磁光克爾(MOKE)效應(yīng)測量系統(tǒng)
當(dāng)一束線偏振光照被磁性介質(zhì)反射后,反射光的偏振面相對于入射光的偏振面有一個(gè)小的角度偏轉(zhuǎn)(克爾旋轉(zhuǎn)角),這一現(xiàn)象被稱為磁光克爾效應(yīng)。后來這一效應(yīng)被用來材料磁特性的研究。磁光克爾效應(yīng)測量系統(tǒng)就是一套精確測量克爾旋轉(zhuǎn)角的設(shè)備。磁光克爾效應(yīng)測量系統(tǒng)是對極向克爾效應(yīng)和縱向克爾效應(yīng)克爾偏轉(zhuǎn)角精確測量的設(shè)備,使得該設(shè)備成為研究磁性薄膜磁特性的zui理想的測量工具。廣泛的應(yīng)用于磁性納米技術(shù)、磁性薄膜等磁學(xué)領(lǐng)域。
磁光克爾效應(yīng)測量系統(tǒng)以激光作為光源,由于樣品磁光克爾效應(yīng)的磁性信號主要來自于光斑照射的區(qū)域,因此磁光克爾效應(yīng)測量系統(tǒng)具有良好的局域性,可以實(shí)現(xiàn)在微米區(qū)域內(nèi)材料磁特性的研究。此外以偏振激光束作為 探針 ,因此對樣品不會(huì)造成任何損傷,實(shí)現(xiàn)對樣品的無損測量,這對于需要做多次測量的樣品是非常有利的。
磁光克爾效應(yīng)測量系統(tǒng)具有極高的靈敏度,對克爾旋轉(zhuǎn)角的探測精度可達(dá)到 0.001度。這一點(diǎn)使該設(shè)備在磁性薄膜磁特性的研究中具有重要的地位。利用鐵芯電磁特產(chǎn)生外加磁場,可以提供高達(dá)25KOe的外加磁場。
磁光克爾(MOKE)效應(yīng)測量系統(tǒng)
磁光克爾效應(yīng)測量系統(tǒng)、磁性測量系統(tǒng)、MOKE system、微米區(qū)域克爾磁光效應(yīng)測量系統(tǒng)、磁滯回線測量裝置
上海昊量光電設(shè)備有限公司的磁光克爾測量系統(tǒng)主要可分為以下三類:
① 極向測量磁光克爾效應(yīng)測量設(shè)備(MOKE磁滯回線測量系統(tǒng))
代表產(chǎn)品是BH-810系列。BH-810CPC25WF12磁光克爾效應(yīng)(MOKE)測量設(shè)備是其中的一款,主要是對12英寸的垂直磁記錄介質(zhì)磁特性的測量??梢跃_的探測分析每個(gè)探測點(diǎn)的磁滯回線,該產(chǎn)品應(yīng)用408nm的固體激光器,光斑直徑為1mm,外加磁場可高達(dá)25KOe。
② 向測量磁光克爾效應(yīng)測量設(shè)備(MOKE磁滯回線測量系統(tǒng))
代表產(chǎn)品BH-618系列。BH-618SK-CA12是一款自動(dòng)測量晶圓磁特性和各向異性的磁光克爾測量系統(tǒng)??梢詫?2寸的晶圓進(jìn)行多達(dá)400個(gè)不同點(diǎn)的磁滯回線的測量,并且探測結(jié)果以成像的形式顯示。
③ 微區(qū)域磁光克爾效應(yīng)測量系統(tǒng)(m-kerr system)(極向+縱向,MOKE磁滯回線測量系統(tǒng))
代表產(chǎn)品為BH-920系列。與前兩款產(chǎn)品相比, BH-920系列擁有更小的激光光斑,可以對微米區(qū)域內(nèi)的磁特性進(jìn)行研究。BH-P920-NH是可進(jìn)行極向的微區(qū)域磁光克爾效應(yīng)測量系統(tǒng),該設(shè)備具有極高的靈敏度可達(dá)到0.001 。與BH-P920-NH相比BH-PI920不但具相同的探測靈敏度并且兼具進(jìn)行極向和縱向測量。
磁光克爾(MOKE)效應(yīng)測量系統(tǒng)
u 主要特點(diǎn)高性能成本低高靈敏度(0.001 )高穩(wěn)定性高外加磁場(25KOe)
u 主要應(yīng)用
磁性納米技術(shù)、磁性薄膜,磁性材料等磁學(xué)領(lǐng)域
u 測量項(xiàng)目
磁滯回線
X軸:外加磁場強(qiáng)度 H
Y軸:克爾旋轉(zhuǎn)角 qk
通過磁滯回線可獲得的參數(shù)
矯頑力 Hc
各向異性場 Hk
內(nèi)稟矯頑力 Hn
飽和磁場強(qiáng)度 Hs
剩余磁化強(qiáng)度 qr
飽和磁化強(qiáng)度 qs
u 產(chǎn)品主要參數(shù):
產(chǎn)品型號
參數(shù)
BH-PI920系列
BH-P920-NH
BH-PI920
BH-810CPC25WF12
BH-618SK-CA12
產(chǎn)品特點(diǎn)
微區(qū)域測量系統(tǒng)可滿足縱向/極向測量
極向微區(qū)域克爾測量裝置,具有高靈敏度
微區(qū)域測量系統(tǒng)可滿足縱向/極向測量,具有較高的靈敏度
極向磁光克爾效應(yīng)測量,對PMR薄膜晶圓的磁特性測量
縱向磁光克爾測量系統(tǒng),可進(jìn)行多點(diǎn)磁滯回線的測量
激光光源
半導(dǎo)體激光器(405nm)
半導(dǎo)體激光器(408nm)
半導(dǎo)體激光器(405nm)
光斑直徑
縱向測量
約 5mm [1/e2]
1-2mm
2-3mm
1mm
1 2mm
極向測量
約 2mm [1/e2]
探測靈敏度
0.005
0.001
0.001
0.005
0.005
探測范圍
1
外加磁場強(qiáng)度
極向磁體
10kOe
10kOe
極向磁場
1.5T
25kOe
0.2T
面內(nèi)磁場
10kOe
面內(nèi)磁場
1T
可測樣品大小
5 5 1tmm~10 10 1tmm
5 5~10 10mm
t:0.5~1mm
12inch wafer
12inch wafer
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