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電壓輸入：208 - 240VAC, 20 A, 50/60 Hz, 單相 (   3200W )輸出： 0 - 8VAC （可調(diào)）zui大電流： 400A （可調(diào)）zui大功率：4000W（包括真空泵）

真空腔體不銹鋼腔體：280mm ID. x 375 mm H，腔體內(nèi)壁做了電拋光處理有一個(gè)150mm的觀察窗口（采用無(wú)氧銅密封圈密封）一個(gè)RF-150法蘭，便于放入樣品。一個(gè)KF-40法蘭,可與真空泵相連接四個(gè)CF-35法蘭，便于安裝真空計(jì)、電極和其他用途備用

真空泵

（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）儀器中包括一臺(tái)高抽速的渦輪分子泵和前級(jí)泵前級(jí)泵抽速：600L/S真空度：5.0x10-6 torr（泵開(kāi)啟后40分鐘）極限真空度：5.0x10-7 torr（烘烤溫度為60-80℃）漏氣率：5.0x10-7Pa./S

蒸發(fā)加熱源 樣品臺(tái)5個(gè)水冷電極安裝在腔體底部，可支持4個(gè)鎢加熱舟每個(gè)鎢舟上面安裝有可移動(dòng)的擋板，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)可以防止各物料之間的污染，樣品臺(tái)安裝在真空腔體頂部，直徑為150mm

樣品臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)和加熱，旋轉(zhuǎn)速度0-20rpm，加熱zui高溫度600℃蒸發(fā)源與樣品臺(tái)的距離為250mm

測(cè)厚儀一個(gè)高分辨度的薄膜測(cè)厚儀安裝在腔體內(nèi)部測(cè)量精度為：1.0

循環(huán)水冷機(jī)儀器使用過(guò)程中需要通冷卻水，為了節(jié)約用水，強(qiáng)烈建議使用循環(huán)水冷機(jī)所需水流量 15L/min

控制單元真空、厚度和輸入電源控制全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)控制單元和真空腔體獨(dú)立分開(kāi)，以便于操作

外形尺寸

L600mm  W860mm  H1500mm

凈重

600kg

質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證

  以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，91化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。 主營(yíng)產(chǎn)品

等離子鍍膜設(shè)備,高真空蒸發(fā)鍍膜儀,雙靶磁控濺射儀,3靶等離子濺射儀,射頻/直流等離子磁控濺射鍍膜儀 以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，91化工儀器網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。