描述：SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實...
      SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率，吸光率及膜厚的測量。
技術參數
      SpecEl由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構成，并配有一個32位操作系統的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測量可達0.005%。
SpecEl軟件及Recipe配置文件       通過SpecEI軟件，你可以配置及存貯實驗設計方法實現一鍵分析，所有的配置會被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后，你可以選擇不同的recipe來執(zhí)行你的實驗。