濕電子化學(xué)品是指微電子.光電濕法工藝(主要包括濕法蝕刻.清洗.顯影.工藝中使用的各種電子化學(xué)材料，如互聯(lián)等。按用途可分為通用化學(xué)品(也稱超凈高純試劑)和功能化學(xué)品(以光刻膠試劑為代表)。

　　其中，超凈高純試劑需求占88%，其次是硫酸.雙氧水.氨水.氫氟酸.異丙醇.硝酸和磷酸；功能性化學(xué)品占12%，其次是半導(dǎo)體顯影液。.刻蝕液.面板用顯影液.剝離液和緩沖蝕刻液。

　　梅特勒托利多電位滴定儀廣泛應(yīng)用于電子濕化學(xué)中，典型應(yīng)用如下：

　　電位滴定儀

　　1.通用濕電子化學(xué)品

　　硫酸鈰法測定過氧化氫的含量

　　過氧化氫的滴定含量通常包括高錳酸鉀法和硫酸鈰滴定法。由于硫酸鈰作為滴定液非常穩(wěn)定，因此可以直接制備，而不需要校準(zhǔn)，因此可以等待標(biāo)準(zhǔn)溶液，使用非常方便。

　　取0.1~0.5g雙氧水，加DI水至錐形瓶20mL刻度，加20mL20%硫酸用0.1mol/L滴定硫酸鈰標(biāo)液，滴到終點。

　　過氧化氫含量結(jié)果

　　過氧化氫含量采用高錳酸鉀法測量，操作簡單，檢測速度快(3-5)min），測量結(jié)果準(zhǔn)確，測量重復(fù)性相對標(biāo)準(zhǔn)偏差可控制在1%以內(nèi)。

　　儀器配置：電位滴定儀，DMi140-SC氧化還原電極，DV1010滴定管

　　其他通用化學(xué)解決方案

　　2.功能性濕電子化學(xué)品

　　顯影液-四甲基氫氧化銨測定

　　梅特勒托利多電位滴定器可以有效控制四甲基氫氧化銨的含量，參考方法SJ/T測定電位滴定法，11636-2016電子工業(yè)顯影液中的四甲基氫氧化銨。

　　方法:準(zhǔn)確稱取適量樣品(精確到0.0001g），放入滴定杯中，加入50mL去離子水，用0.1N鹽酸滴定液用于滴定，四甲基氫氧化銨的含量按第一等點計算。

　　四甲基氫氧化銨的測定結(jié)果采用兩種方法準(zhǔn)確最大絕對誤差小于0.01%。

　　儀器配置：電位滴定儀，DGi111-SC/DGi115-SC酸堿滴定電極，DV1020滴定管。

　　緩沖刻蝕液-氟化銨和氫氟酸

　　緩沖蝕刻液主要用于蝕刻晶圓上的深槽SiO2氧化膜。當(dāng)溫度一定時，氧化膜的腐蝕速度主要取決于腐蝕液的比例和比例SiO2.參差不齊。腐蝕性液體的比例由梅特勒托利多電位滴定儀測量，測量結(jié)果準(zhǔn)確，重復(fù)性好。

　　精確稱取適量樣品，加入50ml水稀釋，用0.1mol/L氫氧化鈉滴定，滴定過程中有兩次跳躍，第一次跳躍是HF滴定終點，第二個突飛為氟化銨滴定終點。

　　HF的pKa為3.45，NH4+的pKa為9.所以第一次跳躍是25，所以HF滴定終點，第二個突點NH4F滴定終點HF和NH4+為了解決平衡常數(shù)之間的差異，可以通過一步滴定來測量HF和NH4F的濃度。

　　儀器配置：電位滴定儀，DGi111-SC/DGi115-SC酸堿滴定電極，DV1010滴定管

　　鋁刻蝕液-硝酸.磷酸.醋酸

　　滴定三元混酸含量

　　方法一，主要采用鋁蝕蝕液原料監(jiān)測：

　　測定刻鋁酸含量(4%)HNO3.75%H3PO4.10%HAc）

　　滴定劑（0.2MKOH-2-Isopronal）

　　乙醇：丙二醇=1：1

　　儀器：電位滴定儀+DGi113-SC非水酸堿滴定電極

　　方法二，主要用于鋁蝕刻液生產(chǎn)罐監(jiān)測-分步滴定。原因:鋁等離子體在生產(chǎn)中的樣品會影響測定

　　第一步：采用00采用氧化還原法.1N硫酸亞鐵銨滴定HNO3

　　溶劑:硫酸水(4:1)

　　第二步：采用酸堿滴定，采用0.5NNaOH滴定H3PO4和HAc

　　以飽和氯化鈉水溶液為溶劑：V1是硝酸+第一個磷酸H，V2是HAc第二個磷酸H

　　其他功能性濕電子化學(xué)測量解決方案

　　3.DispenSix全自動取樣.在線滴定系統(tǒng)

　　在線分析系統(tǒng)的所有化學(xué)分析部件均采用模塊化設(shè)計，玻璃、玻璃等完全耐腐蝕的高性能材料，PTFE,PVDF和FEP。在實際應(yīng)用中，用戶可以根據(jù)測試指標(biāo)進(jìn)行配置，并根據(jù)工廠的生產(chǎn)要求設(shè)置最合適的分析周期。自動收集樣品并進(jìn)行分析和測量。分析過程結(jié)束后，儀器自動用去離子水清洗反應(yīng)杯，向儀器屏幕顯示分析結(jié)果，并通過以太網(wǎng)將數(shù)據(jù)傳輸?shù)街醒肟刂剖襆abX軟件工作站labX也可以實現(xiàn)工作站LIMS.ERP等待系統(tǒng)的數(shù)據(jù)對接，真正實現(xiàn)24小時無人值守監(jiān)控。

　　全自動高精度取樣單元LiquidHandler它是一個滴定管功能，有6個閥門，能準(zhǔn)確吸收液體.液體潰瘍和準(zhǔn)備，可在生產(chǎn)線上實時監(jiān)測槽液酸.堿.銅離子等含量。Liquidhandler在線測量六價鉻和在線測量鈾含量的方案，可見梅特勒托利多在線滴定系統(tǒng)的多樣化。

　　模塊化設(shè)計，任何零件磨損或老化都可以更換和維修，維修方便簡單，經(jīng)過培訓(xùn)，客戶可以自行更換和維修。

　　如今，中國已成為世界上最大的半導(dǎo)體消費市場。5G通信人工智能等下一輪終端需求為中國大陸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展創(chuàng)造了新的機(jī)遇。我們在電子濕度化學(xué)中有豐富的應(yīng)用方法和案例，可以提供多種解決方案。

　　今日是《半導(dǎo)體行業(yè)觀察》為您分享的第3069內(nèi)容。