ContourGT-X 是實驗室研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)均可適用的高性能儀器。它積累了前十代產(chǎn)品在白光干涉技術(shù)上的創(chuàng)新，實現(xiàn)了快速地三維表面測量，從納米級表面粗糙度測量到毫米級臺階的測量，垂直分辨率可達(dá)亞納米級?？删幊痰?XYZ 控制和獨特的掃描頭自動控制，使得儀器測試空間極大的拓展，多種自動化功能，使操作使用簡便易行。配備的 Vision64 軟件，具有業(yè)界超強的數(shù)據(jù)分析功能，其優(yōu)化設(shè)計的用戶界面為使用者自行定義測量和數(shù)據(jù)分析提供了極大的便利。內(nèi)部激光自校準(zhǔn)獨有技術(shù)可以自動校準(zhǔn)因環(huán)境或機械不穩(wěn)定產(chǎn)生的漂移，無需標(biāo)準(zhǔn)塊，減少使用成本保證測試的精準(zhǔn)度。

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領(lǐng)域的測量。