成果名稱

FF-63/70、FF-100/300脂潤滑復合分子泵

單位名稱

北京中科科儀股份有限公司

聯(lián)系人

朱國精

聯(lián)系郵箱

zhugj@kyky.com.cn

成果成熟度

□正在研發(fā) □已有樣機 □通過小試 □通過中試 √可以量產(chǎn)

合作方式

□技術轉(zhuǎn)讓 □技術入股 □合作開發(fā)?? √其他

成果簡介： ? ? ?

? ? ?本項目產(chǎn)品為基于分析儀器行業(yè)應用的小型脂潤滑復合分子泵，包括FF-63/70、FF-100/300兩個型號。所涉及的關鍵技術主要有：
? ? ?1）渦輪級葉片、牽引級圓盤型螺旋槽氣體輸運特性分析；
? ? ?2）整體式渦輪轉(zhuǎn)子的強度校核及高速銑削加工工藝；
? ? ?3）高速轉(zhuǎn)子軸系動力學特性分析及減振結構設計；
? ? ?4）高速直流電機及驅(qū)動控制系統(tǒng)設計；
? ? ?其中，整體式渦輪轉(zhuǎn)子高速銑削加工、高速直流電機及驅(qū)動技術達到國際一流水平。
? ? ?項目產(chǎn)品主要應用于各類質(zhì)譜分析儀器，為儀器正常工作提供必要的高真空環(huán)境，產(chǎn)品主要創(chuàng)新點如下：
? ? ?1）分子泵體積小、轉(zhuǎn)速高，對氦氣、氫氣等小分子氣體有較高的壓縮比；
? ? ?2）采用整體復合型渦輪轉(zhuǎn)子，并通過HSM600高速銑加工中心規(guī)模化生產(chǎn)，提高產(chǎn)品一致性和可靠性，同時較好的控制成本；
? ? ?3）對高速軸系設計軸向、徑向相結合的復合減振方案，保證高速轉(zhuǎn)子穩(wěn)定運行。
? ? ?產(chǎn)品主要性能指標如下
? ? ?FF-63/70? ?? FF-100/300
? ? ?抽速 > 60 L/s > 250 L/s
? ? ?極限壓力?? < 5E-5 Pa? < 3E-5 Pa
? ? ?轉(zhuǎn)速 ≥ ? ?50700 轉(zhuǎn)/分鐘 ≥ 42000 轉(zhuǎn)/分鐘
? ? ?振動值? < 0.1um < 0.1um

應用前景：
? ? ?項目產(chǎn)品為脂潤滑復合型渦輪分子泵，主要為各類儀器和真空平臺提供所需潔凈的高真空環(huán)境，產(chǎn)品主要應用于質(zhì)譜分析、表面科學、激光、薄膜沉積、實驗室科研等領域。
? ? ?據(jù)統(tǒng)計，2010年我國進口分子泵8000多臺，其中40%用于各類分析儀器，并以每年20%的速度增長，而該領域分子泵長期被國外廠家壟斷。本項目產(chǎn)品目前已實現(xiàn)銷售27臺，其中部分應用實現(xiàn)了對國外產(chǎn)品的替換。

知識產(chǎn)權及項目獲獎情況：
? ? ?本項目產(chǎn)品完全自主研發(fā)，擁有完全自主知識產(chǎn)權。
? ? ?暫無申請專利。