成果名稱

電子束加熱蒸發(fā)源

單位名稱

中科院物理研究所

聯(lián)系人

郇慶

聯(lián)系郵箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

□正在研發(fā) □已有樣機 □通過小試 □通過中試 √可以量產(chǎn)

合作方式

□技術(shù)轉(zhuǎn)讓 ? □技術(shù)入股 ? □合作開發(fā)? √其他

成果簡介：
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? ? 電子束加熱蒸發(fā)源是采用電子束加熱的方式對材料進行熱蒸發(fā)，電子束加熱方式具有污染小、加熱集中、效率高的特點，適用于熔點高的材料的蒸發(fā)沉積。我們的電子束加熱蒸發(fā)源采用超高真空兼容設(shè)計（CF35法蘭），具有水冷、水冷溫度檢測、手動擋板、線性進樣、高壓接口、束流檢測等功能。該蒸發(fā)源可以對棒狀導(dǎo)電材料直接進行加熱蒸發(fā)，也可采用多種材料的坩堝，對粉末、半導(dǎo)體以及絕緣體材料進行熱蒸發(fā)。全部設(shè)計為自主開發(fā)完成，具有加熱效率高、極限溫度高的特點，可以完成熔點最高的金屬鎢的蒸發(fā)。該技術(shù)目前已在國內(nèi)外多家高校和科研機構(gòu)嘗試性推廣（中科院物理所、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、中國科技大學(xué)、華中科技大學(xué)、中科院武漢物數(shù)所、IBM實驗室、匹茲堡大學(xué)等），收到一致好評。其主要技術(shù)指標(biāo)為：
? ? ?安裝法蘭: ?CF35
? ? ?超高真空兼容性: ?是? 可烘烤至 200℃
? ? ?腔內(nèi)直徑: ?34mm
? ? ?腔內(nèi)長度: ?170mm~400mm可定制
? ? ?源數(shù)量: ?1
? ? ?冷卻方式: ?水冷
? ? ?束流檢測范圍: ?0.1nA~10uA
? ? ?燈絲電流: ?0-2.5A
? ? ?高壓: ?0-2500V
? ? ?最高功率: ?250W
? ? ?蒸發(fā)溫度: ?高于 3000℃
? ? ?蒸發(fā)方式和尺寸： ?源棒材 尺寸 (直徑 1~4mm. 長度 20~100mm )
? ? ?金屬坩堝 (鎢、鉬、鉭可選；0.1cc、0.15cc、0.25cc、0.35cc、0.45cc).

應(yīng)用前景：
? ? ?主要用于分子束外延系統(tǒng)以及其他超高真空設(shè)備中的高溫金屬材料、半導(dǎo)體材料等的熱蒸發(fā)沉積。應(yīng)用范圍廣，每年國內(nèi)市場需求在百套以上。

知識產(chǎn)權(quán)及項目獲獎情況：
? ? ?發(fā)明專利：201310052836.1