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飛納電鏡新高度,讓臺(tái)式掃描電鏡解像度沖破 10 納米

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2021-07-29  來源:儀器網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):51
核心提示:慶祝飛納臺(tái)式掃描電鏡再創(chuàng)新高度,分辨率突破 10 納米,將臺(tái)式掃描電鏡的分辨率從真正意義上提高到個(gè)位數(shù)。飛納電鏡現(xiàn)已成為臺(tái)式掃描電鏡市場領(lǐng)導(dǎo)者,是主流掃描電鏡廠家中,唯一只專注臺(tái)式掃描電鏡研發(fā)的廠商。研發(fā)的投入取得了顯著的成果,飛納電鏡成為

慶祝飛納臺(tái)式掃描電鏡再創(chuàng)新高度,分辨率突破 10 納米,將臺(tái)式掃描電鏡的分辨率從真正意義上提高到個(gè)位數(shù)。飛納電鏡現(xiàn)已成為臺(tái)式掃描電鏡市場領(lǐng)導(dǎo)者,是主流掃描電鏡廠家中,唯一只專注臺(tái)式掃描電鏡研發(fā)的廠商。研發(fā)的投入取得了顯著的成果,飛納電鏡成為首個(gè)采用高亮度,1500 小時(shí)壽命 CeB6 燈絲的廠家,一舉成為主流臺(tái)式掃描電鏡中分辨率最高的;同時(shí),將掃描電鏡抽真空的時(shí)間縮短為 15s,速度驚人;首次在掃描電鏡中集成光學(xué)顯微鏡,方便用戶獲得樣品臺(tái)的全貌,有了它,就像有了谷歌地圖,用戶對樣品的位置可以有清晰準(zhǔn)確的定位,結(jié)合全自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái),查找樣品某個(gè)位置快速簡單。 回顧飛納臺(tái)式掃描電鏡的歷史:


1997 年,F(xiàn)EI 和飛利浦電子光學(xué)宣布合并其全球業(yè)務(wù),強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手,代表了全世界最先進(jìn)的電鏡技術(shù);



2006 年,F(xiàn)EI 成立 Phenom World 公司,發(fā)布全球第一臺(tái)臺(tái)式掃描電子顯微鏡飛納(Phenom),放大倍數(shù) 10,000 倍;



2012 年 3 月,Karel.Mast 教授帶領(lǐng)原飛利浦電鏡部門精英研發(fā)出世界首臺(tái)電鏡能譜一體機(jī),能譜探頭從此可以安全地待在電鏡外殼內(nèi)部;同時(shí)推出 3D 粗糙度測量等軟件;



2013 年 4 月,Phenom World 優(yōu)化 CeB6 燈絲和內(nèi)部防震設(shè)計(jì),將分辨率優(yōu)化到 17 nm, 正式推出第三代產(chǎn)品,放大倍數(shù) 100,000 倍,與大型鎢燈絲電鏡分辨率接近,同年 11 月推出顆粒測量統(tǒng)計(jì)系統(tǒng);



其后不久,Phenom World 推出了新產(chǎn)品 Phenom XL, 樣品尺寸 100*100 mm,可選配二次電子,拓展功能媲美大型鎢燈絲電鏡;同時(shí)推出了孔徑測量統(tǒng)計(jì)系統(tǒng);



2015 年,PW 推出第 4 代產(chǎn)品,分辨率達(dá)到 14 納米,放大倍數(shù) 13 萬倍;同年,PW 推出了世界首臺(tái)熒光電鏡一體機(jī) Delphi,首將關(guān)聯(lián)電鏡技術(shù)發(fā)展成為臺(tái)式設(shè)計(jì);



飛納,不僅僅代表著掃描電鏡,更代表著一種創(chuàng)新精神,一種追求卓越的精神,飛納電鏡用實(shí)際成果帶給人們不斷的驚喜。2016 年,飛納電鏡第 5 代產(chǎn)品,分辨率突破 10 nm。第 4 代 Phenom Pro 飛納電鏡專業(yè)版是 14 nm 的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡,放大倍數(shù) 13 萬倍;第五代的 Phenom Pro 檢測結(jié)果,分辨率優(yōu)于 10 nm.飛納電鏡性能穩(wěn)定可靠,經(jīng)得起客戶的實(shí)地考察,經(jīng)得起市場的檢驗(yàn),飛納,會(huì)成為您工作最佳的搭檔!



2015年,第四代高分辨率專業(yè)版 Phenom Pro 分辨率 14 nm


2016年,第五代高分辨率專業(yè)版 Phenom Pro 分辨率優(yōu)于 10 nm


 
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