科學(xué)儀器行業(yè)活躍著一批擁有核心技術(shù)、產(chǎn)品具有良好市場潛力的中小儀器廠商，為更好地助力企業(yè)發(fā)展，儀器信息網(wǎng)在2021年繼續(xù)推進(jìn)國產(chǎn)科學(xué)儀器騰飛行動之“創(chuàng)新100”項(xiàng)目，以公益性的宣傳報(bào)道和資源對接，助力行業(yè)篩選扶持真正具備自主創(chuàng)新能力的“種子選手”。2021年“創(chuàng)新100”第一站，儀器信息網(wǎng)帶你走進(jìn)深圳市速普儀器有限公司(以下簡稱：速普儀器)。

　　從半路“轉(zhuǎn)行”，到進(jìn)入電鏡制樣行業(yè)

　　速普儀器源于上一家公司內(nèi)部孵化，實(shí)際獨(dú)立運(yùn)行于2014年，總部位于深圳市南山區(qū)高新科技園區(qū)，致力于微納米薄膜領(lǐng)域提供敏捷+精益級制備、測量和控制儀器，協(xié)助客戶提高研發(fā)和生產(chǎn)效率。

　　公司創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)求學(xué)和工作初始階段本身就是從事材料及真空薄膜工藝領(lǐng)域的研究，當(dāng)年做工藝?yán)в谥苽溲b備的落后和有限條件，因而抱著自己去嘗試優(yōu)化改造的初心，半路“轉(zhuǎn)行”進(jìn)入鍍膜設(shè)備儀器行業(yè)。正因?yàn)槿绱?，相對于同行很多公司，速普團(tuán)隊(duì)開發(fā)設(shè)備或儀器的出發(fā)點(diǎn)是習(xí)慣性從使用者角度或從工藝角度去看待，而不只是從光機(jī)電設(shè)備儀器制造的角度去設(shè)計(jì)，這也成了速普產(chǎn)品的初心和特色。

　　速普儀器創(chuàng)立伊始，聚焦于工業(yè)級真空等離子體在PVD物理氣相沉積鍍膜領(lǐng)域的應(yīng)用。作為一家小公司對條件困頓感同身受，因此主要定位于開發(fā)敏捷+精益級設(shè)備和儀器去服務(wù)相關(guān)小公司，樸素地相信小公司之間協(xié)同聯(lián)合也可以發(fā)揮相當(dāng)?shù)淖饔?，山里的野百合也可以有春天。限于?dāng)時(shí)的認(rèn)知和能力圈，前面三年這方面的探索并不成功。

　　2017年起，速普團(tuán)隊(duì)開始關(guān)注等離子體在電鏡領(lǐng)域的應(yīng)用，發(fā)現(xiàn)有兩個(gè)問題：1電鏡領(lǐng)域無論從電鏡本身到前處理制樣儀器80%都是進(jìn)口品牌; 2 過去20年電鏡制樣儀器的更新?lián)Q代速度明顯低于電鏡本身性能的升級速度(大市場大公司受關(guān)注)。市面上亟需升級開發(fā)新一代的制樣儀器去發(fā)揮出新一代電鏡的最優(yōu)性能。因此，速普儀器將自身基于工業(yè)級真空等離子體方面的理論認(rèn)知和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)應(yīng)用于電鏡制樣儀器領(lǐng)域，快速推出了一系列SEM掃描電鏡和TEM透射電鏡樣品前處理設(shè)備。三年多時(shí)間大概推出了十余個(gè)產(chǎn)品，分別進(jìn)行了多次迭代及定型。目前，這類產(chǎn)品已在公司銷售額占比中逐步提升，預(yù)計(jì)將占公司銷售額4成以上。

　　速普儀器涉足的另一個(gè)領(lǐng)域是薄膜的檢測和薄膜工藝過程控制儀器的開發(fā)。公司自2014年就推出針對硬質(zhì)涂層領(lǐng)域的薄膜殘余應(yīng)力測試儀，隨著近些年微納加工或半導(dǎo)體行業(yè)的客戶咨詢量逐年攀升，而早期硬質(zhì)涂層殘余應(yīng)力儀由于測試精度局限性已無法滿足半導(dǎo)體行業(yè)客戶的應(yīng)用需求，公司在2018年末專門開發(fā)了一款高精度薄膜應(yīng)力儀，于2019年底定型并設(shè)計(jì)生產(chǎn)出光電薄膜版應(yīng)力儀FST2000。一年后，又繼續(xù)迭代并升級相關(guān)產(chǎn)品，定型為FST5000系列。

