基于50年的掃描電鏡研發(fā)經(jīng)驗,16-17下半財年伊始,日本電子株式會社發(fā)布了具有顛覆性設(shè)計的場發(fā)射掃描電鏡JSM-IT300HR,并且在今年的法國歐洲里昂舉行的電鏡會上進行了JSM-IT300HR實機展示,大受好評。
作為業(yè)內(nèi)第一款易用型場發(fā)射掃描電鏡,JSM-IT300HR擁有眾多領(lǐng)先業(yè)界的特性:
1) 擺脫了冷卻循環(huán)水和空氣壓縮機,更不需要氮氣瓶。第一次在場發(fā)射掃描電鏡上實現(xiàn)只要有電源就可以安裝。
2) 樣品倉超大,12英寸硅片(300mm直徑)可直接放入觀察。重樣品可五軸方向移動。具有12個擴展接口。
3) 標(biāo)配低真空(可變壓力)模式,兼顧材料科學(xué)與生命科學(xué)樣品。
4) 觸摸屏點擊操作,可擺脫鍵盤鼠標(biāo)的束縛,實現(xiàn)遠程操作。
5) JEOL是世界上唯一同時生產(chǎn)電子顯微鏡和X射線能譜儀的廠家,哪怕是球差校正TEM上,JEOL的EDS技術(shù)也可以輕松實現(xiàn)原子級的分辨率?,F(xiàn)在,JEOL將這種技術(shù)移植到SEM上來,JSM-IT300HR可配置一體化分析系統(tǒng),實現(xiàn)一臺顯示器無縫切換SEM/EDS。
6) 支持蒙太奇與光電光聯(lián)顯微鏡技術(shù)。