美國(guó)Microsense位移傳感器提供高穩(wěn)定性和線性方案、高分辨率、高帶寬測(cè)量方案,用于測(cè)量硬盤驅(qū)動(dòng)馬達(dá),氣動(dòng)軸承轉(zhuǎn)子,X-Y樣品臺(tái)準(zhǔn)確度,光盤,汽車零部件和機(jī)床等測(cè)量。
美國(guó)Microsense位移傳感器特點(diǎn):
1、高準(zhǔn)確性,高靈敏性測(cè)量,高精度可達(dá)0.5nm。
2、優(yōu)化的近距離測(cè)量 測(cè)量距離在10微米到5毫米。
3、完全非接觸式電容式微位移測(cè)量準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù),無(wú)損樣品測(cè)量。
4、可探測(cè)任何可傳導(dǎo)性、接地的測(cè)量目標(biāo) 表面是否拋光以及材質(zhì)對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確度無(wú)任何影響。
5、用途廣泛:金屬薄片厚度測(cè)量,振動(dòng)測(cè)量,工作臺(tái)垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測(cè)量,精密馬達(dá)轉(zhuǎn)軸偏振測(cè)量(Axial, Radial,Spindle runout),精密儀器工作平臺(tái)定位,設(shè)備自動(dòng)聚焦測(cè)量(微影設(shè)備,原子力顯微鏡,光罩探測(cè),圖像確認(rèn),LCD生產(chǎn)設(shè)備 )
美國(guó)Microsense位移傳感器特點(diǎn):
1、高準(zhǔn)確性,高靈敏性測(cè)量,高精度可達(dá)0.5nm。
2、優(yōu)化的近距離測(cè)量 測(cè)量距離在10微米到5毫米。
3、完全非接觸式電容式微位移測(cè)量準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù),無(wú)損樣品測(cè)量。
4、可探測(cè)任何可傳導(dǎo)性、接地的測(cè)量目標(biāo) 表面是否拋光以及材質(zhì)對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確度無(wú)任何影響。
5、用途廣泛:金屬薄片厚度測(cè)量,振動(dòng)測(cè)量,工作臺(tái)垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測(cè)量,精密馬達(dá)轉(zhuǎn)軸偏振測(cè)量(Axial, Radial,Spindle runout),精密儀器工作平臺(tái)定位,設(shè)備自動(dòng)聚焦測(cè)量(微影設(shè)備,原子力顯微鏡,光罩探測(cè),圖像確認(rèn),LCD生產(chǎn)設(shè)備 )