FST5000薄膜應(yīng)力儀

　　Easy to Be Different，Hard To Be Better

　　當(dāng)前，速普儀器擁有全職員工15人，另有多位兼職員工，其中研發(fā)人員占60%，博士、碩士占比近30%。過去幾年的研發(fā)投入持續(xù)地占當(dāng)年公司營收30%。目前，速普儀器主要與中科院體系下的研究所比如金屬所、電工所、深圳先進(jìn)技術(shù)研究院以及深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院等高校研究所有較為深入地合作。

　　目前，速普儀器在電鏡制樣領(lǐng)域主推產(chǎn)品型號有兩類：TEM/SEM樣品離子清洗和離子濺射。

SPC150等離子清洗儀

　　SPC150樣品桿等離子清洗儀，主要用于TEM樣品桿檢漏、等離子清洗、親水活化、表面改性和真空存儲等用途。該產(chǎn)品性能上可以替代進(jìn)口同類主流產(chǎn)品，并且實(shí)現(xiàn)方式上有簡單直接的微創(chuàng)新，比如樣品等離子體分區(qū)處理(客戶能夠根據(jù)樣品污染多少選擇不同處理強(qiáng)度區(qū)域)。

ISC150+RPS20離子濺射清洗儀

　　另一個(gè)是ISC離子濺射儀系列，主要是附加了射頻遠(yuǎn)程離子清洗模塊。目前業(yè)界“標(biāo)準(zhǔn)”流程：樣品制備-噴金/噴碳-電鏡觀察。速普團(tuán)隊(duì)發(fā)現(xiàn)在噴金儀本身增加一步離子清洗步驟，通過這種簡單方便及低成本方式，可以顯著地提升電鏡圖像襯度、去除碳?xì)湮廴?，又不對樣品本身造成離子損傷?！半m然是非常簡單地方式，但我們很興奮。行業(yè)不在乎多一個(gè)或少一個(gè)同質(zhì)公司，但假若采用簡單低成本方式，就可能給這個(gè)行業(yè)帶來通用流程地改變和改善，協(xié)助客戶發(fā)揮高性能電鏡的真正能力。我們深知easy to be different，hard to be better?！?p>　　在薄膜檢測領(lǐng)域，速普儀器主推產(chǎn)品型號是FST系列薄膜應(yīng)力儀，主要用于光電類薄膜和MEMS/IC領(lǐng)域薄膜應(yīng)力測試。該產(chǎn)品主要特點(diǎn)及優(yōu)勢：采用雙激光源，更簡單地光路設(shè)計(jì)微創(chuàng)新，同時(shí)兼容業(yè)內(nèi)兩種主流掃描模式，即局部應(yīng)力mapping面掃模式和整體應(yīng)力線掃模式，實(shí)現(xiàn)1-5000MPa薄膜應(yīng)力的精確測量。該產(chǎn)品技術(shù)源于速普儀器自2014年即推向市場的FST1000硬質(zhì)涂層殘余應(yīng)力儀，只是FST5000測試精度更高一兩個(gè)數(shù)量級。目前在同類產(chǎn)品中，速普是國產(chǎn)唯一生產(chǎn)商。

　　速普儀器在科研領(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域擁有大量典型客戶，例如：中科院金屬所、中科院深圳先進(jìn)院、中科院蘭州化物所、清華大學(xué)、北京航空航天大學(xué)，北京科技大學(xué)、南開大學(xué)、南方科技大學(xué)，以及富士康科技集團(tuán)，瑞聲科技股份有限公司，株洲鉆石切削刀具股份有限公司等。速普人的心聲是：“我們的初心就是針對具體的場景，盡量提供最合適的解決方案，至少要做到國內(nèi)最好水平。相信長期來看客戶是理性的，只要真正解決客戶需求，銷量是順理成章的。”

　　截止今日，速普儀器最早推出的球坑測厚儀銷量已占國內(nèi)同中產(chǎn)品8成市場占有率。FST1000硬質(zhì)涂層殘余應(yīng)力儀銷量占國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)品銷量7成。電鏡領(lǐng)域相關(guān)產(chǎn)品雖然推向市場較晚，但是發(fā)展較為迅猛，每年銷售額基本都是100%左右同比增長。

　　被客戶和市場“推著”進(jìn)入半導(dǎo)體領(lǐng)域

　　華為被美國“斷供”，中芯國際被列入美國商務(wù)部黑名單，半導(dǎo)體領(lǐng)域嚴(yán)峻的形勢吸引牽動著公眾的神經(jīng)，也將大家的目光聚焦到國產(chǎn)半導(dǎo)體和芯片領(lǐng)域。

