亚洲欧美日本韩国_久久久久亚洲AV片无码V_亚洲AV片不卡无码一_H漫全彩纯肉无码网站

 
 
當(dāng)前位置: 首頁 » 新聞資訊 » 最新資訊 » 正文

CPU停車區(qū)之中三角形度粗糙度傾斜度檢查設(shè)計方案(方法顯微)

分享到:
放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2021-01-27  來源:儀器網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):50
核心提示:方案詳情 產(chǎn)品概述 參數(shù)3D光學(xué)輪廓測量儀產(chǎn)品特點:使用Sensofar技術(shù)開發(fā)的neox光學(xué)輪廓儀,其共聚焦部分的主要優(yōu)點是有著極高發(fā)光效率的照明硬件和高對比度算法。這些特點使系統(tǒng)成為測量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣
方案詳情

產(chǎn)品概述 參數(shù)

3D光學(xué)輪廓測量儀產(chǎn)品特點:

使用Sensofar技術(shù)開發(fā)的neox光學(xué)輪廓儀,其共聚焦部分的主要優(yōu)點是有著極高發(fā)光效率的照明硬件和高對比度算法。這些特點使系統(tǒng)成為測量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設(shè)備。高品質(zhì)干涉光學(xué)系統(tǒng)和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關(guān)鍵。這項技術(shù)對于測量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術(shù)的組合為neox輪廓儀提供了無限寬廣的應(yīng)用領(lǐng)域。

可用于標準的明場彩色顯微成像、共焦成像、三維共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測量。沒有移動部件使其擁有堅固而緊湊的設(shè)計,同時也使得該探頭適合很多OEM應(yīng)用。極其簡單的、符合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶獲得非??斓臏y量速度,只需方便地切換適當(dāng)?shù)奈镧R,調(diào)焦,并選擇適當(dāng)?shù)牟杉J郊纯伞?p>3D光學(xué)輪廓測量儀產(chǎn)品功能:

※共聚焦 (Confocal Profiling) 共聚焦輪廓儀可以測量較光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虛焦部分光線的共焦成像系統(tǒng),可提供高對比度的圖像。籍由表面的垂直掃描,物鏡的焦點掃過表面上的每一個點,以此找出每個像素位置的對應(yīng)高度(即共聚焦圖像)。 共聚焦輪廓儀可以由其光學(xué)組件實現(xiàn)超高的水平解析度,空間采樣可以減小到0.10μm,這是一些重要尺寸測量的理想選擇。高數(shù)值孔徑NA(0.95)和放大倍率(150X和200X)的物鏡可測量斜率超過70°的光滑表面。neox具有極高的光效,專有的共聚焦算法可提供納米級的垂直方向重復(fù)性。超長工作距離(SLWD)可測量高寬比較大、形狀較陡的樣品。

※干涉(Interferometry)

● PSI 模式 (PSI Profiling)

相位差干涉儀 (Phase Shift Interferometers)可以亞納米級的分辨率測量非常光滑與和連續(xù)的表面高度。必須準確對焦在樣品上,并進行多步垂直掃描,步長是波長的精確的分數(shù)。PSI算法借助適當(dāng)?shù)某绦驅(qū)⒈砻嫦辔粓D轉(zhuǎn)換為樣品高度分布圖。

PSI模式可在所有的數(shù)值孔徑(NA)下提供亞納米級的垂直分辨率。放大倍率較小時(2.5X)可以測量較大視場范圍,并具有同樣的垂直分辨率。但是光波相干長度使其測量范圍限制在微米級。PSI算法使neox 得到納米尺度的形態(tài)特征,并以亞納米尺度對超平滑的表面紋理參數(shù)作出評估。

● VSI 模式 (VSI Profiling)

白光干涉儀 (White-Light Vertical Scanning Interferometers)可用于測量光滑表面或適度粗糙表面的高度。當(dāng)樣品表面各個點處于好佳焦點位置時可得到好大干涉條紋對比度。多步垂直掃描樣品,表面上的每一個點會通過對焦點,通過檢測干涉條紋峰值得到各像素位置的高度。

VSI模式可在所有的數(shù)值孔徑(NA)下提供納米級垂直分辨率。VSI算法使neox在各放大倍率下得到具有相同垂直分辨率的形態(tài)特征。其測量范圍在理論上是無限的,盡管在實踐中其將受限于物鏡實際工作距離。掃描速度和數(shù)據(jù)采集速率可以非???,當(dāng)然這會導(dǎo)致一定程度垂直分辨率損失。

 

※薄膜測量 (Thin Film)

