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DaLI無掩膜納米光刻機(jī)
用途：基于無掩模光刻技術(shù)的各種微納加工
主要特點：采用AOD激光操控技術(shù)，光斑定位精度優(yōu)于1nm，高精度套刻對準(zhǔn)，結(jié)構(gòu)邊緣超平滑，可輕松構(gòu)建1微米以下線寬結(jié)構(gòu)。
簡介：先進(jìn)的AOD激光操控技術(shù)，使得DaLI具有超高的激光定位精度（優(yōu)于1nm），半永久性的有效壽命，以及極高的穩(wěn)定性。DaLI主要適用于廣泛應(yīng)用于MEMS、材料科學(xué)、微流控、微光學(xué)器件及其它微納加工領(lǐng)域。
應(yīng)用領(lǐng)域：以優(yōu)于1nm的光斑定位精度，快速完成高精細(xì)結(jié)構(gòu)的構(gòu)建
產(chǎn)品描述：DaLI無掩膜納米光刻機(jī)是一款采用亞納米精度激光操控技術(shù)為核心的超穩(wěn)定，桌面型，高精度，高速激光直寫設(shè)備。其核心技術(shù)已經(jīng)在在亞納米級精度要求的儀器設(shè)備中經(jīng)過十幾年的應(yīng)用檢驗。超高精度，和超高穩(wěn)定性是DaLI無掩膜納米光刻機(jī)實現(xiàn)高性能的基礎(chǔ)。
基本特點：
超穩(wěn)定，長時效375nm激光
相對于其它各種光源，在精密光學(xué)儀器應(yīng)用中，激光光源在光束質(zhì)量，穩(wěn)定性，耐用性等方面具有無與倫比的優(yōu)越性。DaLI無掩膜納米光刻機(jī)選用性能優(yōu)越的激光光源，以保證超一流的性能和用戶體驗。
廣泛的適應(yīng)性
DaLI無掩膜納米光刻機(jī)廣泛適用于各種I-line光刻膠，AZ系列正膠，SU-8系列負(fù)膠等，在各種厚膠與薄膠應(yīng)用中有著出色的表現(xiàn)。
優(yōu)異的非平表面直寫功能
不管是平面還是非平表面，刻寫無障礙，刻寫結(jié)果依然平滑
整機(jī)恒溫系統(tǒng)，保證卓越的性能
DaLI無掩膜納米光刻機(jī)采用了超越光刻技術(shù)極限的亞納米級AOD激光操控技術(shù)，光斑定位精度可達(dá)0.1nm。為充分發(fā)揮AOD技術(shù)的優(yōu)勢，我們建立了整機(jī)恒溫系統(tǒng)，控溫精度可達(dá)±0.1℃，將設(shè)備所有部件和溫差形變和熱漂移降到級低，從而實現(xiàn)真正的高精度光刻。
準(zhǔn)確的圖形結(jié)構(gòu)
大量設(shè)計圖與實刻圖可聯(lián)系A(chǔ)resis China銷售人員參看。聯(lián)系方式見文末。
工作范圍與曝光拼接
兩種光斑尺寸可供選擇，兩種直寫光斑也可自動切換：
大光斑直寫工具單個工作區(qū)域為900μm X 900μm；
小光斑直寫工具單個工作區(qū)域為300μmX 300μm
A. 小光斑直寫工具用于對精度要求較高的圖形構(gòu)建,光斑直徑1μm
B. 光斑直寫工具適用于大面積高速直寫,光斑直徑3μm
DaLI的軟拼接可以將曝光掃描線延伸到臨近區(qū)域，并梯度降低激光強度（紅線）。在臨近區(qū)域，激光強度梯度增加（藍(lán)線），從而獲得干凈均一的拼接圖案。
用戶友好的操作軟件
DaLI控制軟件通過USB接口與設(shè)備快速通訊，可以對設(shè)計圖中的區(qū)塊和每一個微結(jié)構(gòu)的曝光參數(shù)進(jìn)行設(shè)置，對圖形設(shè)計的預(yù)覽和快速柵格化，對樣品的觀察、準(zhǔn)直、調(diào)平等。該軟件具備圖形設(shè)計和展示功能，可選用多種繪圖工具，支持對 dxf, gerber, bm 等格式文件的導(dǎo)入與修改。
先進(jìn)的AOD技術(shù)，定位分辨率優(yōu)于0.1nm
A. 可以獲得任意平滑、銳利的結(jié)構(gòu)邊緣
B. 可高分辨調(diào)整特征結(jié)構(gòu)間的距離
C. 可以實現(xiàn)亞微米級精細(xì)結(jié)構(gòu)的構(gòu)建
多重校準(zhǔn)/反饋機(jī)制
超高精度的先進(jìn)AOD激光操控技術(shù)，使得通過各種校準(zhǔn)與反饋機(jī)制來提升整機(jī)系統(tǒng)的精度和穩(wěn)定性變得前所未有的簡單可行。DaLI具有多種校準(zhǔn)和反聵機(jī)制，無需用戶干預(yù)即可完成，為其優(yōu)異的性能提供更多保障。
基本參數(shù)：
基材尺寸DaLI-A基本參數(shù)
| 可達(dá)100 mm x 100 mm (4’’ x 4’’)
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激光波長
| 375 nm
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激光光斑尺寸 (TEM00)
| 1 μm (0.04 Mil) and/或 3 μm (0.12 Mil), 用戶可自選
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激光光斑定位分辨率
| < 1 nm
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激光直寫速度
| 可至100 000 spots per second
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圖形尺寸
| 可至 1 μm (0.04 Mil)
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數(shù)據(jù)輸入格式
| DXF, Gerber, BMP
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電源
| 230 V/50 Hz, 100 VA
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設(shè)備尺寸 (W x H x D)
| 650 mm x 522 mm x 626 mm (25.6” x 20.6” x 24.6”)
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重量
| 80 kg (176.4 lbs)
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集成攝像頭
| 用于樣品檢測和校正攝像頭
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硬件和軟件的要求配置
| Windows 7, 32 bit or Windows XP, 32 bit with service pack 3,1.3 GHz processor or higher, 2 GB RAM (4 GB recommended), 160 MB of available hard-disk space for installtion， screen resolution min.1024*768 pixles (1600 x 1050 recommended
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