　　速普儀器關(guān)注并開始踏入相關(guān)的市場并非主動選擇，而是客戶和市場“推著”進(jìn)入的。前文提及，速普儀器在2014年即推出針對硬質(zhì)涂層殘余應(yīng)力表征設(shè)備，由于硬質(zhì)涂層測試的特點(diǎn)，該產(chǎn)品的光路設(shè)計(jì)和相關(guān)數(shù)據(jù)精度能夠很好滿足客戶需求。但是從2018年開始，越來越多從事半導(dǎo)體行業(yè)的客戶打電話或展會拜訪，咨詢公司是否能夠滿足光電類薄膜測試需求。速普儀器也曾經(jīng)嘗試過用現(xiàn)有產(chǎn)品測試光電薄膜的殘余應(yīng)力，但是獲得數(shù)據(jù)根本沒有重復(fù)性可言。經(jīng)過內(nèi)部討論、技術(shù)探討和市場調(diào)研，速普儀器通過對現(xiàn)有技術(shù)的摸索改進(jìn)，最終在2019年底推出光電薄膜應(yīng)力測試儀，用于解決精確表征制備薄膜應(yīng)力數(shù)值或mapping分布，對于前道制備薄膜工藝進(jìn)行指導(dǎo)和反饋。

　　此外，速普儀器也在開發(fā)一些真空薄膜工藝制程控制儀器和核心部件。類似于電腦，MEMS或半導(dǎo)體設(shè)備整機(jī)國內(nèi)已經(jīng)逐步會做到集成，但組成這些整機(jī)設(shè)備的核心零部件大部分還是進(jìn)口。而且這些零部件由于市場非常細(xì)分和涉及多學(xué)科技術(shù)交叉，開始階段屬于小而苦的行業(yè)，需要持續(xù)不成投資回報(bào)比例地投入和時(shí)間積累才能有所突破。速普人表示：“主航道有大公司去布局，在這些細(xì)分方向更能發(fā)揮我們團(tuán)隊(duì)多學(xué)科交叉背景優(yōu)勢，填補(bǔ)一些核心零部件產(chǎn)品國產(chǎn)空白。對于我們也愿意為中國半導(dǎo)體行業(yè)的崛起貢獻(xiàn)綿薄之力。”

　　當(dāng)前，速普儀器還是希望能夠在電鏡前處理儀器和精益微納米領(lǐng)域的薄膜檢測、過程控制儀器兩個(gè)領(lǐng)域發(fā)力。公司的初心和目標(biāo)就是針對具體的應(yīng)用場景，發(fā)揮創(chuàng)造力盡量為客戶提供最合適的解決方案，至少要做到國內(nèi)最好水平?！凹偃绨l(fā)現(xiàn)我們的產(chǎn)品通過幾年都看不到做到國內(nèi)數(shù)一數(shù)二的水準(zhǔn)希望，我們會主動放棄這個(gè)產(chǎn)品，只是市場上另一個(gè)可有可無的同質(zhì)產(chǎn)品或公司并不是我們的追求。”

　　附：“創(chuàng)新100”介紹

　　秉承“國產(chǎn)科學(xué)儀器騰飛行動”宗旨，儀器信息網(wǎng)于2018年啟動“國產(chǎn)科學(xué)儀器騰飛行動”之“創(chuàng)新100”項(xiàng)目，通過篩選一批具備自主創(chuàng)新能力的中小儀器廠商，借助報(bào)道、走訪、調(diào)研等方式，在企業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵時(shí)期“幫一把”。

　　項(xiàng)目自啟動以來，已收到超過150家企業(yè)的踴躍申請，通過輸出公益性的宣傳報(bào)道，組織企業(yè)研學(xué)、參觀交流、主題討論等各類資源對接活動，得到廣大科學(xué)儀器企業(yè)與用戶單位的高度關(guān)注與一致好評，現(xiàn)已成為中國科學(xué)儀器市場頗具影響力的特色活動，對于提升國產(chǎn)儀器品牌影響力，為行業(yè)篩選優(yōu)質(zhì)儀器企業(yè)貢獻(xiàn)重要力量。為延續(xù)“國產(chǎn)科學(xué)儀器騰飛行動”精神，篩選和服務(wù)更多國產(chǎn)科學(xué)儀器潛力企業(yè)，“創(chuàng)新100”將于2021年繼續(xù)進(jìn)行，為國產(chǎn)儀器企業(yè)輸送更多公益資源。

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