聯(lián)系我們時請說明是91化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝! FM100美國康寧平面度測量系統(tǒng)采用激光干涉原理,一次性測試整個平面,同時獲取230,000個點的數(shù)據(jù),應(yīng)對產(chǎn)品表面的劃痕,沙眼,崩角,凹凸不平,毛刺等問題可以直觀的顯示在測量結(jié)果中。
美國康寧Corning Tropel Flatmaster 100平面度儀也稱為平面度測量儀、平整度儀、平坦度儀等,為精密部件的制造商提供了業(yè)界的平面度及表面形態(tài)測量。
通過非接觸式光學(xué)測量技術(shù)能在很短 的時間內(nèi)記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。
Flatmaster 100平面度儀提供了五種納米級的解析度和高達(dá)50納米的標(biāo)準(zhǔn)精度,能夠快速和準(zhǔn)確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測量。
FM100美國康寧平面度測量系統(tǒng)技術(shù)特點及應(yīng)用領(lǐng)域:無接觸和無損傷測量
適用多種類型材料:半導(dǎo)體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
適用多種類型晶片:硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面
FlatMaster 100 平面度儀可測量技術(shù)參數(shù):
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓;
完整的平面度檢測和分析系統(tǒng):
三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
FM100美國康寧平面度測量系統(tǒng)可測量多種不同指標(biāo):
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
完整的分析系統(tǒng):
三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
可以實現(xiàn)自動、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測量
超過15年的工業(yè)應(yīng)用,全球幾百臺的裝機(jī)量
技術(shù)參數(shù):
重復(fù)性:15 nm(0.6 )(1 sigma)
分辨率:5nm (0.2 )
可測量工件尺寸:5mm-100mm(更小工件也可提供)
動態(tài)測量范圍: 50um
測量數(shù)據(jù)點:230,000百萬 / measurement
測量時間:5秒
電源:~220V 50Hz
美國康寧Flat master 100平面度測量系統(tǒng)應(yīng)用實例:
Tropel FlatMaster100能測量物件的zui大尺寸100mm??蛻艋亩ㄖ颇軌驖M足不同用戶對動態(tài)測量范圍、精度和功能部件等內(nèi)容的不同需求。
FlatMaster 100平面度測量設(shè)備采用激光干涉原理,一次性測試整個平面,同時獲取230,000個點的數(shù)據(jù),應(yīng)對產(chǎn)品表面的劃痕,沙眼,崩角,凹凸不平,毛刺等問題可以直觀的顯示在測量結(jié)果
中。
FlatMaster100配備由美國標(biāo)準(zhǔn)局NIST出具證書的可追溯的標(biāo)準(zhǔn)片,可隨時驗證機(jī)器性能,使得測量數(shù)據(jù)更具備說服力與可靠性。
在您的工廠或車間里添加平面度測量儀能夠使制程、良率和生產(chǎn)率得到空前的提升。
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