光譜反射法是薄膜測量的方法之一,因為它準確、無損、迅速且無需制備樣品。測量時,白光照射到樣品表面,并將在膜層中的不同界面反射,并發(fā)生干涉和疊加效應(yīng)。結(jié)果,反射光強度將顯示出波長變化,這種變化取決于薄膜結(jié)構(gòu)不同層面的厚度和折射率。軟件將測得的真實光譜同模擬光譜進行比較擬合,并不斷優(yōu)化厚度值,直到實現(xiàn)好佳匹配。

Neox也可用作高分辨率的薄膜測量系統(tǒng),它適用于單層箔,膜或基板上的單層薄膜,而且還可以處理更復(fù)雜結(jié)構(gòu)(好高可至基板上10層薄膜)??稍谝幻雰?nèi)測量從10nm到20μm的透明薄膜,厚度分辨率0.1 nm,橫向分辨率達5μm。   

使用Sensofar專有技術(shù)開發(fā)的neox光學(xué)輪廓儀,其共聚焦部分的主要優(yōu)點是有著極高發(fā)光效率的照明硬件和高對比度算法。這些特點使系統(tǒng)成為測量有著陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有異種材料樣品的理想設(shè)備。高品質(zhì)干涉光學(xué)系統(tǒng)和集成壓電掃描器是干涉輪廓儀部分的關(guān)鍵。這項技術(shù)對于測量非常光滑至適度粗糙的表面比較理想。這些技術(shù)的組合為neox輪廓儀提供了無限寬廣的應(yīng)用領(lǐng)域??捎糜跇藴实拿鲌霾噬@微成像、共焦成像、三維共焦建模、PSI、VSI及高分辨率薄膜厚度測量。沒有移動部件使其擁有堅固而緊湊的設(shè)計,同時也使得該探頭適合很多OEM應(yīng)用。極其簡單的、符合人體工程學(xué)的軟件界面使用戶獲得非??斓臏y量速度,只需方便地切換適當(dāng)?shù)奈镧R,調(diào)焦,并選擇適當(dāng)?shù)牟杉J郊纯伞?p>

 

特點:

※ 微顯示共聚焦掃描   目前的共聚焦顯微鏡都使用有著可移動機械裝置的鏡面掃描頭,這會限制其使用壽命,并且在高倍率時降低像素抖動優(yōu)化效果。對于共焦掃描,neox使用基于微型顯示器的Sensofar技術(shù)。該微型顯示器基于鐵電液晶硅(FLCoS),一種沒有運動部件的快速切換裝置,使共焦圖像的掃描更快速、穩(wěn)定并擁有無限的壽命。

※ 彩色CCD攝像頭Neox使用一個高速高分辨率的黑白CCD攝像頭為系統(tǒng)計量探頭。另一個彩色攝像頭可用于明場表面觀察。這樣使得它很容易找出所分析樣品的特點。此外,地貌測量功能可得到全聚焦彩色圖像。該系統(tǒng)在垂直掃描過程中記錄圖像合焦位置像素,并和其Z軸位置匹配從而得到全聚焦彩色圖像,并以此來創(chuàng)建出色的三維模型。

※ 物鏡Neox使用獨特的CFI60 Nikon物鏡,在各NA時都有好大的工作距離??蛇x用的物鏡超過50種,每一款都可對應(yīng)某種特別應(yīng)用:可用于共聚焦成像和建模的較高NA,倍率范圍2.5X至200X,超長工作距離,特長工作距離及浸水物鏡;帶調(diào)焦環(huán)的物鏡可在好厚2mm范圍的透明介質(zhì)對焦;2.5X至100X帶參考鏡校正及頂端傾斜的物鏡。

※ 雙垂直掃描器雙垂直掃描器包括一個電動平臺和壓電掃描器,以獲得好高的掃描范圍和好高的測量精度及重復(fù)精度。高定位精度的線性平臺行程40mm,好小步進可達10nm,用于共聚焦掃描非常理想。集成的壓電掃描器好高掃描范圍200μm,壓電電阻傳感器高定位分辨率0.2nm,全行程精度1nm。現(xiàn)有的其它掃描平臺使用光學(xué)編碼器,精度僅30nm且不確定,限制了系統(tǒng)的精確度和重復(fù)性。結(jié)合線性平臺和壓電掃描器的獨特設(shè)計,使Neox在0.1納米至幾毫米測量范圍內(nèi)擁有業(yè)界好高的精度,線性和重復(fù)性。

※ 集成反射光譜儀共聚焦及干擾法測量薄膜厚度的實際限制約為1μm單層膜。Neox集成了一個反射光譜儀,通過光纖進行薄膜的測量,厚度范圍在10nm,好高可達10層膜。該光纖通過顯微目鏡成像,因此,薄膜測量點尺寸好小可達5微米。測量使用集成的LED光源,可提供樣品以及薄膜測量的實時明場影像。

