SEMICON China 是中國首屈一指的半導(dǎo)體旗艦展覽,每年吸引全球高數(shù)量和高質(zhì)量的觀眾到場參觀,為大家提供了解最新產(chǎn)品、技術(shù)和解決方案的專業(yè)平臺。
2019 年,飛納電鏡將攜臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX,在 SEMICON China 2019 為大家?guī)頀呙桦婄R在半導(dǎo)體領(lǐng)域的最新應(yīng)用。
時(shí)間:2019 年 3 月 20 日 - 22 日
地點(diǎn):上海新國際博覽中心
飛納電鏡展位號:N5 館 5619
飛納臺式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用
光鏡 + 電鏡導(dǎo)航界面快速尋找 —— Bonding 位置
飛納電鏡彩色光學(xué)導(dǎo)航窗口 + 低倍 SEM 導(dǎo)航窗口 + 自動馬達(dá)臺,幫助用戶一鍵找到感興趣位置,永不丟失視野。
優(yōu)中心樣品杯 —— 多角度檢測 Bonding 質(zhì)量
飛納電鏡優(yōu)中心 (Eucentric) 樣品杯
飛納臺式掃描電鏡大樣品室卓越版 Phenom XL 的優(yōu)中心樣品杯可以通過傾斜、旋轉(zhuǎn)樣品,使用戶得到更豐富的形貌特征,輕松、安全地從各個(gè)角度觀察樣品:
自動保護(hù)系統(tǒng),用戶無需擔(dān)憂碰撞探頭
腔室 3D 動態(tài)顯示,實(shí)時(shí)模擬顯示樣品與探頭的位置關(guān)系
優(yōu)中心樣品轉(zhuǎn)動,永不丟失視野
飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX
第五代飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 是終極的集成化成像分析系統(tǒng),分辨率提升 20%,進(jìn)一步增加應(yīng)用范圍,更加適用于對電子束敏感的樣品。