍[μm]：±250● 分辨率[nm]：10● 針尖半徑[μm]：2旋轉臺● 旋轉角[°]：360● 最小分辨率[°]：0.01自動觸針驅動單元● X 軸向[mm]：20● Z 軸向[mm]：4

品牌： 德國BMT 型號： CMM 產地：德國 供應商：佰匯興業(yè)（北京）科技有限公司

德國BMT CMM 粗糙度測量系統(tǒng)用于CMM探針的小型的粗糙度測量儀，可大幅度地降低測量成本。 技術參數ISO 3274參考標準系統(tǒng)精確度等級1測量原理針頭、測量頭參考標準數據來源平板玻璃精確度1 %測量誤差0.5 %可測量長度12.5 mm針尖角度90°參數ISO, DIN 13565形貌、彎曲度、粗糙度ISO, DIN 15565核心粗糙度JIS B-0601粗糙度Daimler N 31007R3z過濾器Gauss, M50, M75, VDA2008數據導出USB, QDAS充電在膠卷盒中測量頭尺寸49 mm x 24 mm x 34mm

品牌： 日本三豐 型號： SJ-401 產地：日本 供應商：東莞市廣豐計量儀器有限公司

於鼻撬之，於表面螺、微段差曲面形的量都不倒它。 若搭DAT能，可化水平作使之更加容易。 使用高精度部+高分解能出器，可超高精度之量。 有富的，且可各的粗度格。 用控式大型液晶幕，高操作性。
品牌： 日本三豐 型號： SJ-310 178-570-01DC 產地：日本 供應商：東莞市廣豐計量儀器有限公司

日本三豐表面粗糙度儀SJ-310各的粗度格表示。大型LCD幕窗，易於清晰取。使用控式面板(具抗污性)，操作易。任意度定能。按PRINT即可藉由藏式印表列印出量之果(可不同之列印方式)。藏充池，本方便也可收置出器。有富的：自校正能、理、合否判定能、客自行能判定能。型號SJ-310貨號平移范圍12.5MM測量范圍300um(±150um)驅動／檢測元件探測儀:178-390/178-395*測頭:金剛石(測頭半徑:5um/2um*)測量力:4mN/0.75mN*探測方式:微感應評定輪廓P,R,DIN4776 profile,Motif估計參數Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr,δc,Rpk,Rvk,Rk,Mr1,Mr2,Lo,R,AR,Rx, A1,A2取樣長度0.25,0.8,2.5,8mm顯示LCD觸摸式面板打印機熱敏型放大倍數自動數據輸出自動電源通過適配器／電池可充電

品牌： 德國布魯克 型號： DektakXT 產地：德國 供應商：廣州領拓貿易有限公司

布魯克 DektakXT 臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創(chuàng)新性的設計，可以提供更高的重復性和分辨率，測量重復性可以達到5?。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術創(chuàng)新的頂峰，更加鞏固了其行業(yè)領先地位。不論應用于研發(fā)還是產品測量，通過在研究工作中的廣泛使用，DektakXT一定能夠做到功能更強大，操作更簡易，檢測過程和數據采集更完善。第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）的技術突破，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學領域。

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