三菱錐壓頭，也稱玻氏（Berkovich）壓頭，是納米壓痕技術(shù)中廣泛使用的一種壓頭，呈三菱錐形狀。

通過(guò)壓頭對(duì)材料表面加載，然后測(cè)出壓痕區(qū)域，以此來(lái)評(píng)價(jià)材料機(jī)械性能的技術(shù)，我們稱之為壓痕技術(shù)。傳統(tǒng)的壓痕方法是采用一定形狀的壓頭在一定壓力的作用下壓入被測(cè)樣品，保持一段時(shí)間后卸載，然后用標(biāo)尺或顯微鏡測(cè)出壓頭在材料表面留下的壓痕半徑或?qū)蔷€長(zhǎng)度，以此計(jì)算材料力學(xué)性能參數(shù)值，如硬度。這種測(cè)量方法直接、簡(jiǎn)單，但是分辨率較低，即使采用透射電子顯微鏡等高精度儀器也只能測(cè)得壓深不小于10um情況下的硬度。而且此方法壓痕尺度較大，不適于測(cè)試膜厚較小( 2 um )的薄膜材料的性能。

另外，此方法是先加載，后離線測(cè)量，這樣得到的僅為材料的塑性性能。隨著現(xiàn)代微電子材料科學(xué)的發(fā)展，試樣尺寸越來(lái)越小型化，傳統(tǒng)的壓痕測(cè)試技術(shù)已經(jīng)無(wú)法滿足新材料的需要。此外，材料科學(xué)家們不僅要了解材料的塑性性質(zhì)，而且需要掌握材料的彈性性質(zhì)。

納米壓痕技術(shù)又稱深度敏感壓痕技術(shù)，它是通過(guò)計(jì)算機(jī)控制載荷連續(xù)變化，并在線監(jiān)測(cè)壓深量，由于施加的是超低載荷，加上監(jiān)測(cè)傳感器具有優(yōu)于Inm的位移分辨率，所以可以獲得小到納米級(jí)(O.1nm~100nm)的壓深，適用于超薄層材料性能的測(cè)試。