成果名稱

高通量組合薄膜制備及原位表征系統(tǒng)

單位名稱

中科院物理研究所

聯(lián)系人

郇慶

聯(lián)系郵箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

√正在研發(fā) □已有樣機(jī) □通過(guò)小試 □通過(guò)中試 □可以量產(chǎn)

合作方式

√技術(shù)轉(zhuǎn)讓 ??√技術(shù)入股 ? □合作開發(fā)? √其他

成果簡(jiǎn)介：
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? ? 隨著“材料基因組計(jì)劃”的興起，人們對(duì)新的實(shí)驗(yàn)手段，特別是高通量高空間分辨率的材料制備和性能測(cè)試方法提出了迫切的要求。正是針對(duì)于此，我們開發(fā)了這套“高通量組合薄膜制備及原位表征系統(tǒng)”，基于完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新型生長(zhǎng)機(jī)理制備高通量組合薄膜。同時(shí)，通過(guò)結(jié)合特殊設(shè)計(jì)的掃描隧道顯微鏡，可實(shí)現(xiàn)對(duì)所制備薄膜的原位超高分辨表征。尚在研發(fā)中，主要技術(shù)指標(biāo)待測(cè)。

應(yīng)用前景：
? ? ?應(yīng)用前景尚不明確。

知識(shí)產(chǎn)權(quán)及項(xiàng)目獲獎(jiǎng)情況：
? ? ?發(fā)明專利：201510446068.7、201510524841.7