※ 雙LED照明光源內(nèi)置了兩個高功率LED,其中白光LED用于彩色明場觀察,薄膜測量,VSI和ePSI。另一個藍光LED用于高分辨率共聚焦影像和PSI。藍光LED較短的波長可有效提升水平分辨率至0.15μm(L S),并改善PSI噪聲為0.01nm垂直分辨率。

※ 高速度 (12.5 fps 共聚焦幀速率)基于FLCoS微型顯示器的高速轉(zhuǎn)換速度和特有的快速共聚焦算法,本設(shè)備可達到12.5幀/秒的共聚焦圖像幀率,垂直3D掃描達到8層/秒,這意味著3D共焦測量掃描速度范圍為0.5至350μm/s。干涉掃描速度為50 fps,即垂直掃描速度高達800μm/s。一次典型的測量時長,其中包括掃描后的運算,通常小于5秒。

光譜反射法是薄膜測量的方法之一,因為它準確、無損、迅速且無需制備樣品。測量時,白光照射到樣品表面,并將在膜層中的不同界面反射,并發(fā)生干涉和疊加效應(yīng)。結(jié)果,反射光強度將顯示出波長變化,這種變化取決于薄膜結(jié)構(gòu)不同層面的厚度和折射率。軟件將測得的真實光譜同模擬光譜進行比較擬合,并不斷優(yōu)化厚度值,直到實現(xiàn)好佳匹配。

Neox也可用作高分辨率的薄膜測量系統(tǒng),它適用于單層箔,膜或基板上的單層薄膜,而且還可以處理更復(fù)雜結(jié)構(gòu)(好高可至基板上10層薄膜)??稍谝幻雰?nèi)測量從10nm到20μm的透明薄膜,厚度分辨率0.1 nm,橫向分辨率達5μm。


 
關(guān)鍵詞: 測量 掃描 薄膜 分辨 辨率
 
打賞
[ 新聞資訊搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告訴好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 違規(guī)舉報 ]  [ 關(guān)閉窗口 ]
免責(zé)聲明:
本網(wǎng)站部分內(nèi)容來源于合作媒體、企業(yè)機構(gòu)、網(wǎng)友提供和互聯(lián)網(wǎng)的公開資料等,僅供參考。本網(wǎng)站對站內(nèi)所有資訊的內(nèi)容、觀點保持中立,不對內(nèi)容的準確性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保證。如果有侵權(quán)等問題,請及時聯(lián)系我們,我們將在收到通知后第一時間妥善處理該部分內(nèi)容。
 

CPU停車區(qū)之中三角形度粗糙度傾斜度檢查設(shè)計方案(方法顯微)二維碼

掃掃二維碼用手機關(guān)注本條新聞報道也可關(guān)注本站官方微信賬號:"xxxxx",每日獲得互聯(lián)網(wǎng)最前沿資訊,熱點產(chǎn)品深度分析!
 

 
0相關(guān)評論

 
国产精品毛片av999999| 男女啪动最猛动态图| 芒果乱码国色天香| 欧美成人一区二区三区在线观看| 少妇极品熟妇人妻200片| 久久精品国产69国产精品亚洲 | 精品国产乱码久久久久久浪潮| 亚洲av永久无码天堂网| 内谢少妇xxxxx8老少交| 久久精品国产久精国产爱| 全部孕妇毛片丰满孕妇孕交| 无码国产精成人午夜视频一区二区| 国产无遮挡无码视频免费软件 | 国产精品久久久久无码av| 亚洲中文久久精品无码| 国产人妻777人伦精品hd| 777午夜精品免费观看| 伊人久久精品无码av一区| 97午夜理论片在线影院| 国产成人亚洲精品无码青| 少妇邻居内射在线| 无遮挡18禁啪啪羞羞漫画| 国产女人aaa级久久久级| 少妇人妻大乳在线视频不卡| 免费看撕开奶罩揉吮奶头视频| 极品美女扒开粉嫩小泬| 亚洲国产激情一区二区三区| 欧美肥婆性猛交xxxx| 成人免费一区二区三区视频软件| 性色av无码一区二区三区人妻| 人妻丰满熟妇av无码区hd| 亚洲中字幕日产av片在线| 暖暖免费 高清 日本社区在线观看| 精品亚洲成a人片在线观看| 亚洲午夜久久久精品影院| 日韩精品无码一本二本三本| 亚洲欧美日韩综合久久| 无遮挡18禁啪啪羞羞漫画| 久久精品国产99国产精品亚洲| 欧美颜射内射中出口爆在线| 精品亚洲成av人在线观看|