聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是91化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝! 產(chǎn)品簡介 NIE-3500(R)RIBE反應(yīng)離子束刻蝕:可以用于光柵刻蝕,SiO2二氧化硅、Si 硅以及金屬等的深槽刻蝕。此外,還可以用于表面清洗、表面處理、離子銑。系統(tǒng)可以兼容反應(yīng)氣體以及非反應(yīng)氣體,比如Ar,O2,CF4,Cl2等。
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