第二屆電鏡網(wǎng)絡(luò)會議(iCEM 2016)特邀報告

低電壓掃描電鏡技術(shù)在材料研究中的應(yīng)用

曾 毅 研究員

中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所

報告摘要：

　　基于曾毅老師長期的掃描電鏡工作經(jīng)驗，本次報告將從理論和實際操作兩方面探討低電壓掃描電鏡在材料領(lǐng)域的應(yīng)用，主要涉及以下幾個方面的內(nèi)容：

　　1、 低電壓掃描電鏡的特點是什么?為什么要采用低電壓進(jìn)行掃描電鏡觀察?

　　2、 為什么現(xiàn)有場發(fā)射掃描電鏡都具有較好的低電壓分辨率(通常優(yōu)于1.5nm)，但是很多掃描電鏡工作者卻不愿意或者不敢使用低電壓進(jìn)行觀察?

　　3、 如何在低電壓下獲得高清晰度圖像?采用低加速電壓進(jìn)行掃描電鏡觀察時需要注意什么?影響低電壓掃描電鏡圖像質(zhì)量的主要因素有哪些?

　　4、 如何利用低加速電壓進(jìn)行介孔材料觀察和分析?

　　5、 如何利用低加速電壓獲得材料真實的顯微結(jié)構(gòu)信息?

　　6、 低電壓STEM在材料分析中的應(yīng)用

　　......

報告人簡介：

　　曾毅，中國科學(xué)院上海硅酸鹽所分析測試中心副主任，研究員，博士生導(dǎo)師。主要從事材料顯微結(jié)構(gòu)-性能-工藝關(guān)系研究，實驗室擁有FEI Magellan400, Hitachi SU8220, Hitachi SU4800, JEOL 8100以及JEOL 6700等多臺掃描電鏡。

　　近年來作為項目負(fù)責(zé)人承擔(dān)了863、科技部國際合作專項、中科院重點部署項目、上海市民口科技支撐項目等多項材料表征技術(shù)相關(guān)研究項目，在國內(nèi)外學(xué)術(shù)刊物發(fā)表顯微結(jié)構(gòu)表征技術(shù)論文近90篇。出版《低電壓掃描電鏡應(yīng)用技術(shù)研究》和《掃描電鏡和電子探針的基礎(chǔ)及應(yīng)用》學(xué)術(shù)專著兩部，起草掃描電鏡相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)5個。

報告時間：2016年10月25日上午