大批量材料的彈性模量
膜厚
半導(dǎo)體材料的損傷程度
特點(diǎn):無損傷檢測(cè)
超硬超薄都能檢測(cè)
檢測(cè)整個(gè)面,并非某個(gè)點(diǎn)
可測(cè)膜范圍廣:從納米到毫米
快速可靠
樣品無需特殊處理
無需校正
作用:
薄膜沉積、涂層噴涂及成品材料表面的過程控制
薄膜和涂層機(jī)械參數(shù)的精確測(cè)量
膜材料上微結(jié)構(gòu)的無損評(píng)估(如鍵合情況、多孔性和組成)
測(cè)探垂直于表面的彈性和密度梯度
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注:對(duì)于醫(yī)療器械類產(chǎn)品,請(qǐng)先查證核實(shí)企業(yè)經(jīng)營(yíng)資質(zhì)和醫(yī)療器械產(chǎn)品注冊(cè)證情況