FR-portable 便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成：

Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng)，通過(guò)內(nèi)嵌式微處理器控制，使用壽命超過(guò)20000小時(shí)。

小型光譜儀，光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達(dá)3648像素， 16位級(jí) A/D 分辨精度；配有USB通訊接口；

Β)   FR-Monitor膜厚測(cè)試軟件系統(tǒng)，

可精確計(jì)算如下參數(shù)：

1）單一或堆積膜層的厚度；

2）靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫(kù)，可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測(cè)試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測(cè)量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用授權(quán)，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測(cè)試后的結(jié)果分析使用。

C)   參考樣片：

a)   經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片；

b)   經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片；

c)   經(jīng)校準(zhǔn)過(guò)的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片；

D)   反射探針臺(tái)和樣片夾具

可處理的樣品尺寸達(dá)200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等；

手動(dòng)調(diào)節(jié)可測(cè)量高度可達(dá)50mm；

可針對(duì)更大尺寸訂制樣片夾具；

Ε)   反射率測(cè)量的光學(xué)探針

內(nèi)嵌系統(tǒng)6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm；

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注：對(duì)于醫(yī)療器械類產(chǎn)品，請(qǐng)先查證核實(shí)企業(yè)經(jīng)營(yíng)資質(zhì)和醫(yī)療器械產(chǎn)品注冊(cè)證情況