SEMICON China 是中國首屈一指的半導(dǎo)體旗艦展覽，每年吸引全球高數(shù)量和高質(zhì)量的觀眾到場參觀，為大家提供了解最新產(chǎn)品、技術(shù)和解決方案的專業(yè)平臺。

2019 年，飛納電鏡將攜臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX，在 SEMICON China 2019 為大家?guī)頀呙桦婄R在半導(dǎo)體領(lǐng)域的最新應(yīng)用。

時(shí)間：2019 年 3 月 20 日 - 22 日

地點(diǎn)：上海新國際博覽中心

飛納電鏡展位號：N5 館 5619

飛納臺式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

光鏡 + 電鏡導(dǎo)航界面快速尋找 —— Bonding 位置

飛納電鏡彩色光學(xué)導(dǎo)航窗口 + 低倍 SEM 導(dǎo)航窗口 + 自動馬達(dá)臺，幫助用戶一鍵找到感興趣位置，永不丟失視野。

優(yōu)中心樣品杯 —— 多角度檢測 Bonding 質(zhì)量

飛納電鏡優(yōu)中心 (Eucentric) 樣品杯

飛納臺式掃描電鏡大樣品室卓越版 Phenom XL 的優(yōu)中心樣品杯可以通過傾斜、旋轉(zhuǎn)樣品，使用戶得到更豐富的形貌特征，輕松、安全地從各個(gè)角度觀察樣品：

自動保護(hù)系統(tǒng)，用戶無需擔(dān)憂碰撞探頭

腔室 3D 動態(tài)顯示，實(shí)時(shí)模擬顯示樣品與探頭的位置關(guān)系

優(yōu)中心樣品轉(zhuǎn)動，永不丟失視野

飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX

第五代飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 是終極的集成化成像分析系統(tǒng)，分辨率提升 20%，進(jìn)一步增加應(yīng)用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品。