加拿大OCI公司推出新型多功能分子束外延生長裝置IMBE300

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我司全權代理的加拿大OCI公司近期首次推出世界上最新型多功能分子束外延生長裝置IMBE300。該裝置在一臺裝置上同時可集成如下6大技術使之尤為引人矚目。

1.? 帶有7個蒸發(fā)源的MBE

2.? 低能電子衍射儀

3.? 俄歇電子能譜儀

4.? X射線光電子能譜儀

5.? 反射高能電子衍射儀

6.? 熱脫附質譜儀

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該裝置實現(xiàn)了如下的設計制造目標:在一個超高真空腔體上完成外延生長過程集成監(jiān)控，2-D結晶狀態(tài)跟蹤以及原位成分/電子能帶分析。

具體說來有如下特點。

1.? 在薄膜生長后無需傳送到另外的超高真空室進行分析。

2.? 在蒸發(fā)和表面分析之間只需很短的切換時間。

3.? 具有傳送臂和試樣存儲機構的樣品室。

4.? 試樣傳送機構和其他系統(tǒng)兼容，SPM和SEM。

敬請國內材料工作者來電咨詢合作。參見下面圖片說明。

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