成果名稱

電阻加熱蒸發(fā)源及控制器

單位名稱

中國科學(xué)院物理研究所

聯(lián)系人

郇慶

聯(lián)系郵箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

□正在研發(fā)? □已有樣機(jī)? □通過小試? □通過中試? √可以量產(chǎn)

合作方式

√技術(shù)轉(zhuǎn)讓?? √技術(shù)入股?? □合作開發(fā)?? √其他

成果簡介：?

? ? 電阻加熱坩堝的方式,對(duì)材料進(jìn)行熱蒸發(fā)。該部件采用超高真空兼容設(shè)計(jì)(CF35 法蘭), 具有水冷和手動(dòng)擋板功能。其水冷采用特殊設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),具有水冷效率高、不需要區(qū)分進(jìn)水/ 出水口的特點(diǎn)。專利設(shè)計(jì)的坩堝結(jié)構(gòu),可以在不破壞加熱鎢絲的情況下更換蒸發(fā)材料。目前 該設(shè)備已在國內(nèi)外多家單位進(jìn)行了嘗試性推廣,包括中科院物理所、清華大學(xué)、北京大學(xué)、 南京大學(xué)、華東理工大學(xué)、法國 CEA、美國加州大學(xué) Irvine 分校、美國 LBNL,效果良好。 其主要技術(shù)指標(biāo)為:
? ? ? ?安裝法蘭:? CF35
? ? ? ?超高真空兼容性:? 是 – 可烘烤至 200℃
? ? ? ?腔內(nèi)直徑:? 34mm
? ? ? ?腔內(nèi)長度:? 110mm~500mm 可定制
? ? ? ?源數(shù)量:? 1
? ? ? ?冷卻方式:? 水冷
? ? ? ?坩堝材料:? 99.8%三氧化二鋁
? ? ? ?工作溫度:? 250℃~1200℃? ? ? ?

? ? ? ?溫度測量:? 有 ? ?K型熱電偶
? ? ?所配套控制器,具有 PID 控制和多段可編程功能。輸出功率可定制,控溫精度高。有上 位機(jī)軟件,界面友好、使用方便。主要技術(shù)指標(biāo)為:
? ? ? ?最大輸出功率: 576W(36V/16A)--可定制
? ? ? ?加熱方式: 交流
? ? ? ?控溫表頭: 多種控溫表頭可選
? ? ? ?溫度傳感器: K 型熱電偶(C 型熱電偶可定制)

應(yīng)用前景：
? ? ?主要用于分子束外延系統(tǒng)以及其他超高真空設(shè)備中的有機(jī)材料及低溫?zé)o機(jī)材料的熱蒸 ? ?發(fā)沉積。應(yīng)用范圍廣,每年國內(nèi)市場需求在數(shù)百套以上。

知識(shí)產(chǎn)權(quán)及項(xiàng)目獲獎(jiǎng)情況：
? ? ?發(fā)明專利:201410538769.9