聯(lián)系我們時請說明是91化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝! 產(chǎn)品簡介 NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機：先進的全自動濺射系統(tǒng)帶有水冷或者加熱（Z高可加熱到700度）功能的8“旋轉(zhuǎn)樣平臺,Z大可支持到3個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達到10-6 Torr的真空。通過使用RF射頻開關(guān)，RF射頻或DC直流電源可以切換到多磁控管模式。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。