日本APCO公司精密劃片機(jī)系列,型號(hào)包括AMC-7600,7800,8000。適用于TEM(透射電鏡)和SEM(掃描電鏡)等的樣品制備工作,廣泛應(yīng)用于硅片、光掩膜、液晶顯示器用TFT、石英、集成電路器件等樣品橫斷面的切割。劃片精度 2.5微米,適用于最大達(dá)8英寸,厚度0.6至10毫米樣品,可確保獲得光滑的橫斷面以便于進(jìn)一步觀察。具有CPU控制,操作簡便,制備速度快,可以刻劃平坦或彎曲的樣品。目前,包括東芝、索尼、愛普生、IBM、菲利普、NEC等許多國際知名的半導(dǎo)體制造商都在使用APCO的產(chǎn)品。
AMC-8000切割機(jī)(精密劃片機(jī))
AMC-8000是AMC-7600、8000的改進(jìn)型,主要是提高了劃線精度。
光學(xué)顯微鏡采用美國著名的NAVITAR公司的伸縮鏡頭顯微鏡,通過CCD攝像機(jī)定位。
也可選用伸縮和微聚焦的電機(jī)驅(qū)動(dòng)式。
其他規(guī)格與AMC-7600相同。
《AMC-8000簡要規(guī)格》
適用材料:石英、硅片、玻璃、掩膜片、TFT基板、顯象管、等離子體顯示器等
平面、曲面(CRT熒光面等)均可切劃
適用材料尺寸:最大8 英寸
劃線精度: 2.5um
最大顯示倍率:約800倍(在20寸CRT上)
外形尺寸:650W 550D 650H((不含CRT等)
重量:約78Kg(不含CRT等)
一.特點(diǎn)
操作簡單,自動(dòng)劃線準(zhǔn)確,可間隔劃線5處
平面、曲面皆可劃線,切線整齊,獲專利
劃刀壓力可自由設(shè)定,從2N~60N
刀片壽命可達(dá)1年以上
帶報(bào)警裝置,工作不正常時(shí)會(huì)報(bào)警
適用于石英、硅片、研磨片、玻璃、TFT基板、顯象管、等離子體顯示器等
二.主要規(guī)格
1.適用材料尺寸 8英寸 10mmt
2.工作臺(tái)移動(dòng)距離 X=50mm Y=230mm =360度
3.劃線精度 15um
4.光學(xué)系統(tǒng) 單筒收縮顯微鏡 實(shí)體顯微鏡
5.監(jiān)測 CCD+14~20英寸彩顯
6.顯示倍率 22~800倍
三.切割壓力設(shè)定實(shí)例
石英 8.85mmt 約45N
石英 3.00 約30N
石英 2.30 約25N
玻璃 10mm(14 CRT) 約55N
玻璃 0.8mm 約12N
Si 0.7mm 約5N
顯象管 10mm
硅片(Si、InP)
四.切成片實(shí)例
6025石英掩膜 6.35mm 約5mm 約5mm
1.2mmt玻璃 1.2mm 約5mm 約50mm
0.7mmt硅片 0.7mm 約4mm 約4mm
3mmt InP片 0.3mm 約0.5mm 約5mm
五.刀壓設(shè)定很容易
刀壓由旋鈕自由設(shè)定。對一種試樣,可改變幾次設(shè)定值試劃,便可得到合適的刀壓。以合適刀壓劃線后,用附屬的專用切斷鉗很容易切斷。
六.劃線設(shè)定簡單
只要將劃線端點(diǎn)對準(zhǔn)OM表針中心位置,按壓設(shè)定指令按鈕即可,此位置即為劃線起點(diǎn)或終點(diǎn)。
最大設(shè)定12點(diǎn)(間隔劃線最大可設(shè)定5點(diǎn))設(shè)定后,裝置即自動(dòng)劃片。
七.劃刀壽命長(1年以上)的理由
采用超硬刀輪,旋轉(zhuǎn)劃片,不易磨損。
超硬刀輪的行走方向由工作臺(tái)的行走方向調(diào)節(jié)。
八.帶有聲響警告裝置,在下列情況下裝置警告且不工作
當(dāng)工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)鎖定未卡好時(shí);
設(shè)定位置不當(dāng)時(shí);
設(shè)定次數(shù)與要?jiǎng)澗€次數(shù)不符合時(shí)。
九.安全保證
漏電切斷,無熔線斷路器。
AMC-8000補(bǔ)充說明
本機(jī)不是大批量生產(chǎn)用的,而是在使用SEM觀察各種半導(dǎo)體硅片、各種玻璃材料等不良部位及試制品合格與否時(shí),為其制作試樣用的機(jī)器。使用該機(jī)的主要時(shí)研究開發(fā)部門、品質(zhì)管理部門、分析/解析部門。
本機(jī)的特點(diǎn)及剖面SEM試樣的加工工藝如下:
一.特點(diǎn)
制作試樣無需研磨,一般制作試樣時(shí)時(shí)先將試樣埋入樹脂后,而研磨而制成的,故制作一個(gè)試樣需要花幾個(gè)小時(shí),本機(jī)則只需要15分鐘左右。
采用獨(dú)特的跳躍間隔劃線方式,不會(huì)傷及觀察部分(試樣表面)。
使用顯微鏡,能很容易輸入劃線加工部分的坐標(biāo)位置。
提高了X軸方向的分辨率,以便能從要觀察的部分切斷。
二.加工工藝過程:
先在要觀察的微小部位的前后表面劃線,以便之后切斷。
用夾鉗夾住試樣,切斷。
三.劃線精度:
AMC-7600 15um
AMC-7800 15um
AMC-8000 2.5um
四.劃線寬度由試樣和劃線加工條件而異,約為數(shù)100 um
五.最大5點(diǎn)跳躍間隔劃線,如后圖所示,用顯微鏡觀察試樣表面時(shí),如果觀察部分遭到破壞,便無法觀察,本機(jī)可預(yù)先設(shè)定好劃線坐標(biāo)位置,自動(dòng)地跳過要觀察的部位,這樣便不會(huì)劃傷要觀察的部位了。而且一次劃線可取得5個(gè)要觀察的位置。
但條件是硅片等結(jié)晶材料,其觀察部位要沿結(jié)晶方向在一條直線上。
六.劃刀價(jià)格:15000-30000日元。(屬日本國內(nèi)價(jià)格,且?guī)У都埽?br>七.劃刀壽命:以加工硅片為例,每年需換2-3次刀。
八.ABK-5切斷機(jī)的使用方法:
將劃過線的試樣裝在機(jī)子上;
旋轉(zhuǎn)沖壓旋鈕輕輕固定;
將試樣劃線與懸臂前端中心線對齊;
慢慢旋動(dòng)沖壓旋鈕,將試樣切斷。
郵箱地址:pcminst@gmail.com QQ:1606737747 MSN:pcm-tech@msn.com
手機(jī)號(hào)碼:13718810335
注:對于醫(yī)療器械類產(chǎn)品,請先查證核實(shí)企業(yè)經(jīng)營資質(zhì)和醫(yī)療器械產(chǎn)品注冊證情況